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EVG鍵合機加工結果除支持晶圓級和先進封裝，3D互連和MEMS制造外，EVG500系列晶圓鍵合機（系統(tǒng)）還可用于研發(fā)，中試或批量生產(chǎn)。它們通過在高真空，精確控制的準確的真空，溫度或高壓條件下鍵合來滿足各種苛刻的應用。該系列擁有多種鍵合方法，包括陽極，熱壓縮，玻...

半導體器件的垂直堆疊已經(jīng)成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法。晶圓間鍵合是實現(xiàn)3D堆疊設備的重要工藝步驟。然而，需要晶片之間的緊密對準和覆蓋精度以在鍵合晶片上的互連器件之間實現(xiàn)良好的電接觸，并蕞小化鍵合界面處的互連面積，從而可以在晶片上騰出更多空間用于...

EVG?301單晶圓清洗系統(tǒng)，屬于研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)。技術數(shù)據(jù) EVG301半自動化單晶片清洗系統(tǒng)采用一個清洗站，該清洗站使用標準的去離子水沖洗以及超音速，毛刷和稀釋化學藥品作為附加清洗選項來清洗晶片。EVG301具有手動加載和預對準功能，是一種多功能的研發(fā)...

EVG?501晶圓鍵合機（系統(tǒng)） ■研發(fā)和試生產(chǎn)的蕞/低購置成本 ■真正的低強度晶圓楔形補償系統(tǒng)，可實現(xiàn)蕞/高產(chǎn)量 ■強勁的壓力和溫度均勻性 ■自動鍵合和數(shù)據(jù)記錄 ■高真空鍵合室 (使用真空渦輪增壓泵，低至10-5mbar) ■開放式腔室設計，可實現(xiàn)快速轉換和...

EVG的晶圓鍵合機鍵合室配有通用鍵合蓋，可快速排空，快速加熱和冷卻。通過控制溫度，壓力，時間和氣體，允許進行大多數(shù)鍵合過程。也可以通過添加電源來執(zhí)行陽極鍵合。對于UV固化黏合劑，可選的鍵合室蓋具有UV源。鍵合可在真空或受控氣體條件下進行。頂部和底部晶片的獨li...

1.更換SEM側面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉前面板上的“ON”開關。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后，使能LED指示燈將變穩(wěn)定，指示系統(tǒng)已正確隔...

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用在前饋回路中，以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水...

LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出，這些AVI元件以任意4個矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍色LED直立。將弟一個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在...

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-S適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2H...

1.更換SEM側面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉前面板上的“ON”開關。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后，使能LED指示燈將變穩(wěn)定，指示系統(tǒng)已正確隔...

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個單獨的承載模塊和一個控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用，可以按特殊順序提供不同長度的單個元件。AVI200-XL的隔...

手次使用AVI系統(tǒng)時，將前面板隔離開關設置為關閉（黑色旋鈕熄滅）。打開電源。電源指示燈現(xiàn)在將點亮，16個顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動或把手放在桌面上，部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后，您可以將隔離開關推到打...

使用AVI系統(tǒng)時，系統(tǒng)只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處，還是使用未接地的延長電纜，都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務中心。在打開此設備之前，請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或...

傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI元素所...

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個單獨的承載模塊和一個控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用，可以按特殊順序提供不同長度的單個元件。AVI200-XL的隔...

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力，所有過載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過載解除（待機模式）之前暫時不再隔離。卸下過載后，隔離燈應再次亮起，系...

支撐面測試在系統(tǒng)運行時，推動支撐表面。燈不亮，除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應對水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當?shù)厥菇Y構變硬。請注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行，但會產(chǎn)生共振的柔軟結構...

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,...

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力，所有過載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過載解除（待機模式）之前暫時不再隔離。卸下過載后，隔離燈應再次亮起，系...

使用AVI系統(tǒng)時，系統(tǒng)只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處，還是使用未接地的延長電纜，都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務中心。在打開此設備之前，請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或...

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,...

我們是岱美儀器。岱美拿到采購HERZAN公司隔振臺的訂單，客戶是某杰出電腦硬盤盤基片制造商，此高性能的防震臺有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺由世界杰出的防震專業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的...

LFSLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設...

AVI200-MAVI200-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式...

將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個或多個LED可能會亮起，指示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力，所有過載燈都會亮起，并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表明系統(tǒng)暫時不再隔離，直到過載消除（待機模式）。消除過載后，隔離燈應再...

技術指標：頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離：動態(tài)（超過1kHz）透射率：參見附件曲線10Hz以上的透射率

使用說明書解鎖系統(tǒng)后，將設備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。調整負載補償:將負載放在蕞上面，并使用以下三個調整負載補償側面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。沿+方向旋轉輪子以增加負載補償方向旋轉車輪以減少負載補償按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動...

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。...

隔振臺TS-140+40的技術指標：頻率負載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離：動態(tài)（超過1kHz）傳遞率：參見附件曲線10Hz以上的透射率

AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI2...