氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏。安徽模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見(jiàn)的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測(cè)準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿(mǎn)足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問(wèn)題。安徽智能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕孩俸庠诳諝庵械暮繕O少，只占約二十萬(wàn)分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔，易于檢測(cè)也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備;⑤氦氣無(wú)毒，不凝結(jié)，極難容于水。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)用于火力發(fā)電廠(chǎng)的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無(wú)損傷性等優(yōu)點(diǎn),特別是可以在正常運(yùn)行中準(zhǔn)確快捷地對(duì)機(jī)組進(jìn)行檢漏,減少停機(jī)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見(jiàn)故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開(kāi)展以及設(shè)備的保養(yǎng)。

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開(kāi)始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問(wèn)題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來(lái)很大困難。氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好

有些國(guó)家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果。安徽模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測(cè)氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒(méi)有毒害；(2)不能燃燒，作業(yè)安全；(3)惰性氣體，和被檢測(cè)對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；(4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過(guò)微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會(huì)堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜，或漏率極小時(shí)，可針對(duì)重點(diǎn)部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣，實(shí)現(xiàn)對(duì)特定重點(diǎn)部位的檢漏。安徽模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

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