智能氮?dú)夤癯涞到y(tǒng)的工作原理是什么:
智能氮?dú)夤襁m用于光電、半導(dǎo)體、電子、科研、公檢法、珍藏等領(lǐng)域必備的存儲(chǔ)設(shè)備,用于晶圓、芯片、電子元器件、光電器件、光學(xué)儀器、重要檔案資料、珍貴文物及其他對(duì)濕度要求較高的產(chǎn)品的存儲(chǔ)...
先確定產(chǎn)品儲(chǔ)存所需的濕度,通過控制面板設(shè)置濕度之后打開電磁閥,注入氮?dú)?,柜?nèi)的空氣將被氮?dú)庀♂專瑵穸戎饾u降低到設(shè)定值,則停止充氮,關(guān)閉電磁閥。當(dāng)濕度上升,超過設(shè)定值時(shí),系統(tǒng)會(huì)智能打開氮?dú)夤?yīng)重復(fù)上述工作。 氮?dú)獯鎯?chǔ)柜為氧濃度監(jiān)控型氮?dú)獗Wo(hù)儲(chǔ)物柜,適用于半導(dǎo)體器件工藝生產(chǎn)過程中存放成品、半成品、原材料等。唐山氮?dú)夤裆a(chǎn)廠家
氮?dú)夤窆ぷ髟恚旱獨(dú)夤袷墙陙?lái)發(fā)展速度較快的防氧化存儲(chǔ)設(shè)備,通過充入氮?dú)鈩?chuàng)造厭氧環(huán)境達(dá)到防潮防氧化的目的,首先設(shè)置好產(chǎn)品保存需要的濕度,當(dāng)濕度超過設(shè)定值,自動(dòng)充入氮?dú)?,柜?nèi)的空氣被氮?dú)庀♂尯髸?huì)逐漸下降,當(dāng)下降到設(shè)置值時(shí)停止充氮。氮?dú)夤袷峭ㄟ^氮?dú)庵脫Q柜內(nèi)氧氣和水分子,降低含氧量和濕度值,適合存放側(cè)重防氧化的物品,如光學(xué)零件、半導(dǎo)體、電子元器件、精密儀器、金屬材料、零件和不可冷藏的珍貴食品等。電子防潮箱是通過控制水分子的含量進(jìn)行防潮,主要是對(duì)潮濕敏感的物品進(jìn)行存放,可以存儲(chǔ)數(shù)碼電子產(chǎn)品、收藏品、貴重文件、電子芯片等物品。浴室氮?dú)夤袷裁磁谱雍迷趯?shí)驗(yàn)室中,氮?dú)夤癖粦?yīng)用于保存對(duì)濕度和氧氣敏感的樣品,如生物樣本、化學(xué)試劑等。
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,出現(xiàn)了許多特殊用途的微電子器件和電路,這類產(chǎn)品在微組裝完成封裝前,為了避免受大氣中的氧氣、水汽、塵埃及其它微量腐蝕性有害氣體的影響,需保存在高純氮?dú)夥障?,因此?duì)氮?dú)鈨艋瘍?chǔ)存柜的需求量越來(lái)越大。這類產(chǎn)品國(guó)內(nèi)外廠家都在生產(chǎn),但它們大都是簡(jiǎn)易型的儲(chǔ)存柜,結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單,只有1個(gè)氮?dú)廨斎肟冢獨(dú)獬錆M柜體后,通過門縫等一些漏點(diǎn)泄露出去。有些國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)的柜門采用冰箱的磁性密封條來(lái)密封,密封效果很差,氮?dú)庀牧亢艽?,使用成本高,用戶難以承受。同時(shí),這類產(chǎn)品還有一大缺點(diǎn)即在開關(guān)柜門取放工件時(shí),受外界環(huán)境氣流的影響很大。
氮?dú)夤裰械獨(dú)獾囊螅?
1、純度要求:為了保證晶圓的純凈度和質(zhì)量,氮?dú)夤裰械牡獨(dú)饧兌葢?yīng)達(dá)到99.999%以上。高純度的氮?dú)饽軌虮容^大限度地減少外部污染物對(duì)晶圓的影響,提高晶圓的穩(wěn)定性。
2、流量與壓力控制:在氮?dú)夤裰?,?yīng)保持一定的氮?dú)饬髁亢蛪毫?。流量和壓力的控制能夠保證柜內(nèi)氣體環(huán)境的穩(wěn)定,使晶圓始終處于良好的保護(hù)狀態(tài)。
3、溫度控制:為了保證氮?dú)夤裰芯A的存儲(chǔ)效果,應(yīng)將柜內(nèi)溫度控制在一定范圍內(nèi)。溫度的波動(dòng)會(huì)影響氮?dú)獾谋Wo(hù)效果,溫度的穩(wěn)定是保證晶圓質(zhì)量的重要因素。
4、濕度控制:濕度是影響晶圓存儲(chǔ)效果的重要因素之一。在氮?dú)夤裰校瑧?yīng)將濕度控制在較低的水平,以防止?jié)穸冗^高導(dǎo)致晶圓受潮或生長(zhǎng)霉菌。 氮?dú)夤襁€具有節(jié)能環(huán)保的優(yōu)勢(shì),低能源設(shè)計(jì),不結(jié)霜、不滴水、低功率。
設(shè)定濕度后,本產(chǎn)品具有記憶設(shè)定值的功能,即使斷電也無(wú)需再次設(shè)定。采用進(jìn)口傳感器,濕度顯示誤差為±3%RH,溫度顯示誤差約為±1℃。不要擋住后面的節(jié)氮模塊,并確保留出5厘米以上的空間。如果斷電超過24小時(shí),建議轉(zhuǎn)移箱內(nèi)存放的物品。防靜電腳輪是防靜電配置,不管地板是否防靜電。為了確保物流安全,建議連接靜電接地線。推薦使用99.99%以上的高純氮?dú)?,推薦流量10-15L/Min,推薦入口壓力0.3MPa,使用220V/50HZ電源。當(dāng)濕度沒有下降時(shí),請(qǐng)檢查氮?dú)夤?yīng)是否正常以及氮?dú)獾募兌取5獨(dú)夤癫恍枰褂没瘜W(xué)制劑,不會(huì)產(chǎn)生有害物質(zhì)的排放,對(duì)環(huán)境沒有污染,符合可持續(xù)發(fā)展的理念。浴室氮?dú)夤袷裁磁谱雍?/p>
氮?dú)夤褚蠊?yīng)的氮?dú)夥€(wěn)定可靠,能夠持續(xù)提供所需的氮?dú)鈮毫土髁?,以滿足產(chǎn)品的氮?dú)庑枨蟆L粕降獨(dú)夤裆a(chǎn)廠家
氮?柜是運(yùn)?各種除濕技術(shù)有效地降低柜內(nèi)濕度,從?達(dá)到防潮、防霉、防氧化、防銹、防微量吸濕等?的。氮?在儀器設(shè)備中起著非常重要的作?,很多種設(shè)備都有連接氮?,氮?烘箱、全?動(dòng)氮?柜等;氮?的作??般常?的有兩 個(gè):其?是應(yīng)?NN三鍵不易發(fā)?化學(xué)反應(yīng)的性質(zhì),使??態(tài)的氮?作為保護(hù)?。防氧化作?;其?就是應(yīng)?液態(tài)氮?容易制備 和存在的性質(zhì),使?液態(tài)的氮?作為制冷劑。儀器設(shè)備的使?也是利?這兩個(gè)性質(zhì)來(lái)發(fā)揮它的功效。唐山氮?dú)夤裆a(chǎn)廠家