為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性,通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤,在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中,以150~200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分,在此溫度下,晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水。涂膠后,晶片須經(jīng)過(guò)一次烘烤,稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常,軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高,但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過(guò)優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定,典型的軟烘溫度是90~100℃,時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后,為了后面的高能工藝,如離子注入和等離子體刻蝕,也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤,稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于:減少駐波效應(yīng);激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。 干燥的物品如干燥后改變?yōu)橹亓枯p,體積小(為小顆粒狀),應(yīng)在工作室內(nèi)抽真空口加隔阻網(wǎng)。杭州內(nèi)置泵體真空烘箱安全警報(bào)
橡膠配方中硫化體系的類型按照制品不同性能的要求,橡膠配方選用不同的硫化體系。通常,普通硫磺硫化體系,其硫化溫度選取范圍為130-160℃,具體需要根據(jù)所使用的促進(jìn)劑的活性溫度和制品的物理機(jī)械性能來(lái)確定。有效、半有效硫化體系,硫化溫度一般掌握在160-165℃之間,過(guò)氧化物及樹(shù)脂等非硫磺硫化體系,硫化溫度適合選擇170-180℃.3.橡膠制品的結(jié)構(gòu)橡膠屬于熱的不良導(dǎo)體,受熱升溫較慢。對(duì)于夾織物的橡膠制品,通常硫化溫度不高于140℃.而發(fā)泡橡膠,需要按照發(fā)泡劑和發(fā)泡助劑的分解溫度選擇適宜的硫化溫度。溫州無(wú)塵埃破壞真空烘箱箱內(nèi)高真空度箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
BPO型高溫膠固化作為壓敏黏合劑可以用傳統(tǒng)的高溫膠帶涂敷設(shè)備涂布于PET、鋁箔等基材上以制作特殊性能的壓敏黏粘帶,具有良好的耐高溫和耐化學(xué)性,也可應(yīng)用于印刷線路板電鍍工藝過(guò)程遮蔽、SMT制程、FPC、PCB板、噴砂、涂裝、高溫烤漆、鍍金或電鍍過(guò)程中遮蔽需保護(hù)部分,以及電子、電氣等產(chǎn)品絕緣包扎固定等。在某些應(yīng)用中,由于膠粘劑與背襯材料的結(jié)合度不夠,就可能需要在涂布膠粘劑之前,先涂布一層底涂。底涂材料必須在使用前進(jìn)行固化,固化條件取決于設(shè)備的性能、基材類型及所使用的配方。表面硫化周期:80-90℃*2min除溶劑,以確保在進(jìn)入固化區(qū)硫化時(shí)粘合劑中沒(méi)有溶劑存在;160-170℃*6min,通過(guò)熱固化使其粘合力、內(nèi)聚強(qiáng)度以及初粘力進(jìn)一步加強(qiáng)。但完全硫化所需的確切條件取決于加熱爐的長(zhǎng)度、溫度和效率,固化劑的類型以及所使用的底材的類型,同時(shí)必須在設(shè)備上進(jìn)行試驗(yàn)來(lái)確定該條件。如果設(shè)備和基材允許使用更高的固化溫度,則固化時(shí)間可以縮短。與低溫固化相比,提高固化溫度可以在更短時(shí)間內(nèi)達(dá)到膠粘劑的內(nèi)聚強(qiáng)度。
常用PI/BCB/BPO膠的固化方法如下:1、在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑;2、通過(guò)旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)PI/BCB/BPO膠,接著將涂覆好PI/BCB/BPO膠的半導(dǎo)體芯片放入固化爐中,并通入氮?dú)獗Wo(hù);3、加熱固化爐,使涂覆PI/BCB/BPO膠的半導(dǎo)體芯片達(dá)到一溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,使PI/BCB/BPO膠中的溶劑分布均勻4、再將加熱固化爐升高到第二溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,使PI/BCB/BPO膠中的溶劑充分揮發(fā);5、再將加熱固化爐升高至第三溫度,穩(wěn)定一段時(shí)間,在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)PI/BCB/BPO膠薄膜;6、將加熱固化爐的溫度降至一預(yù)定溫度,關(guān)氮?dú)猓〕鰳悠?,完成固化工藝。真空箱?yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門(mén)玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭,應(yīng)用松軟棉布擦拭。
從結(jié)構(gòu)上分析,一般的干燥箱外殼都是采用冷軋鋼板制造,但是從厚度上將,差別卻很大。由于真空干燥箱里面的真空環(huán)境,為防止大氣壓壓壞箱體,其外殼厚度要較鼓風(fēng)干燥箱大些許,一般是選擇鋼板越厚質(zhì)量越好,使用壽命也越長(zhǎng)。為便于觀察,在干燥箱的箱門(mén)都設(shè)有玻璃窗,一般有鋼化玻璃和鑲嵌門(mén)上的普通玻璃,杭州宏譽(yù)智能科技有限公司生產(chǎn)干燥箱箱門(mén)全部采用鋼化玻璃,雖價(jià)格稍貴,但是外觀漂亮,對(duì)于操作人員的安全更是有力的保障。將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂,以防腐蝕,并套上塑料薄膜防塵罩,放置于干燥的室內(nèi)。溫州無(wú)塵埃破壞真空烘箱箱內(nèi)高真空度
工作室采用不銹鋼鋼板。杭州內(nèi)置泵體真空烘箱安全警報(bào)
真空烘箱由高真空度真空泵,箱體,工作室,電加熱器及數(shù)字溫度器組成。能夠在設(shè)定的真空度條件下穩(wěn)定工作,適用于醫(yī)藥、化工、電子、器、材料、零件的真空乾燥處理。箱體外殼以冷扎板噴塑,美觀悅目。內(nèi)箱以不銹鋼板密焊耐壓工藝處理,配上門(mén)上的硅膠密封壓墊,保證箱內(nèi)的氣密性,并采用玻璃纖維保溫,提供高效絕熱,節(jié)省能耗效果。發(fā)熱板安裝在內(nèi)箱體四側(cè),以保證溫度均勻性。廣用于醫(yī)藥、食品、輕工、化工、電子等行業(yè)作干燥之用,具有干燥物品速度快、污染小、不對(duì)干燥物品的內(nèi)在質(zhì)量造成破壞的優(yōu)點(diǎn)。杭州內(nèi)置泵體真空烘箱安全警報(bào)
杭州宏譽(yù)智能科技有限公司擁有一般項(xiàng)目:物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)研發(fā);物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備制造;工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)服務(wù);物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用服務(wù);半導(dǎo)體器件設(shè)備制造;電子設(shè)備制造;通用設(shè)備制造(不含特種設(shè)備制造);金屬結(jié)構(gòu)制造;烘爐、熔爐及電爐制造;計(jì)算機(jī)軟硬件及外圍設(shè)備制造;儀器儀表制造;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造;通信設(shè)備制造;試驗(yàn)機(jī)制造;物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備銷售;半導(dǎo)體器件設(shè)備銷售;烘爐、熔爐及電爐銷售;泵及真空設(shè)備銷售;智能倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備銷售;低溫倉(cāng)儲(chǔ)(不含危險(xiǎn)化學(xué)品等需許可審批的項(xiàng)目)工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展;實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售;機(jī)械設(shè)備研發(fā);電子材料銷售;電子產(chǎn)品銷售;普通機(jī)械設(shè)備安裝服務(wù)(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))。等多項(xiàng)業(yè)務(wù),主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋防潮防氧化設(shè)備,精密烘箱,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長(zhǎng)空間,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),深受員工與客戶好評(píng)。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:防潮防氧化設(shè)備,精密烘箱,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨,深受客戶好評(píng)。一直以來(lái)公司堅(jiān)持以客戶為中心、防潮防氧化設(shè)備,精密烘箱,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備市場(chǎng)為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。