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4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時,宜采用微環(huán)境等型式。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa。北京潔凈工作臺潔凈室檢測報告
6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求,且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時,應(yīng)采用雙層固定窗,并應(yīng)有良好的氣密性,同時應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿足使用功能的要求,構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施;2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道,3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺;4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r,活動地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)。
5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室,其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合,使?jié)崈羰倚纬梢粋€完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機(jī)時從此進(jìn)人室內(nèi),同時使?jié)崈羰以谡9ぷ鲿r易于保持正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多,如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便,操作簡單,而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝??傊瑳]有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進(jìn)入潔凈室內(nèi)。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力,以便施工、運(yùn)行時人員行走。
C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項(xiàng)目,對安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認(rèn)可,在緊接著的潔凈度項(xiàng)目檢測過程中,可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項(xiàng)目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并;過濾系統(tǒng)檢漏費(fèi)時、費(fèi)人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度,而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較。潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級別的可供人活動的空間。
9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅,不能進(jìn)行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂,加工處理的貴重零部件損壞;或由于不能進(jìn)行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故,本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明,以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進(jìn)行各項(xiàng)活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/10。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機(jī)室、配電室及電話機(jī)房等房間的主要工作面上,備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置,節(jié)省投資,并對提高潔凈室的潔凈度有利,備用照明宜作為正常照明的一部分。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。江蘇國內(nèi)潔凈室檢測第三方檢測機(jī)構(gòu)
根據(jù)潔凈室特點(diǎn),宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。北京潔凈工作臺潔凈室檢測報告
5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計,應(yīng)符合下列要求:1在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時,應(yīng)設(shè)氣閘室;2吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位;3單人空氣吹淋室,應(yīng)按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;4空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時開啟,應(yīng)采取連鎖控制措施;5空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室(區(qū)),宜設(shè)氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級,宜由外至內(nèi)逐步潔凈,室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級;當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時,洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。北京潔凈工作臺潔凈室檢測報告