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光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測(cè)量方法 ，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會(huì)引起多光束干涉效應(yīng)，不同特性的薄膜材料的反射率和透過(guò)率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。因此，根據(jù)這一光譜...

風(fēng)洞測(cè)試中對(duì)機(jī)翼翼型的二維測(cè)量 ，是眾多空氣動(dòng)力學(xué)應(yīng)用中模型預(yù)測(cè)的關(guān)鍵技術(shù)。這類測(cè)試中，一般需要測(cè)量翼型在不同的受風(fēng)角度下的受力和俯仰力矩，受風(fēng)角度（攻角）的細(xì)微變化能夠造成力和力矩的大幅變動(dòng)，因此，對(duì)攻角的精確測(cè)量是這類測(cè)試中的主要技術(shù)需求。本研究在風(fēng)洞中采...

一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板；所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端；所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上，且使所述激光位移傳感器的激...

由于光譜共焦傳感器對(duì)于不同的反射面反射回來(lái)的單色光的波長(zhǎng)不同，因此對(duì)于材料的厚度精密測(cè)量具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。光學(xué)玻璃、生物薄膜、平行平板等，兩個(gè)反射面都會(huì)反射不同波長(zhǎng)的單色光，進(jìn)而只需一個(gè)傳感器，即可推算出厚度，測(cè)量精度可達(dá)微米量級(jí)，且不損傷被測(cè)表面。利用光譜共焦...

本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法，適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求。該方法利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描，并記錄測(cè)量掃描位置的空間橫坐標(biāo)，然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系，將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成...

在一個(gè)實(shí)施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個(gè)感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向?yàn)楦泄鈫卧闹饕帕蟹较?，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排...

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的...

本發(fā)明公開(kāi)了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對(duì)成像物鏡和感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，...

綜上所述，激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置的優(yōu)點(diǎn)在于：1、通過(guò)所述電子千分表221，使得所述激光位移傳感器4的檢驗(yàn)精度極大提高。2、通過(guò)所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11，簡(jiǎn)化了檢驗(yàn)流程、當(dāng)設(shè)備閑置時(shí)收縮導(dǎo)軌可節(jié)約占地面積。雖然以上描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但是熟悉本...

根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFT≥0.5，MTFS<0.0...

隨著社會(huì)的發(fā)展，智能設(shè)備不斷進(jìn)化，人們對(duì)個(gè)性化的追求日益增加。復(fù)雜的形狀意味著對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的精度和靈活性要求。當(dāng)前在手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí)，需要在中板上面點(diǎn)一圈透明的UV膠，由于其白色反光特性 ，只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行完美測(cè)量。光譜共焦傳感器的復(fù)合...

在點(diǎn)膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過(guò)視覺(jué)系統(tǒng)檢驗(yàn)。在生產(chǎn)中必須保證點(diǎn)膠路線是連貫和穩(wěn)定的，而通過(guò)色散共焦測(cè)量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球相對(duì)于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點(diǎn)膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測(cè)出來(lái)。色散共焦測(cè)量就連缺...

非接觸式激光平面檢測(cè)采用的是集光、機(jī)電一體化的測(cè)量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測(cè)量的新型位移檢測(cè)裝置，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)象物的高精度、高可靠性的測(cè)量。本文中定性檢測(cè)試驗(yàn)較好地反映出對(duì)象物平面實(shí)際起伏情況，...

通過(guò)將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過(guò)采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直...

道路是交通運(yùn)輸?shù)闹匾M成部分，其平整度和幾何形狀對(duì)行車安全、行車舒適性、車輛燃油經(jīng)濟(jì)性等方面都有著重要影響。為了確保道路的安全和舒適，需要對(duì)道路的平整度和幾何形狀進(jìn)行定期檢測(cè)和維護(hù)。而激光位移傳感器在道路檢測(cè)領(lǐng)域中的應(yīng)用，為道路的檢測(cè)和維護(hù)提供了更加準(zhǔn)確和高效...

在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中，光譜共焦技術(shù)是非常重要的應(yīng)用，可以提高測(cè)量效率和精度。在使用光譜共焦技術(shù)進(jìn)行測(cè)量之前，需要對(duì)其原理進(jìn)行分析，并對(duì)應(yīng)用的傳感器進(jìn)行綜合應(yīng)用，以獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測(cè)物體表面，然后通過(guò)光譜儀...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去，這些反...

進(jìn)一步地，所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動(dòng)輪、一伸縮制動(dòng)開(kāi)關(guān)以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪設(shè)于所述第...

帶通濾光片，設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡，設(shè)置于激光器的出射光路上?？蛇x地，上述感光元件為線陣感光元件，線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件，面陣感光元件包括以矩形排列的...

在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像...

進(jìn)一步地，所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動(dòng)輪、一伸縮制動(dòng)開(kāi)關(guān)以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪設(shè)于所述第...

從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小，主要是為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對(duì)均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm，在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光...

本實(shí)用新型涉及一種檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，特別指一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器，它由激光器、激光檢測(cè)器、測(cè)量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測(cè)量?jī)x表，能夠非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位移變化，并且測(cè)量精度高。在激光位移傳感器...

激光位移傳感器可以幫助制造商在生產(chǎn)過(guò)程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決問(wèn)題，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。例如，在半導(dǎo)體制造中，激光位移傳感器可以用于檢測(cè)芯片的厚度和變形，確保芯片的質(zhì)量和性能。在制藥行業(yè)中，激光位移傳感器可以用于檢測(cè)藥品的質(zhì)量和成分，確保藥品的有效性和安全性。激光...

本發(fā)明公開(kāi)了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對(duì)成像物鏡和感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，...

一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對(duì)所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列...

在激光位移傳感器中，激光束通過(guò)調(diào)整音叉透過(guò)高速上下移動(dòng)的物鏡，在受測(cè)對(duì)象物上聚集為一焦點(diǎn)，同時(shí)反射光也會(huì)在小孔位置合集為一點(diǎn)，并使受光元件受光，通過(guò)測(cè)定物鏡的具體的位置，從而準(zhǔn)確地測(cè)定目標(biāo)物離參考位置的距離，并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測(cè)頭的焦點(diǎn)分...

從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小，主要是為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對(duì)均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm，在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光...

光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測(cè)量工件表面缺陷的先進(jìn)技術(shù)。它利用光學(xué)原理和共焦原理，通過(guò)測(cè)量光譜信號(hào)的位移來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面缺陷的精確檢測(cè)和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測(cè)量工件表面缺陷的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測(cè)系統(tǒng)配...

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測(cè)量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測(cè)量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對(duì)振動(dòng)、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，...