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干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣，主要有以下幾個方面： 1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒； 3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求； 4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。 浚和（上海）儀器有限公司的干式真空泵產(chǎn)品種類繁多。樫山干式真空泵中國授權(quán)代理商 日本KASH...

當(dāng)您選擇油封泵時，您應(yīng)該首先了解您的真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達(dá)到清潔真空要求。當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求。當(dāng)選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽（油煙）對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，應(yīng)該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。您喜歡干式真空泵的這些特點(diǎn)嗎？無錫NEODRY 36E干式真空泵維修 日本KASHIYAMA SDE303TX干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清...

干式真空泵與油泵的性能比較 項(xiàng) 目 ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵 油 泵 特 征 ○ ?不使用液體密封泵腔，可以得到干凈的真空。 ...

KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設(shè)備簡介（包括對功能的基本介紹） SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設(shè)計排氣線路短，不容易發(fā)生卡死。轉(zhuǎn)子材質(zhì)為鎳合金，防腐蝕能力優(yōu)越,使用時內(nèi)部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。 系統(tǒng)組成： 1) 羅茨泵 (SDE120TX) 1 2) 機(jī)械增壓泵(KMB603) 1 3) 電源盒 1 ...

日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣 SDL12E50/60 MAX排氣速度（L/min） 25000 達(dá)到壓力（Pa） 0.8 ...

日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：MU180X MAX排氣速度（L/min）：3000 達(dá)到壓力（Pa）：1.5 電源電壓：3相 AC200-220V 消費(fèi)電力（KW）：0.5KW 外型尺寸WHL [mm]：280×299×550 質(zhì)量【kg】：95kg 二、 配置清單： 序號 描述 ...

螺桿干式真空泵特征： ①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長。 ②操作維護(hù)方便。 ③動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。 ④適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響. ⑤多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。 浚和（上海）儀器有限公司提供小型風(fēng)冷的干式真空泵。南京NEODRY 60E干式真空...

日本KASHIYAMASDE804060干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、技術(shù)參數(shù)： 式樣 SDE804060 MAX排氣速度（L/min） 190000 達(dá)到壓力（Pa） 0.5 ...

有的立式螺桿真空泵的冷卻系統(tǒng)更獨(dú)特，比如在泵內(nèi)增加了螺桿內(nèi)部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻，很好的維持內(nèi)表面的溫度，不至于溫度過高或過低，始終維持在一個合適的溫度，以防被抽的熱敏性物質(zhì)分解，及高溫易聚合的物質(zhì)，比如HCN及MMA生產(chǎn)企業(yè)就比較適合。眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率?？：停ㄉ虾＃﹥x器有限公司提供日本樫山工業(yè)7m3/h到2500m3/h的干式真空泵。廣州MU100X干式真空泵中國授權(quán)代理商 干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣，主要有以下幾個方面： ...

日本KASHIYAMA SDE4030M20干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE4030M20 MAX排氣速度（L/min）：80000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 外型尺寸WHL [mm]：800×1580×1320 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)量 ...

日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE20M20 MAX排氣速度（L/min）：30000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 外型尺寸WHL [mm]：450×950×1000 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)量 ...

干式真空系統(tǒng)還具有比較好的控制系統(tǒng)，有單獨(dú)的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、電機(jī)同步、開停機(jī)、閥門開關(guān)和泵本身自清洗控制等問題，并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點(diǎn)，增強(qiáng)了系統(tǒng)的安全性。使干泵系統(tǒng)能適應(yīng)化工、制藥里嚴(yán)苛的環(huán)境。主要由以下三部分組成：內(nèi)置基本驅(qū)動模塊；數(shù)據(jù)總線控制柜；冷卻液泵的控制和防爆馬達(dá)控制中心。有些真空泵是兩個電機(jī)同步驅(qū)動，在確保全速和扭矩控制的同時，保證在泵運(yùn)行時維持無部件相互接觸；無密封設(shè)計，確保無泄露；上海干式真空泵批發(fā)推薦浚和（上海）儀器有限公司。深圳MU180X干式真空泵維修點(diǎn) 干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用...

干式螺桿真空泵選型 干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空泵設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選擇在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。 干式螺桿真空泵的極限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。 選擇真空機(jī)組： 了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆?；覊m、有無腐蝕性等。選擇干式螺桿真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考...

日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE20M09X MAX排氣速度（L/min）：30000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 消費(fèi)電力（KW）：2.6KW 外型尺寸WHL [mm]：460×960×900 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)...

日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：MU600X MAX排氣速度（L/min）：10000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V 消費(fèi)電力（KW）：0.6KW 外型尺寸WHL [mm]：230×520×530 質(zhì)量【kg】：120kg 二、 配置清單： 序號 描述 ...

KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設(shè)備簡介（包括對功能的基本介紹） SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設(shè)計排氣線路短，不容易發(fā)生卡死。轉(zhuǎn)子材質(zhì)為鎳合金，防腐蝕能力優(yōu)越,使用時內(nèi)部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。 系統(tǒng)組成： 1) 羅茨泵 (SDE120TX) 1 2) 機(jī)械增壓泵(KMB603) 1 3) 電源盒 1 ...

日本KASHIYAMA SDE4060干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE4060 MAX排氣速度（L/min）：60000 達(dá)到壓力（Pa）：0.8 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 外型尺寸WHL [mm]：750×1200×1600 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)量 ...

日本KASHIYAMASDE303X干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、技術(shù)參數(shù)： 式樣 SDE303X MAX排氣速度（L/min） 5000 達(dá)到壓力（Pa） 0.5 ...

螺桿干式真空泵特征： ①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長。 ②操作維護(hù)方便。 ③動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。 ④適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響. ⑤多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。 浚和（上海）儀器有限公司KASHIYAMA干式真空泵現(xiàn)貨促銷中。樫山干式真空泵維修...

日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技術(shù)參數(shù)以及配置清單 一、 NEODRY 15E技術(shù)參數(shù)： 式樣：NEODRY 15E Max排氣速度（L/min）：250 達(dá)到壓力（Pa）：1 電源電壓：單相AC200-220V 外型尺寸WHL [mm]：210×250×385 吸氣口：KF25 噪聲：≤60DB 排氣口：KF25 質(zhì)量【kg】：23kg 二、NEODRY15E 配置清單： 序號 ...

日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣 SDL12E50/60 MAX排氣速度（L/min） 25000 達(dá)到壓力（Pa） 0.8 ...

日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：MU600X MAX排氣速度（L/min）：10000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V 消費(fèi)電力（KW）：0.6KW 外型尺寸WHL [mm]：230×520×530 質(zhì)量【kg】：120kg 二、 配置清單： 序號 描述 ...

當(dāng)您選擇油封泵時，您應(yīng)該首先了解您的真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達(dá)到清潔真空要求。當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求。當(dāng)選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽（油煙）對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，應(yīng)該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。您喜歡干式真空泵的這些特點(diǎn)嗎？常州NEODRY 36E干式真空泵報價 干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除...

日本KASHIYAMA SDE4060干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE4060 MAX排氣速度（L/min）：60000 達(dá)到壓力（Pa）：0.8 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 外型尺寸WHL [mm]：750×1200×1600 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)量 ...

日本KASHIYAMA SDE20M20干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE20M20 MAX排氣速度（L/min）：30000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 外型尺寸WHL [mm]：450×950×1000 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)量 ...

通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)；輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。 1）清潔環(huán)保； 2）真空度高； 3）防腐設(shè)計（**技術(shù)）； 4）可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體（**技術(shù)）； 5）特殊軸封設(shè)計，杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染； 6）防過載設(shè)計； 7）運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)； 8）高標(biāo)準(zhǔn)配置； 9）附件配置齊全 10）高質(zhì)量健全的零配件供應(yīng)。 干式真空泵的主要特點(diǎn)有很多。南京MU180X干式真空泵維修 干式真空泵的...

日本KASHIYAMASDE90X干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、技術(shù)參數(shù)： 式樣 SDE90X MAX排氣速度（L/min） 1300 達(dá)到壓力（Pa） 1.3 ...

日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù)： 式樣：SDE20M12TX MAX排氣速度（L/min）：30000 達(dá)到壓力（Pa）：0.5 電源電壓：3相 AC200-220V，380-480V 外型尺寸WHL [mm]：460×960×900 二、 配置清單： 序號 描述 數(shù)量 ...

KASHIYAMA Neodry7E真空泵技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品介紹：KASHIYAMA為客戶降低真空泵使用成本付出長期不懈的努力，NeoDry Series小型空冷多級干式羅茨真空泵由此誕生。所抽氣體為潔凈空氣或氮?dú)鈺r，維護(hù)周期長達(dá)三年。廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、鋰電池、醫(yī)藥生物、化學(xué)材料等領(lǐng)域。 主要參數(shù)： 1. 采用空冷式設(shè)計降溫 2. 轉(zhuǎn)子與內(nèi)腔非接觸式物理構(gòu)造設(shè)計 3. *Zui大排氣速度110L/min 4. 極限真空泵5Pa(氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉狀態(tài)) 5. 選配氣鎮(zhèn)閥后，可排出水與有機(jī)溶液，Zui大水份處...

螺桿干式真空泵特征： ①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長。 ②操作維護(hù)方便。 ③動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。 ④適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響. ⑤多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。 干式真空泵的不同系列會有不同的優(yōu)勢。成都KASHIYAMA干式真空泵中國授權(quán)代理商...