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光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)...

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色...

過去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)...

進(jìn)一步地，所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動(dòng)輪、一伸縮制動(dòng)開關(guān)以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪設(shè)于所述第...

通過所述控制面板14設(shè)置所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11伸縮至特定的距離，打開所述激光位移傳感器4，使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上，記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離；旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212使得所述橫...

本實(shí)施例中通過采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個(gè)或多個(gè)，當(dāng)設(shè)置為一個(gè)時(shí)，導(dǎo)光光纖均傳遞一個(gè)發(fā)光件的光，這樣會(huì)導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導(dǎo)致光線的辨識(shí)度不高，因此本實(shí)施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個(gè)，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式...

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量，提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測(cè)量，并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測(cè)量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共...

針對(duì)目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低，測(cè)量范圍小等問題，提出了一種采用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件預(yù)先仿真整個(gè)激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上，結(jié)合具體要求設(shè)計(jì)了一個(gè)激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)，其工作范圍為（50±10）mm。采用系統(tǒng)分割的...

主要是對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)后的誤差進(jìn)行分析。各自利用干涉儀與高精密測(cè)長機(jī)對(duì)光譜共焦傳感器開展測(cè)量，用曲面測(cè)針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測(cè)針，以確保光譜共焦傳感器在測(cè)量時(shí)安裝精密度，隨后拆換平面圖歪頭，對(duì)光譜共焦傳感器開展校準(zhǔn)。用小二乘法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行...

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測(cè)量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測(cè)量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對(duì)振動(dòng)、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，...

光斑尺寸參數(shù)的測(cè)試方法是通過接收散射光信號(hào)計(jì)算光斑直徑大小。在測(cè)試中，需要將激光束投射到被測(cè)物體表面，然后接收散射光信號(hào)并計(jì)算光斑直徑大小。另外，也可以對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行切割并利用顯微鏡觀察光斑直徑大小的方法進(jìn)行測(cè)試 。這些測(cè)試方法可以有效地對(duì)光斑尺寸進(jìn)行精確...

光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測(cè)量工件表面缺陷的先進(jìn)技術(shù)。它利用光學(xué)原理和共焦原理，通過測(cè)量光譜信號(hào)的位移來實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面缺陷的精確檢測(cè)和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測(cè)量工件表面缺陷的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測(cè)系統(tǒng)配...

壓縮機(jī)在承受載荷時(shí)會(huì)發(fā)生微小變形，變形的大小將直接影響零部件之間的裝配以及余隙容積等，因此準(zhǔn)確測(cè)試結(jié)構(gòu)的變形對(duì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)驗(yàn)證至關(guān)重要。測(cè)試與分析結(jié)構(gòu)微變形的方法有很多種[1-8]，傳統(tǒng)常用的是千分表（如圖1所示）測(cè)試，通過機(jī)械探針接觸被測(cè)物體表面，讀取表盤的指針...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去，這些反射...

光譜法是一種以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的薄膜厚度測(cè)量方法，分為反射法和透射法兩種類型。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會(huì)引起多光束干涉效應(yīng)，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度一一對(duì)應(yīng)。因此，可以根據(jù)這種光譜特性來確定薄...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向 ，此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長光譜的測(cè)量 。通過分析被測(cè)物體的光譜特性，就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù)，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測(cè)量效率，而且也減...

白光掃描干涉法采用白光為光源 ，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行掃描 ，干涉條紋掃過被測(cè)面，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息。測(cè)量原理圖如圖1-5所示。而對(duì)于薄膜的測(cè)量，上下表面形貌、粗糙度、厚度等信息能通過一次測(cè)量得到，但是由于薄膜上下表面的反射，會(huì)使提取出來的白...

高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測(cè)量精度 。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的位移測(cè)量，對(duì)于晶圓表面微小變化的檢測(cè)具有極大的優(yōu)勢(shì)。在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓的表面質(zhì)量對(duì)于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響，因此需要一種能夠jing'q精確測(cè)量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質(zhì)量。其次...

針對(duì)靶丸自身獨(dú)特的特點(diǎn)及極端實(shí)驗(yàn)條件需求 ，使得靶丸參數(shù)的測(cè)試工作變得異常復(fù)雜。如何精確地測(cè)定靶丸的光學(xué)參數(shù)，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題。由于光學(xué)測(cè)量方法具有無損、非接觸、測(cè)量效率高、操作簡便等優(yōu)越性，靶丸參數(shù)測(cè)量通常采用光學(xué)測(cè)量方式。常用的光學(xué)參數(shù)測(cè)...

為了滿足全天候觀察的需求,設(shè)計(jì)了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學(xué)成像系統(tǒng)。根據(jù)寬光譜共焦原理以及光學(xué)被動(dòng)式無熱化原理，設(shè)計(jì)了一個(gè)波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數(shù)為50 mm，F(xiàn)數(shù)為2.8的光學(xué)成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 l...

硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度，以及±60°的測(cè)量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...

主要對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)時(shí)的誤差進(jìn)行研究。分別利用激光干涉儀與高精度測(cè)長機(jī)對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行測(cè)量，用球面測(cè)頭保證光譜共焦傳感器的光路位于測(cè)頭中心，以保證光譜共焦傳感器的在測(cè)量時(shí)的安裝精度，然后更換平面?zhèn)阮^，對(duì)光譜共焦傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。用?小二乘法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)...

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機(jī)殼設(shè)置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，所述感光元件位于所述機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在...

隨著科技的進(jìn)步和應(yīng)用的深入，光譜共焦在點(diǎn)膠行業(yè)中的未來發(fā)展前景非常廣闊。以下是一些可能的趨勢(shì)和發(fā)展方向：高速化方向，為了滿足不斷提高的生產(chǎn)效率要求，光譜共焦技術(shù)需要更快的光譜分析速度和更短的檢測(cè)時(shí)間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進(jìn)硬件設(shè)備，以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測(cè)效...

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量，提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測(cè)量，并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測(cè)量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共...

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測(cè)量儀器，主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等領(lǐng)域。特別是在工業(yè)制造中，比如汽車工業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域，氣缸內(nèi)壁的精度對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù)，...

多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對(duì)...

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備，具有通用性強(qiáng)，精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法，利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪...

在汽車領(lǐng)域 ，激光位移傳感器不僅可以用于汽車零部件的精密加工 ，還可以用于汽車零部件的測(cè)量。在汽車制造過程中，激光位移傳感器可以幫助制造商精確測(cè)量汽車零部件的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，以確保這些零部件符合設(shè)計(jì)要求。例如，在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量車身和引擎...

在硅片柵線的厚度測(cè)量過程中，創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02%的線性精度，10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多...