B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,設(shè)定計數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1],進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn),將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(例如非單向流)的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時,連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中,因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。湖北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測服務(wù)至上
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。北京排風(fēng)柜檢測值得推薦采用非接觸式檢測技術(shù),減少對潔凈室的潛在污染。
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量??諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進(jìn)人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進(jìn)行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點(diǎn)的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。潔凈室的氣密性檢測有助于減少外界污染物的滲入。湖南實(shí)驗(yàn)室檢測方便客戶
遵循GMP、ISO等國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行潔凈室檢測,提升產(chǎn)品質(zhì)量信譽(yù)。湖北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測服務(wù)至上
潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)是指對潔凈室進(jìn)行檢測和評估時所遵循的一系列標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。以下是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn):ISO14644系列標(biāo)準(zhǔn):這是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的一系列標(biāo)準(zhǔn),用于評估潔凈室的空氣潔凈度。其中ISO14644-1是**常用的標(biāo)準(zhǔn),定義了潔凈室中空氣中顆粒物的數(shù)量限制。GMP(GoodManufacturingPractice):這是一種制藥行業(yè)常用的質(zhì)量管理體系,包括對潔凈室的設(shè)計、操作和維護(hù)等方面的要求。USP(UnitedStatesPharmacopeia):這是美國藥典,其中包含了對潔凈室的要求和測試方法。EUGMP(EuropeanUnionGoodManufacturingPractice):這是歐盟制藥行業(yè)的質(zhì)量管理體系,對潔凈室的要求和測試方法與GMP類似。FDA(FoodandDrugAdministration):這是美國食品藥品監(jiān)督管理局,對潔凈室的要求和測試方法進(jìn)行監(jiān)管。IEST(InstituteofEnvironmentalSciencesandTechnology):這是一個專門研究潔凈技術(shù)的組織,制定了一些潔凈室測試和評估的標(biāo)準(zhǔn)。以上是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn),具體的標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)潔凈室的應(yīng)用領(lǐng)域和要求來確定。湖北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測服務(wù)至上