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寧波真空泵供應

來源: 發(fā)布時間:2021-09-23

真空泵泄漏是真空泵比較常見的問題,主要發(fā)生在真空泵的油窗、油罐墊片和電機軸承軸密封中,主要原因是真空泵使用時間過長,部件使用時間過長或者部件使用不當,密封不適用等。電機軸前部有油封,油封后面也有油封,老化會導致油泄漏。如果吸油量滿,則真空泵泄漏。發(fā)生此故障時,首先檢查是否是真空泵本身就存在輕微泄露的情況。第二個打開泵,需要約30分鐘才能排出非油污造成的壓縮蒸汽,排出后,檢查供油系統(tǒng)的閥門,清潔葉輪,看油管的閥門是否變形或損壞,且機油可能不足,檢查供油的閥門、葉輪的旋轉、真空泵的旋轉張力是否不足。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在較低的真空極限壓力下真空泵的極限壓力。水環(huán)真空泵,開泵前要進行手動盤車。寧波真空泵供應

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩(wěn)定性較慢,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。嘉興科研實驗室真空泵批發(fā)爪形真空泵為多級串聯(lián)結構,每級泵均應嚴格控制端面間隙,即四級泵需嚴格控制8個端面間隙。

分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速單為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。

真空泵的選擇,1、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。2、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。油封式真空泵按照結構型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。

油封式真空泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來;將有害空間充填,使得高壓氣體反突破的機會少得多,密封性能也就好得多,從而使泵能達到較高的真空度。油封式真空泵的應用油封式真空泵按照結構型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。目前,油封式真空泵是國內(nèi)真空獲得技術中應用較廣的一種泵,它可單獨用作低真空設備的排氣用泵,也可用作高真空排氣時的前級真空泵。真空行業(yè)中普遍使用的油封式機械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。因此,它已在國民經(jīng)濟的很多部門,例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置,故也可以抽除潮濕氣體。干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇真空獲得設備。嘉興科研實驗室真空泵

真空泵要經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應及時更換新油。寧波真空泵供應

真空泵的正確使用及注意事項,1、 抽真空作業(yè),將需要抽真空的設備的抽氣套管緊密接于本機抽氣嘴上,檢查循環(huán)水開關應關閉,接通電源,打開電源開關,即可開始抽真空作業(yè),通過與抽氣嘴對應的真空表可觀察真空度。2、 當本機需長時間連續(xù)作業(yè)時,水箱內(nèi)的水溫將會升高,影響真空度,此時,可將放水軟管與水源(自來水)接通,溢水嘴作排水出口,適當控制自來水流量,即可保持水箱內(nèi)水溫不升使真空度穩(wěn)定。3、 當需要為反應裝置提供冷卻循環(huán)水時,將需要冷卻的裝置的進水、出水管分別接到本機后部的循環(huán)水出水嘴、進水嘴上、轉動循環(huán)水開關止ON位置,即可實現(xiàn)循環(huán)冷卻水供應。寧波真空泵供應

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