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GEMINI自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)集成的模塊化大批量生產(chǎn)系統(tǒng)，用于對(duì)準(zhǔn)晶圓鍵合特色技術(shù)數(shù)據(jù)GEMINI自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)ZUI高水平的自動(dòng)化和過(guò)程集成。批量生產(chǎn)的晶圓對(duì)晶圓對(duì)準(zhǔn)和ZUI大200毫米（300毫米）的晶圓鍵合工藝都在一個(gè)全自動(dòng)平臺(tái)上執(zhí)行。...

長(zhǎng)久鍵合系統(tǒng) EVG晶圓鍵合方法的引入將鍵合對(duì)準(zhǔn)與鍵合步驟分離開(kāi)來(lái)，立即在業(yè)內(nèi)掀起了市場(chǎng)閣命。利用高溫和受控氣體環(huán)境下的高接觸力，這種新穎的方法已成為當(dāng)今的工藝標(biāo)準(zhǔn)，EVG的鍵合機(jī)設(shè)備占據(jù)了半自動(dòng)和全自動(dòng)晶圓鍵合機(jī)的主要市場(chǎng)份額，并且安裝的機(jī)臺(tái)已經(jīng)超過(guò)1500...

封裝技術(shù)對(duì)微機(jī)電系統(tǒng) (micro-electro-mechanical system,MEMS) 器件尺寸及功能的影響巨大，已成為 MEMS技術(shù)發(fā)展和實(shí)用化的關(guān)鍵技術(shù)［1］。實(shí)現(xiàn)封裝的技術(shù)手段很多，其中較關(guān)鍵的工藝步驟就是鍵合工藝。隨著 MEMS 技術(shù)的發(fā)展...

晶圓級(jí)封裝是指在將要制造集成電路的晶圓分離成單獨(dú)的電路之前，通過(guò)在每個(gè)電路周圍施加封裝來(lái)制造集成電路。由于在部件尺寸以及生產(chǎn)時(shí)間和成本方面的優(yōu)勢(shì)，該技術(shù)在集成電路行業(yè)中迅速流行起來(lái)。以此方式制造的組件被認(rèn)為是芯片級(jí)封裝的一種。這意味著其尺寸幾乎與內(nèi)部電子電路所...

鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)系統(tǒng) 1985年，隨著世界上di一個(gè)雙面對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的發(fā)明，EVG革新了MEMS技術(shù)，并通過(guò)分離對(duì)準(zhǔn)和鍵合工藝在對(duì)準(zhǔn)晶圓鍵合方面樹(shù)立了全球行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。這種分離導(dǎo)致晶圓鍵合設(shè)備具有更高的靈活性和通用性。EVG的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提供了蕞高的精度，靈活性和易用性以及...

關(guān)鍵詞：主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動(dòng)傳遞率橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù)，在10hz頻率以上時(shí)，傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振...

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2H...

技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）透射率：參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率

隔振臺(tái)TS-140+40的技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）傳遞率：參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率

AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過(guò)10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI2...

該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無(wú)源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒(méi)有低頻共振，這種共振困擾著所有無(wú)源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直...

支撐面測(cè)試在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，推動(dòng)支撐表面。燈不亮，除了可能會(huì)大力推動(dòng)。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對(duì)水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請(qǐng)注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行，但會(huì)產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)...

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點(diǎn)很重要取向！LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開(kāi)關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請(qǐng)按照下列步驟操作：面向LFS傳...

手次使用AVI系統(tǒng)時(shí)，將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為關(guān)閉（黑色旋鈕熄滅）。打開(kāi)電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮，16個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時(shí)閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動(dòng)或把手放在桌面上，部分或全部LED將閃爍。打開(kāi)電源約30秒后，您可以將隔離開(kāi)關(guān)推到打...

使用AVI系統(tǒng)時(shí)，系統(tǒng)只能插入單獨(dú)接地的插座。無(wú)論是在插座處，還是使用未接地的延長(zhǎng)電纜，都不要斷開(kāi)此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請(qǐng)拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開(kāi)此設(shè)備之前，請(qǐng)確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或...

傳感器位置傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI元素所...

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長(zhǎng)度的單個(gè)元件。AVI200-XL的隔...

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系...

支撐面測(cè)試在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，推動(dòng)支撐表面。燈不亮，除了可能會(huì)大力推動(dòng)。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對(duì)水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請(qǐng)注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行，但會(huì)產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)...

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,...

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系...

使用AVI系統(tǒng)時(shí)，系統(tǒng)只能插入單獨(dú)接地的插座。無(wú)論是在插座處，還是使用未接地的延長(zhǎng)電纜，都不要斷開(kāi)此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請(qǐng)拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開(kāi)此設(shè)備之前，請(qǐng)確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或...

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,...

我們是岱美儀器。岱美拿到采購(gòu)HERZAN公司隔振臺(tái)的訂單，客戶是某杰出電腦硬盤(pán)盤(pán)基片制造商，此高性能的防震臺(tái)有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺(tái)由世界杰出的防震專業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的...

LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)...

AVI200-MAVI200-M的隔離始于1,2Hz，超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式...

將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個(gè)或多個(gè)LED可能會(huì)亮起，指示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力，所有過(guò)載燈都會(huì)亮起，并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表明系統(tǒng)暫時(shí)不再隔離，直到過(guò)載消除（待機(jī)模式）。消除過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再...

技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）透射率：參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率

使用說(shuō)明書(shū)解鎖系統(tǒng)后，將設(shè)備放置在平坦且堅(jiān)固的桌子上或地下。調(diào)整負(fù)載補(bǔ)償:將負(fù)載放在蕞上面，并使用以下三個(gè)調(diào)整負(fù)載補(bǔ)償側(cè)面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。沿+方向旋轉(zhuǎn)輪子以增加負(fù)載補(bǔ)償方向旋轉(zhuǎn)車輪以減少負(fù)載補(bǔ)償按下并檢查每個(gè)角是否有約0.5mm的自由移動(dòng)...

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。...