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工業(yè)烤箱節(jié)能省電方法 1、工業(yè)烤箱采用適當(dāng)?shù)募訜峁β剩魏蜗到y(tǒng)都有一個熱平衡問題，以適當(dāng)?shù)募訜峁β诗@取大的加熱效果， 2、總加熱功率越低越省電。顯然如加熱功率太低，加熱時間延長，不但省不了電，反而增加生產(chǎn)時間，造成單位時間產(chǎn)晨低，增加其他成本。加熱功率越大，加熱越快，越省電。顯然，加熱功率太大，加熱太快，局部溫差大，損耗更大，也不省電。 3、根據(jù)不同的使用條件，工業(yè)烤箱采用不同的加熱方式，以提高加熱效率。 4、采用高效保溫材料（比普通石棉提高60%的絕熱材料），以減少能量損耗。 5、工業(yè)烤箱根據(jù)不同的烘烤過程，自動變換烘烤溫度，可以節(jié)能。 6、適...

無氧烘箱適用范圍 無氧化烘箱在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2或者N2,形成高溫、低氧（無氧）或者潔凈環(huán)境（無氧潔凈烤箱），防止材料在烘烤時被氧化。適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理；封裝測試；光刻工藝有機聚合物膜預(yù)固化、堅膜；銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等。廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。 高溫?zé)o氧烘箱，就選浚和(上海)儀器有限公司，讓您滿意，歡迎您的來電！湖北實驗室儀器高溫?zé)o氧烘箱 無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱的比較 ...

選購氣氛爐考慮哪些方面的特點操作 1、耐火材料：采用還原性氣體，為了不影響砌體的使用壽命，以及不破環(huán)正常爐內(nèi)氣氛，要求爐膛砌體采用抗?jié)B碳耐火材料。 2、自動化程度：密封性要求高，出料操作過程復(fù)雜，要求一臺爐子多用，大批量生產(chǎn)時，多組成大型聯(lián)合熱處理專項使用或者兩用以上的機組，因而要求有較高的機械化，自動化程度。 3、密封性：為了控制爐內(nèi)的氣氛，維持爐內(nèi)的壓力，爐內(nèi)工作空間始終要與外界空氣隔絕，故要求爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇，哪些方面的特點操作熱電偶，輻射管，推拉料機等采用密封裝置。 4、防爆裝...

烘箱加熱管的選擇 這邊介紹主要用于烘箱的風(fēng)道式加熱器，可以采用碳鋼材質(zhì)、也可以采用不銹鋼304材質(zhì)或者316材質(zhì)?？梢愿鶕?jù)客戶烘烤的產(chǎn)品選擇加熱管的材質(zhì)，正常情況下一般用碳鋼材質(zhì)或者不銹鋼304材質(zhì)，若客戶烘烤產(chǎn)品帶有弱酸堿性液體的，可以采用不銹鋼316材質(zhì)。若液體中有強酸的，就應(yīng)該采用不銹鋼316、聚四氟乙烯。 ------------------------------------------------------------------------------------------------------------ 浚和(上海)儀器有限公司為您...

C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO） ●用途：電子元器件高溫處理工藝。 ●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。 ●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。 ●程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式。 ●快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。 ●配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。 ●在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異 ●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。 室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)： 溫度范圍室溫：+30～360℃ 溫...

DNN660C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格（YAMATO） 規(guī)格： 內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660 外形尺寸（寬×深×高mm）：1450×1060×1960 內(nèi)容積：216L 棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm 排氣口：40KF法蘭 氮氣入口：Rc1/2 冷卻水入口：Rc3/4 熱水出口：Rc3/4，2個 電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 27A 重量：約1000kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能 ...

DNN430C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格（YAMATO） 規(guī)格： 內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：450×450×450 外形尺寸（寬×深×高mm）：1090×950×1540 內(nèi)容積：91L 棚板層數(shù)/層間距：12層/30mm 排氣口：40KF法蘭 氮氣入口：Rc1/2 冷卻水入口：Rc3/4 熱水出口：Rc3/4，2個 電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 16A 重量：約800kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能 ...

DTN450C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO) 規(guī)格： ①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：450×450×450 ②外形尺寸（寬×深×高mm）：1240×1010×1750 ③內(nèi)容積：91L ④棚板層數(shù)/層間距：12層/30mm ⑤排氣口：40KF法蘭 ⑥氮氣入口：Rc1/2 ⑦冷卻水入口：Rc3/4 ⑧熱水出口：Rc3/4，2個 ⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 20A ⑩重量：約900kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以...

氣氛爐經(jīng)工藝試驗保養(yǎng)工作 設(shè)備于材料試驗、合成、燒結(jié)等，在日常使用后用戶也應(yīng)注意到設(shè)備的保養(yǎng)工作，保養(yǎng)時我們應(yīng)該定期檢查的項目有： 1、使用時不得超過額定功率，爐溫不得超過*高使用溫度。禁止將潮濕工件裝入爐膛內(nèi)，含有過高水份的被加熱工件應(yīng)預(yù)先烘干。 2、保持爐膛清潔，對爐內(nèi)的金屬氧化物，爐渣和雜質(zhì)等應(yīng)及時清潔。裝卸工件時應(yīng)謹慎，以防碰壞硅鉬棒。 3、硅鉬棒堿、堿金屬、硅酸及硼化合物在高溫下對它能起腐蝕作用，水蒸氣對它有強烈的氧化影響，氫及含有大量氫的氣體在高溫時會分解硅鉬棒，使用...

真空烘箱安裝工作 1、真空烘箱查緝配件。 2、將真空烘箱箱體與各附件就位，并調(diào)試水準(zhǔn)高度差。 3、連署收并管理道及真空系統(tǒng)。周密的抽氣機連署見隨機附帶的抽氣機運用文字說明。 4、連署扼制電路。 5、關(guān)閉真空烘箱箱門嘗試真空功能。 6、設(shè)定加熱溫度，開啟加熱嘗試加熱功能。 ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------...

氣氛爐抽真空效果不佳解決辦法 一、檢查氣氛爐自身的密封性 檢查一下爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇，熱電偶，輻射管，推拉料機等處的密封性是否正常； 二、檢查氣氛爐真空泵 真空泵的好壞決定于其機械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。 浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供高溫?zé)o氧烘箱的公司，有想法的可以來電咨詢！重慶高溫?zé)o氧烘箱潔凈厭氧高溫氣氛爐 選購...

烘箱安裝要求及檢查調(diào)整 1、安置地點要求： ①地面須水平 ②通風(fēng)須良好，落塵量較少 ③不要放置在潮濕地方 ④不要暴露在易燃或腐蝕性氣體下（特殊烤箱除外） ⑤盡可能使可燃物遠離 ⑥環(huán)境溫度匆過高 2、安置間隔要求： ①理想操作環(huán)境機身各方距墻60公分以上 ②理想操作環(huán)境機身與機身間隔60公分以上 3、電源安裝要求： ①請依電器銘板上所訂之電源規(guī)格接電 ②電壓變動率必須在額定值±5%內(nèi) ③為避免電擊意外發(fā)生，機臺本身必須接地（依電工法規(guī)第三種接地法實施對地電阻100Ω以下） ④不可將有漏電斷路器...

氣氛爐產(chǎn)生故障的注意及應(yīng)急方法 編制使用維護操作規(guī)程，建立運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的熱修，并根據(jù)電爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準(zhǔn)備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內(nèi)介質(zhì)、元件質(zhì)量及操作情況等許多因素有關(guān)，其波動壽命6000～10000h。 氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發(fā)生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓...

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO) 規(guī)格： ①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660 ②外形尺寸（寬×深×高mm）：1300×1000×1750 ③內(nèi)容積：216L ④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm ⑤排氣口：40KF法蘭 ⑥氮氣入口：Rc1/2 ⑦冷卻水入口：Rc3/4 ⑧熱水出口：Rc3/4，2個 ⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 19A ⑩重量：約1100kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/...

DNN430C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格（YAMATO） 1、方式：氮氣置換+ 強制送風(fēng)循環(huán) 2、性能： ①使用溫度范圍：室溫+50～360℃ ②溫度調(diào)節(jié)精度：±0.5℃（at360℃） ③溫度分布精度：±5.0℃（at360℃） ④MAX溫度到達時間：約80分鐘 ⑤氧濃度：20ppm 以下 ⑥氧濃度到達時間：≤ 20分（250L/min 氮氣） 3、構(gòu)成： ①內(nèi)裝：不銹鋼板 ②外裝：冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 ③斷熱材：硅酸鋁棉 ④加熱方式：不銹鋼加熱管 ⑤加熱功率：主加熱器6.75K...

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO) 規(guī)格： ①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660 ②外形尺寸（寬×深×高mm）：1300×1000×1750 ③內(nèi)容積：216L ④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm ⑤排氣口：40KF法蘭 ⑥氮氣入口：Rc1/2 ⑦冷卻水入口：Rc3/4 ⑧熱水出口：Rc3/4，2個 ⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 19A ⑩重量：約1100kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/...

工業(yè)烤箱要怎么樣充分發(fā)揮功能？ 工業(yè)烤箱的主要作用就是烘干工業(yè)物料，想要充分發(fā)揮功能，主要源于三個方面： 1、科學(xué)的工作原理：一個先進的設(shè)計理念，是工業(yè)烤箱充分發(fā)揮的前提。工業(yè)烤箱采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)方式，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算，風(fēng)源是由送風(fēng)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)由電熱器，將熱風(fēng)送至風(fēng)道后進入烘箱工作室，且將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱運用，如此可有交提高溫度均勻性。 2、正確的操作：如工業(yè)烤箱在使用時尾氣排放口必須外接排氣管，要主要使用環(huán)境的溫度等。 3、要注意使用后的維護比...

DNN660C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格（YAMATO） 規(guī)格： 內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660 外形尺寸（寬×深×高mm）：1450×1060×1960 內(nèi)容積：216L 棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm 排氣口：40KF法蘭 氮氣入口：Rc1/2 冷卻水入口：Rc3/4 熱水出口：Rc3/4，2個 電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 27A 重量：約1000kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能 ...

C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO） ●用途：電子元器件高溫處理工藝。 ●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。 ●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。 ●程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式。 ●快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。 ●配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。 ●在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異 ●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。 室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)： 溫度范圍室溫：+30～360℃ 溫...

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO) 規(guī)格： ①內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）：660×500×660 ②外形尺寸（寬×深×高mm）：1300×1000×1750 ③內(nèi)容積：216L ④棚板層數(shù)/層間距：19層/30mm ⑤排氣口：40KF法蘭 ⑥氮氣入口：Rc1/2 ⑦冷卻水入口：Rc3/4 ⑧熱水出口：Rc3/4，2個 ⑨電源（50/60Hz）額定電流：3相AC380V 19A ⑩重量：約1100kg 選購品：棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/...

無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱的比較 無氧烘箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。 一、無氧烘箱與普通工業(yè)烘箱在結(jié)構(gòu)上的區(qū)別 無氧烘箱會對內(nèi)箱進行滿焊，同時做密封處理，這樣充入的惰性氣體就不會泄露，同時保證了內(nèi)部的無氧環(huán)境。而普通烘箱內(nèi)箱雖然也是滿焊，但是沒有做密封處理。 二、無氧烘箱與...

氣氛爐產(chǎn)生故障的注意及應(yīng)急方法 編制使用維護操作規(guī)程，建立運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的熱修，并根據(jù)電爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準(zhǔn)備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內(nèi)介質(zhì)、元件質(zhì)量及操作情況等許多因素有關(guān)，其波動壽命6000～10000h。 氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發(fā)生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓...

DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO) 1、方式：氮氣置換+ 強制送風(fēng)循環(huán) 2、性能： ①使用溫度范圍：室溫+50～500℃ ②溫度調(diào)節(jié)精度：±1.0℃（at500℃） ③溫度分布精度：±8.0℃（at500℃） ④MAX溫度到達時間：約110分鐘 ⑤氧濃度：20ppm 以下 ⑥氧濃度到達時間：≤ 25分（250L/min 氮氣） ⑦潔凈度：溫度恒定時100級 3、構(gòu)成： ①內(nèi)裝：不銹鋼板 ②外裝：冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 ③斷熱材：硅酸鋁棉 ④加熱方式：不銹鋼加熱管 ...

C1-007厭氧高溫氣氛爐（YAMATO） ●用途：電子元器件高溫處理工藝。 ●用途：光刻工藝后段，光刻膠固化。 ●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。 ●程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式。 ●快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。 ●配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。 ●在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異 ●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。 室溫+30～360℃ 規(guī)格參數(shù)： 溫度范圍室溫：+30～360℃ 溫...

氣氛爐產(chǎn)生故障的注意及應(yīng)急方法 編制使用維護操作規(guī)程，建立運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的熱修，并根據(jù)電爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準(zhǔn)備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內(nèi)介質(zhì)、元件質(zhì)量及操作情況等許多因素有關(guān)，其波動壽命6000～10000h。 氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發(fā)生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓...

高溫?zé)o氧烘箱強度的提高方法 1、完善焊接技術(shù)，盡可能的保證在焊接過程中不要讓空氣中的雜質(zhì)或者其他氣體進入到熔池，減少氣孔的產(chǎn)生就能提高高溫充氮烘箱零件強度。 2、在噴涂之前進行粗糙處理，因為實踐證明，在進行粗糙處理的時候，砂粒相互之間的撞擊會產(chǎn)生相應(yīng)的壓應(yīng)力，而零件表面壓應(yīng)力越大的話，空心高溫充氮烘箱零件強度就越強。 3、在噴涂和堆焊操作之后，再對零件進行一次滾壓強化處理，這樣處理之后，零件表面就會被強化，組織會更加精密，所以相對的強度也會提高。 4、在對零件進行埋焊處理的時候，一定不要為了...

氣氛爐產(chǎn)生故障的注意及應(yīng)急方法 編制使用維護操作規(guī)程，建立運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的熱修，并根據(jù)電爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準(zhǔn)備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內(nèi)介質(zhì)、元件質(zhì)量及操作情況等許多因素有關(guān)，其波動壽命6000～10000h。 氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發(fā)生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓...

充氮烘箱的氮氣接口使用方法 充氮烘箱分為：鼓風(fēng)式和真空式兩種 鼓風(fēng)式充氮氣一般需要箱體滿焊確保氮氣損耗快，在烘箱上配一個氮氣快插接口，用于快速連接氮氣管路，如果避免氮氣快插接口有漏氣問題，氮氣入口處有藍色密膠圈，管子伸進去后把密膠圈往外拉一下確保密封。 真空式充氮氣一般都用類似煤氣閥的手動閥門，向外的一頭就是用于連接氮氣管子的快插接口，，氮氣入口處有藍色密膠圈，管子伸進去，使用時打開閥門即可。 ------------------------- 浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫?zé)o氧烘箱，歡迎您的...

氣氛爐抽真空效果不佳解決辦法 一、檢查氣氛爐自身的密封性 檢查一下爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇，熱電偶，輻射管，推拉料機等處的密封性是否正常； 二、檢查氣氛爐真空泵 真空泵的好壞決定于其機械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。 浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫?zé)o氧烘箱，期待您的光臨！重慶高溫?zé)o氧烘箱發(fā)揮功能 高溫?zé)o氧烘箱強度的提高方法 ...

DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO) 潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。 ■特點： ● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。 ● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。 ● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。 ● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量...