可使用風(fēng)速測(cè)定儀來(lái)檢測(cè)內(nèi)部硅片放置各點(diǎn)的風(fēng)速,不能有較大差異。7)溫濕度顯示及記錄管理。溫濕度顯示:采用4英寸超大LED顯示,有效視距可達(dá)30米;溫濕度記錄:可對(duì)溫濕度作24小時(shí)不間斷的監(jiān)控,在潔凈柜在完全關(guān)閉的情況下,濕度不能有超過(guò)±5%RH的波動(dòng)。潔凈氮?dú)夤裰饕攸c(diǎn):一、規(guī)格尺寸(尺寸可訂制)1、材質(zhì):SUS304雙鏡面2、工作電壓:220V3、溫濕度顯示器精度:相對(duì)濕度±3%Rh,溫度±1℃二、主要特色SXD-COL系列是集快速除濕、除塵、防靜電和氮?dú)夤?jié)約功能于一體的無(wú)塵室儲(chǔ)存設(shè)備。潔凈氮?dú)夤癞a(chǎn)品說(shuō)明:*控制方式:采用濕度/氧含量控制的方法。*高潔凈過(guò)濾器FFU采用美國(guó)等進(jìn)口品牌。*靜音離心風(fēng)機(jī)采用德國(guó)等進(jìn)口品牌。*采用靜電消除裝置。*對(duì)氮?dú)膺M(jìn)行前期潔凈預(yù)處理。*采用觸摸式控制器,對(duì)箱內(nèi)濕度或含氧量進(jìn)行顯示和控制。設(shè)備具有很好的密封性能,塵埃過(guò)濾,水平或垂直送風(fēng)。*設(shè)備由濕度和氮濃度檢測(cè)顯示,氮?dú)饬髁靠刂?防靜電控制,高潔凈過(guò)濾器受阻等多個(gè)系.*控制儀可進(jìn)行溫濕度含氮量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示,存儲(chǔ)和輸出和報(bào)警功能。不銹鋼潔凈型有四項(xiàng)主要特色:1、模組化設(shè)計(jì):本機(jī)器采用獨(dú)特的模組化設(shè)計(jì),溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換。氮?dú)夤衲芄?jié)約氮?dú)?,降低成本。麗?.2厚鋼板氮?dú)夤?/p>
普通氮?dú)夤衽c智能沖氮柜的區(qū)別氮?dú)夤?,是指一種充入氮?dú)?,用?lái)保護(hù)一些活性較強(qiáng)易氧化的物料的柜體。目前市面上分為兩種,氮?dú)庵苯映淙牍耋w內(nèi),無(wú)控制系統(tǒng)的直沖型氮?dú)夤?;還有一種是氮?dú)饨?jīng)過(guò)控制系統(tǒng),多點(diǎn)分散供氣,氮?dú)饪筛鶕?jù)設(shè)定值自動(dòng)切斷和打開(kāi)供應(yīng)。氮?dú)夤竦睦斫庹`區(qū),氮?dú)夤駸o(wú)法自己制造氮?dú)?,需要外接氣源,如氮?dú)鈿馄浚獨(dú)夤艿?,或氮?dú)獍l(fā)生器。氮?dú)鉄o(wú)法自行從空氣中獲得,需要借助一定的外力,如氮?dú)獍l(fā)生機(jī)或者購(gòu)買。長(zhǎng)期使用氮?dú)鈺?huì)產(chǎn)生不小的成本,所以需要氮?dú)夤衲芄?jié)約氮?dú)?,降低成本。杭州宏譽(yù)科技的智能電子氮?dú)夤?,?nèi)置氮?dú)夤?jié)約系統(tǒng),使用進(jìn)口電磁閥,性能穩(wěn)定,壽命長(zhǎng),無(wú)噪音。相比普通直沖型氮?dú)夤?,可?jié)約80%以上氮?dú)庀牧俊J昝庑?zhǔn)氮?dú)夤癖O(jiān)控系統(tǒng)充氮系統(tǒng)三種控制:溫度控制、氧氣濃度控制、時(shí)間控制。
防氧化氮?dú)夤窬涂梢允褂昧?。就如同往水池里放水,水池是不泄露的,水量充足,很快就能把水池加滿,2、穩(wěn)!我們也了解了氮?dú)獾幕瘜W(xué)惰性,可以作保護(hù)氣體,如:瓜果,食品,燈泡填充氣。以防止某些物體暴露于空氣時(shí)被氧所氧化,用氮?dú)馓畛浼Z倉(cāng),可使糧食不霉?fàn)€、不發(fā)芽,長(zhǎng)期保存。在化工行業(yè),氮?dú)庵饕米鞅Wo(hù)氣體、置換氣體、洗滌氣體、安全保障氣體。用作鋁制品、鋁型材加工,鋁薄軋制等保護(hù)氣體。所以在氮?dú)夤裰校a(chǎn)品是可以得到非常好的保護(hù)作用。三、氮?dú)夤竦娜秉c(diǎn)1、消耗大,空氣中雖然含有,但是提取出這些還是需要成本的,我們?cè)谑袌?chǎng)中購(gòu)買的氮?dú)馄烤褪窍钠?,商家所售的氮?dú)夤袷遣桓郊拥獨(dú)獾?。如果箱體密封很好,這樣消耗的氮?dú)庖矔?huì)少一些,但是長(zhǎng)期需要防氧化的產(chǎn)品,這樣消耗氮?dú)馐欠浅4蟮摹?、健康危害空氣中氮?dú)夂窟^(guò)高,人體吸入的氧氣下降,引起缺氧窒息。吸入氮?dú)鉂舛炔惶邥r(shí),患者初感胸悶、氣短、疲軟無(wú)力;繼而有煩躁不安、極度興奮、亂跑、叫喊、神情恍惚、步態(tài)不穩(wěn),稱之為“氮酩酊”,可進(jìn)入昏睡或昏迷狀態(tài)。吸入高濃度,患者可迅速昏迷、因呼吸和心跳停止而死亡。總之,每類產(chǎn)品都有優(yōu)缺點(diǎn),取其精華去其糟粕。市面上也有自制氮氮?dú)夤瘛?/p>
變壓吸附法分離空氣的機(jī)理有兩種。一種是利用5a沸石分子篩的選擇吸附特性,即5a沸石分子篩對(duì)氮?dú)獾钠胶馕搅看笥趯?duì)氧氣的平衡吸附量,這樣當(dāng)空氣通過(guò)沸石床層時(shí)氮?dú)饩捅晃?,流出氧氣作為產(chǎn)品。當(dāng)沸石吸附氮?dú)怙柡秃?,停止通入空氣,并把床層抽成真空,抽出的氮?dú)庾鳛楫a(chǎn)品。另一種是利用碳分子篩的運(yùn)態(tài)吸附特性,即碳分子篩對(duì)氧氣和氮?dú)獾钠胶馕搅肯嗖畈淮螅捎谘鯕獾姆肿映叽?×)比氮?dú)獾姆肿映叽?×)小,因而氧氣在碳分子篩中的擴(kuò)散速度快,吸附量也大,于是氧氣在碳分子篩中的擴(kuò)散速度快,吸附量也大,于是氧氣被吸附,流出氮?dú)庾鳛楫a(chǎn)品。隔一段時(shí)間后,停止通入空氣,把床層抽真空使碳分子篩再生。該法通常是在吸附階段為~×106pa、解吸階段為常壓或真空及常溫的條件下進(jìn)行的,在工業(yè)上很容易實(shí)現(xiàn)。遠(yuǎn)離火種、熱源,庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。
防氧化氮?dú)夤窈?jiǎn)而言之就是內(nèi)含氮?dú)獾膬?chǔ)存柜。我們可能會(huì)誤以為大氣中充滿了氧氣,因?yàn)槿藗兊暮粑x不會(huì)開(kāi)它,而實(shí)際上氮?dú)庠诖髿庵泻慷嘤谘鯕?,占大氣總量的,但是由于它的化學(xué)性質(zhì)不活潑,所以人們是在認(rèn)識(shí)氧氣之后才認(rèn)識(shí)氮?dú)獾?。氮?dú)馔ǔ顩r下是一種無(wú)色無(wú)味的氣體,而且密度比空氣小,常溫下很難跟其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng),所以常被用來(lái)制作防腐劑,防氧化氮?dú)夤褚矐?yīng)運(yùn)而生。一、氮?dú)夤竦墓ぷ髟?、手動(dòng)充氮氮?dú)夤瘢汉?jiǎn)單的方式,無(wú)任何控制功能,設(shè)備要求不高,氮?dú)馔ㄟ^(guò)流量計(jì)設(shè)定后,常充常排。2、自動(dòng)充氮氮?dú)夤瘢涸谏厦娴幕A(chǔ)上,利用氮?dú)馓匦栽谒腿牍耋w后會(huì)快速降低柜內(nèi)的濕度特點(diǎn),增加了濕度傳感器來(lái)控制氮?dú)獾妮斔?,達(dá)到自動(dòng)控制,有一定的節(jié)氮功能。但內(nèi)部含氧量無(wú)法控制,甚至比手動(dòng)柜更高。3、全自動(dòng)氮?dú)夤瘢涸谧詣?dòng)氮?dú)夤竦幕A(chǔ)上,改變了控制目標(biāo),即控制氮?dú)饣蜓鯕獾臐舛葋?lái)達(dá)到氮?dú)獾乃秃蛿?。這種控制方式可真正做到對(duì)內(nèi)部含氧量的控制,有目的起到防氧化功能。同時(shí)也有更高的節(jié)氮功能。二、氮?dú)夤竦膬?yōu)點(diǎn)1、快!不同于物理除濕方式,因?yàn)榈獨(dú)獾幕瘜W(xué)性質(zhì)比較惰性,產(chǎn)品儲(chǔ)存于氮?dú)庵芯推鸬搅烁稍镒饔?。只要確保箱體的密封性好,充入足量的氮?dú)?。采用鋼瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。湖州氮?dú)夤癜踩瘓?bào)
進(jìn)口組件顯示器,溫濕度同時(shí)顯示,直觀明確,性能穩(wěn)定。麗水1.2厚鋼板氮?dú)夤?/p>
全功能潔凈氮?dú)夤瘢寒a(chǎn)品應(yīng)用:適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現(xiàn)象;由于大部分的存儲(chǔ)柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境,只控制濕度及氧含量濃度這塊,并無(wú)自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。宏譽(yù)潔凈柜則適合存放需要低濕保存,同時(shí)又需要避免灰塵污染的物品.相關(guān)技術(shù)指標(biāo):1)潔凈等級(jí)專業(yè)高效潔凈過(guò)濾裝置,濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細(xì)玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS10~100(10級(jí)一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下,必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH實(shí)驗(yàn)即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)的硅片不能有不正?;虺瑯?biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測(cè)試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對(duì)比≦10ea(包括))3)降濕速度除濕性能可達(dá)到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒,在氮?dú)饬髁坎淮笥?0L/M的情況下,濕度從50%降至5%所需時(shí)間小于30min4)進(jìn)口無(wú)塵風(fēng)機(jī):采用進(jìn)口無(wú)塵室FFU風(fēng)機(jī),面風(fēng)速:~;5)靜電殘余值測(cè)定松鑫全功能潔凈氮?dú)夤駶崈舻獨(dú)夤駜?nèi)放置的硅片盒,經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)后,硅片盒取樣及定點(diǎn)測(cè)試靜電值必須≦1kv6)柜內(nèi)風(fēng)速均勻性潔凈柜內(nèi)不能有氮?dú)獾乃澜?。麗?.2厚鋼板氮?dú)夤?/p>