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安徽推車式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

來源: 發(fā)布時間:2025-02-25

氦檢儀開機如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”,燈亮,擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī),可等一會兒再開),當真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對工件噴氦檢漏。檢漏完,關(guān)節(jié)流閥。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點。安徽推車式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

安徽推車式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo),氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面:(1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。寧波進口氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,了解有哪些漏源,才能快,準,狠的完成檢漏。

氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,另一個就是本底噪聲。實際上,目前通過對電子線路的改進,儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣),電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應(yīng)(被污染的情況下更為嚴重);3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性;4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透;5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。

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選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預(yù)抽泵。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。上海無損氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。安徽推車式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

如何正確選擇氦檢儀?(1)儀器的功能是否能滿足檢漏的要求,如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不合適正壓法檢漏:有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能,就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。(2)儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認真選擇。(3)被檢件如果害怕油的污染,被應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。(4)被檢件容積如果較大,必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀,否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。(5)如果被檢對象不固定,體積時大時小,靈敏度要求時高時低,就要選擇功能較全,靈敏度較高,檢漏范圍寬的氦檢儀。(6)如果檢漏地點不固定,需要經(jīng)常搬運儀器時,就要選擇小型便攜式儀器。(7)在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上,還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。安徽推車式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

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