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電子用真空泵哪家比較好

來源: 發(fā)布時間:2023-05-18

正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,較好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。真空泵的使用需要注意防腐蝕,避免因介質(zhì)腐蝕造成設(shè)備損壞。電子用真空泵哪家比較好

循環(huán)水式真空泵使使用步驟:1、準(zhǔn)備工作。使用時,打開水箱上蓋注入清潔的涼水(亦可經(jīng)由放水軟管加水),當(dāng)水面即將升至水箱后面的水位高度時停止加水,重復(fù)開機(jī)可不再加水。使用一段時間后,可續(xù)水,水位。2、抽真空作業(yè)。將需要抽真空的設(shè)備的抽氣管緊密套接于本機(jī)抽氣咀上。關(guān)閉循環(huán)開關(guān),接通電源,打開電源開關(guān),即可開始抽真空作業(yè),通過與抽氣咀對應(yīng)的真空表可觀察真空度。3、當(dāng)本機(jī)需長時間連續(xù)作業(yè)時,水箱內(nèi)的水溫將會升高,水質(zhì)污染變差,影響真空度,此時,可放掉污水,更換清潔涼水,保持水箱內(nèi)水溫下降,使主機(jī)(水泵)在清潔水中工作,保持真空度穩(wěn)定。電子用真空泵哪家比較好真空泵的使用需要注意防震防振,避免因震動造成設(shè)備損壞或人員傷害。

真空泵的維護(hù):(1)檢查油的位置。(2)經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油。(3)換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。(4)一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等真空泵要停止使用時,先關(guān)閉閘閥、壓力表,然后停止電機(jī)。

真空泵各部件的清洗與測量:1)對泵體及所有零部件分別用煤油或汽油進(jìn)行清洗;2)檢查軸表面是否有裂紋、磨損等情況,軸是否彎曲,不符合要求應(yīng)更換;3)檢查葉輪是否有裂紋、磨損、腐蝕、掉塊等情況,嚴(yán)重的應(yīng)更換;4)檢查填料函壓蓋、軸承座、端蓋是否有裂紋和損傷,嚴(yán)重的進(jìn)行更換;5)檢查泵體磨損情況;6)檢查螺栓、螺母的螺紋是否有斷扣等損壞現(xiàn)象,若有則應(yīng)及時修理或更換;7)檢查驅(qū)動端、非驅(qū)動端圓盤。檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵,試看真空泵是否靈活。重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行,一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時并換油二次,因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物,待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,再投入正常工作。開啟馬達(dá),當(dāng)真空泵正常工作時,打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵,看它是否顯示合適的壓力,然后逐漸開啟閘閥,同時檢查馬達(dá)的負(fù)荷情況。真空泵的種類繁多,包括旋片泵、羅茨泵、渦旋泵等,不同種類的泵適用于不同的工作環(huán)境。

羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機(jī)械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。一般來說,羅茨泵具有以下特點(diǎn):在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速;起動快,能立即工作;對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;轉(zhuǎn)子不必潤滑,泵腔內(nèi)無油;振動小,轉(zhuǎn)子動平衡條件較好,沒有排氣閥;驅(qū)動功率小,機(jī)械摩擦損失小;結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積??;運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。真空泵的使用需要注意維護(hù)保養(yǎng)問題,如定期更換泵油、清洗泵體、檢查機(jī)械部件等,以延長泵的使用壽命。電子用真空泵哪家比較好

真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用非常廣,用于制造芯片、光刻機(jī)、薄膜沉積等工藝。電子用真空泵哪家比較好

真空泵清泵:1、用板手打開真空泵側(cè)蓋,置于適當(dāng)位置;2、用紙巾徹底清理真空泵腔內(nèi)及側(cè)蓋的油污;3、70泵下腔濾油網(wǎng)要用汽油進(jìn)行清洗干凈;4、清掃完畢后,先安裝好濾網(wǎng),后安裝好側(cè)蓋;注意事項(xiàng):1、側(cè)蓋在打開、安裝時小心操作,防止損壞側(cè)蓋及油封而漏油;2、70泵切記安裝濾網(wǎng),噴油管對準(zhǔn)觀察窗利于查看真空泵的工作狀態(tài);3、泵腔內(nèi)禁止遺留紙屑或其它異物,不然會造成油路的堵塞導(dǎo)致真空泵卡死;4、清理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。電子用真空泵哪家比較好

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