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氣壓規(guī)定：對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新...

單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個空氣活塞，向向下的方向流經(jīng)室內(nèi)，...

靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后...

人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清理掉，而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速，就可以很快將污染物清理。但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成...

環(huán)氧地坪開裂：環(huán)氧地坪在施工完成后果一段時間后，有可能會出現(xiàn)不同程度的大小裂縫，我們對其修補的同時，分析其產(chǎn)生的原因，產(chǎn)生裂縫原因：主要有結(jié)構(gòu)裂縫、伸縮裂縫、應(yīng)力裂縫、徐變裂縫。結(jié)構(gòu)裂縫：主要是由于地基未壓實或因受力不均勻?qū)е掳l(fā)生不均勻沉降。表現(xiàn)：通常發(fā)生在受...

環(huán)氧中涂：施工前地面需要保持干凈如有雜物粘附需干凈，嚴(yán)格依照說明書比例將主劑及硬化劑混合，并加入適量石英砂充分?jǐn)嚢?；混合完成材料需在?guī)定的時間內(nèi)施工完成；用鏝刀鏝涂成一定厚度的平整密實層；中涂層硬化時間約8小時以上（具體依據(jù)季節(jié)的實際情況而定）；環(huán)氧膩子層：視...

風(fēng)淋室的功能：風(fēng)淋室相對于緩沖室及氣閘室，其比較大的區(qū)別在于風(fēng)淋室?guī)в袃艋^濾吹淋功能。工作人員進入車間時，必須通過風(fēng)淋室，用強勁潔凈的空氣，由可旋轉(zhuǎn)噴嘴較全的方面噴射，有效而迅速清理去附著在人衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物，有效減少潔凈區(qū)的污染問題。風(fēng)淋室可...

無塵車間風(fēng)淋室的主要作用是什么？風(fēng)淋室是一種通用性較強的局部凈化設(shè)備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間的隔墻處，用于人員 或物體進入潔凈區(qū)時的吹淋除塵。使用后可有效和減少塵源進入潔凈區(qū)，使?jié)崈魠^(qū)保持正常的 工作狀態(tài)。 較廣的適用于食品飲料、電子、醫(yī)藥衛(wèi)生等各種行業(yè)及...

九大維護：定期使用儀器測定設(shè)備的各項技術(shù)指標(biāo)，如不符合技術(shù)參數(shù)要求應(yīng)及時予以處理。根據(jù)實際使用情況，定期將初效空氣過濾器中的濾料取下清洗。當(dāng)發(fā)現(xiàn)風(fēng)速變小時應(yīng)首先檢查初效空氣過濾器表面是否發(fā)黑，若發(fā)黑則說明預(yù)過濾器容塵較多，阻力增大，即應(yīng)拆下初效空氣過濾器內(nèi)的無...

潔凈區(qū)內(nèi)，在動態(tài)情況下，細菌及塵埃的比較大發(fā)生源是操作者。當(dāng)操作者進入潔凈區(qū)之前，用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒，可在一定程序減少污染的發(fā)生。風(fēng)淋室是人員進入潔凈區(qū)無塵車間所必備的凈化設(shè)備，通用性強，可與所有的潔凈區(qū)和潔凈廠房配套使用，工作人員進入車間...

光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。光...

氣壓規(guī)定：對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新...

國外潔凈室的強度要求極高，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求是．人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精細程度更高時，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度一般為(25—501x)，用天然光時可允許更高的照度，因而對工作是有利的，...

亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單...

但是，事與愿違，不但加不進去濕量而且加進去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來，而達不到加濕目的。因為，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達到加濕目的。如果不進行加熱是不可行的。在加濕問題上還有一個應(yīng)注意的問題就是空調(diào)器內(nèi)空...

國外潔凈室的強度要求極高，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求是．人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精細程度更高時，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度一般為(25—501x)，用天然光時可允許更高的照度，因而對工作是有利的，...

但是，事與愿違，不但加不進去濕量而且加進去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來，而達不到加濕目的。因為，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達到加濕目的。如果不進行加熱是不可行的。在加濕問題上還有一個應(yīng)注意的問題就是空調(diào)器內(nèi)空...

還有一個值得注意的問題是，近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低，例如：冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左...

國外潔凈室的強度要求極高，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求是．人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精細程度更高時，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度一般為(25—501x)，用天然光時可允許更高的照度，因而對工作是有利的，...

還有一個值得注意的問題是，近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低，例如：冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右，...

光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。光...

潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求。...

單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個空氣活塞，向向下的方向流經(jīng)室內(nèi)，...

單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流...

潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對...

這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全。紊流主要決定于雷諾數(shù)，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有...

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉...

障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風(fēng)速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。因此，必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的范圍里，以便使中...

噪聲控制：潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：1．煩惱的效應(yīng)由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧...

潔凈室中的氣流速度規(guī)定：這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求...