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本實(shí)用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過(guò)共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一...

這樣，通過(guò)棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過(guò)聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過(guò)感光元件與控制電路電性連接，從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出，即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物...

在圖1所示的實(shí)施例中，成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式：(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片，(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，利用增加像散，在感光元件的感光單元沿著S方...

Preferencyly，在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè)，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響，發(fā)光件左右對(duì)稱布置在光源耦合器中，通過(guò)卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè)，分別通過(guò)插槽3400與發(fā)光件連接，兩個(gè)導(dǎo)光...

本實(shí)用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠础型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過(guò)共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一...

通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多...

進(jìn)一步地，所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。進(jìn)一步地，所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電...

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長(zhǎng)不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過(guò)色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生...

如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)...

光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的...

將紙幣放置在平臺(tái)上，調(diào)整感測(cè)頭與紙幣的距離大約在30mm左右，直至焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)紙幣且監(jiān)視器中顯示可變化的讀數(shù)；(2)按下人機(jī)界面中的Start按鈕，平臺(tái)將以設(shè)置好的速度、相鄰數(shù)據(jù)點(diǎn)物理間隔和時(shí)間間隔進(jìn)行移動(dòng)，直到數(shù)據(jù)采集完為止；(3)保存步驟(2)中所采集到的數(shù)據(jù)...

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測(cè)量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束;多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),...

提高采樣頻率，利用前一次采樣得到的結(jié)果，分析判斷物體表面的反射光強(qiáng)，然后適時(shí)調(diào)整激光器發(fā)射的激光束的強(qiáng)度，以減小由于反射光強(qiáng)變化大而產(chǎn)生的測(cè)量誤差。這種方法在很大限度上改進(jìn)了由于飽和產(chǎn)生的誤差,但仍然無(wú)法從根本上解決由于物體表面在激光光斑散射的小范圍內(nèi)的反射率...

激光三角測(cè)量是一種成熟的測(cè)量方法 ,具有原理簡(jiǎn)單,測(cè)量精度高以及抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。目前,國(guó)外多家公司都有這個(gè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列。激光位移傳感器有多種型號(hào),適用于不同的測(cè)量距離范圍,測(cè)量精度處較高水平,但價(jià)格也普遍偏高。近年來(lái),國(guó)內(nèi)各大院校和研究機(jī)構(gòu)在激光三角測(cè)...

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過(guò)濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部...

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變...

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的...

通過(guò)所述控制面板14設(shè)置所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11伸縮至特定的距離，打開所述激光位移傳感器4，使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上，記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離；旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212使得所述橫...

極值法求解過(guò)程計(jì)算簡(jiǎn)單，速度快，同時(shí)能確定薄膜的多個(gè)光學(xué)常數(shù)并解決多值性問(wèn)題，測(cè)試范圍廣，但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素，因此精度不夠高。此外，由于受曲線擬合精度的限制，該方法對(duì)膜厚的測(cè)量范圍有要求，通常用于測(cè)量薄膜厚度大于200納米且小于10微米的情況...

機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦...

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理，通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測(cè)量領(lǐng)域的重要手段，并可以通過(guò)與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測(cè)量...

光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測(cè)量方法 ，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會(huì)引起多光束干涉效應(yīng)，不同特性的薄膜材料的反射率和透過(guò)率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。因此，根據(jù)這一光譜...

系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī)、激光位移傳感器和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測(cè)頭和監(jiān)視器組成。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)主要由平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器、驅(qū)動(dòng)器、電源和二維電動(dòng)平移臺(tái)組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2...

本文主要研究了如何采用白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度的準(zhǔn)確測(cè)量，研究對(duì)象為半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料。由于不同材料薄膜的特性差異，所適用的測(cè)量方法也會(huì)有所不同。對(duì)于折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的半導(dǎo)體鍺膜，采用...

根據(jù)物體表面的散射特性，可確定入射光與成像透鏡光軸的夾角。激光入射到被測(cè)物體表面，散射光強(qiáng)度成橢球型分布[6]。當(dāng)入射光垂直入射時(shí)，α值越小，成像透鏡接收到的散射光強(qiáng)度越大，但角度過(guò)小對(duì)探測(cè)器分辨率要求及制作工藝上都有較高難度，綜合考慮取α值為21.8°，由儀...

干涉測(cè)量法是一種基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法，是一種高精度的測(cè)量技術(shù)，其采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、穩(wěn)定性高、抗干擾能力強(qiáng)、使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)干涉測(cè)量任務(wù)，都是通過(guò)分析薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和...

本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域，并且特別地，涉及一種激光位移傳感器；光學(xué)傳感器是依據(jù)光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量的儀器，這類傳感器有許多優(yōu)點(diǎn)，例如，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測(cè)量、測(cè)量幾乎不受干擾、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測(cè)、遙控、可實(shí)時(shí)處理等優(yōu)點(diǎn)。光學(xué)傳感器包括很多類型，其中，以...

隨著科技的不斷進(jìn)步 ，手機(jī)已經(jīng)成為我們?nèi)粘Ｉ钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?。然而，隨著手機(jī)功能的不斷擴(kuò)展和提升，手機(jī)零部件的質(zhì)量和精度要求也越來(lái)越高。為了滿足這一需求，高精度光譜共焦傳感器被引入到手機(jī)零部件檢測(cè)中，為手機(jī)制造業(yè)提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感...

隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面...

如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)...