真空烘箱的真空泵-維護(hù)保養(yǎng)1、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對(duì)橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。真空泵在運(yùn)行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，最高溫度不得超過80C。蘇州整體成型硅橡密封圈真空烘箱PID調(diào)節(jié)

BPO膠/PI膠/BCB膠固化烘箱要求一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1、潔凈度：Class100級(jí)2、氧含量（配氧分析儀）：高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量3、使用溫度：RT～400℃，最高溫度：450℃4、控溫穩(wěn)定度：±1℃；5、溫度均勻度：150℃±1.5%，350℃±2%以內(nèi)（空載測試）；6、腔體數(shù)量:2個(gè),上下布置；單獨(dú)控溫7、爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶8、空爐升溫時(shí)間：1.5h；9、空爐降溫時(shí)間：375℃--80℃；降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí)(采用水冷及風(fēng)冷)；10、智能控制系統(tǒng)：PCL+PC工控電腦上海易維護(hù)真空烘箱安全警報(bào)防止潮濕氣體進(jìn)入真空泵，造成真空泵故障。

烘箱在電子行業(yè)的應(yīng)用：制備半導(dǎo)體：可滿足在大規(guī)模半導(dǎo)體封裝和組裝生產(chǎn)中對(duì)潔凈工藝、低氧化、粘合劑和聚合物的高效固化等要求；組件：解決電容器、電阻器及其他用于手機(jī)、影碟機(jī)、電視機(jī)及其他設(shè)備的電子組件的技術(shù)難題，陶瓷電容器烘烤到預(yù)熱、干燥和固化，這些過程需要極為重要的溫度一致性和漸進(jìn)式升降溫速率。；數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：重要數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件（例如硬盤、錄音磁頭以及鋁制或玻璃磁盤介質(zhì)）的熱處理，?烘烤潤滑油，使涂層長久性粘貼在磁盤介質(zhì)上，從而提高耐久性?鋁基板磁盤的磁盤退火?玻璃基板磁盤驅(qū)動(dòng)的基板固化?磁性退火

    真空干燥箱日常使用和維護(hù)：1、產(chǎn)品出廠前都經(jīng)過嚴(yán)格的測試，一般不要進(jìn)行修改，如使用時(shí)的環(huán)境惡劣，環(huán)境溫度超出適宜范圍，會(huì)引起溫度顯示值與箱內(nèi)實(shí)際溫度誤差，如超出技術(shù)指標(biāo)范圍的，可以參照溫度控制器操作說明按所需進(jìn)行修正。2、儀器在正常工作狀態(tài)下，如打開箱門時(shí)間過長，關(guān)上箱門后即使箱內(nèi)溫度有些變動(dòng)，這也是正?，F(xiàn)象。3、除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋以免損壞電器控制系統(tǒng)。4、放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤滑。5、真空泵不能長時(shí)期工作，因此真空度達(dá)到干燥物品要求時(shí)，應(yīng)先封閉真空閥，再封閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時(shí)，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。6、干燥的物品如濕潤，則在真空箱與真空泵之間比較好加進(jìn)過濾器，防止?jié)駶櫄怏w抽進(jìn)真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱經(jīng)多次使用后，會(huì)產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時(shí)應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出間隔來解決。真空箱干燥溫度高于200度時(shí)，有可能會(huì)產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象，此時(shí)拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角板手?jǐn)Q松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。8、真空干燥箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭。 整體成型硅橡密封圈，高真空度密封。

    熱對(duì)流真空烘箱，包括真空箱體和密封門，真空箱體的箱口采用法蘭面，此面與箱體密封門緊密貼合，避免真空泄漏。真空箱體內(nèi)壁設(shè)置無孔鏡面不銹鋼板13、有孔鏡面不銹鋼板14，這兩種不銹鋼板組合配對(duì)裝配，與無孔鏡面不銹鋼板14靠箱體內(nèi)壁，有孔鏡面不銹鋼板13在箱體內(nèi)表面，兩鋼板間距為5—15mm，無孔鏡面不銹鋼板用來反射熱量，熱量通過小孔回到箱體中，減少熱量損失。在箱體頂部內(nèi)壁設(shè)置有孔鏡面不銹鋼板12。箱體頂部和下部左右兩邊各設(shè)置有氮?dú)膺M(jìn)氣口，可以實(shí)現(xiàn)氮?dú)饪焖贁U(kuò)散到箱體內(nèi)部各地方。真空箱體在工作的時(shí)候，真空度控制在10～50pa之間，溫度控制在80～110℃，這樣電池中的水份會(huì)變成水蒸汽擴(kuò)散在箱體中，原箱體中也有少量的空氣，真空干燥箱保溫保壓一段時(shí)間后，箱體中的水蒸汽達(dá)到一定的量后，為了將水蒸汽排出，需向箱體中充入氮?dú)?，因?yàn)榈獨(dú)獾姆肿淤|(zhì)量比水蒸汽的分子質(zhì)量大，為了能快速將水蒸汽排擠到箱體上方，方便將其從真空口抽出，所以在箱體下方布置2-3個(gè)進(jìn)氮?dú)膺M(jìn)氣口。這樣的設(shè)置方式可以減少靜置時(shí)間，氮?dú)饪焖贁U(kuò)散，將水蒸汽排擠到箱體上方，再通過真空泵將水蒸汽抽出。真空箱體氮?dú)膺M(jìn)氣口預(yù)先對(duì)氮?dú)膺M(jìn)行加熱，因?yàn)榈獨(dú)膺M(jìn)到高溫箱體中時(shí)。將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)。溫州真空泵抽濕真空烘箱調(diào)試調(diào)整

定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時(shí)更換。蘇州整體成型硅橡密封圈真空烘箱PID調(diào)節(jié)

    為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應(yīng)；激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。 蘇州整體成型硅橡密封圈真空烘箱PID調(diào)節(jié)