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光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測量方法 ，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應(yīng)，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應(yīng)關(guān)系。因此，根據(jù)這一光譜...

靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù)，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調(diào)心方法，實現(xiàn)了靶...

光譜共焦傳感器結(jié)合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術(shù)，在工業(yè) 4.0 的高要求下，這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中，傳感器必須進行高速測量并提供高精度結(jié)果，以確?？煽康馁|(zhì)量保證。由于光學測量技術(shù)是非接觸式的，它們在生產(chǎn)和檢測過程中變得越...

白光干涉測量技術(shù)，也稱為光學低相干干涉測量技術(shù)，使用的是低相干的寬譜光源，如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等。與所有光學干涉原理一樣，白光干涉也是通過觀察干涉圖案變化來分析干涉光程差變化，并通過各種解調(diào)方案實現(xiàn)對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優(yōu)點是，由于白光光...

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同，因而多種測量方法各有優(yōu)缺，難以一概而論。按照薄膜厚度的增加，適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低，分光光度法和橢圓偏振...

液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴格、設(shè)備精度要求高，傳統(tǒng)的接觸式測厚裝置因其測量精度差、測量頻次有限而無法形成連續(xù)測量、接觸式測量裝置損耗快，需頻繁定期更換等不足 ，已無法滿足當前生產(chǎn)要求。激光測厚裝置的應(yīng)用有效彌補了接觸式測厚裝置的不足，從效率、精度、準度、連續(xù)性...

共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力 ，已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細結(jié)構(gòu)的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準模型;同時，基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系，建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密...

常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理：入射的白光光束通過半反半透鏡進入到顯微干涉物鏡后，被分光鏡分成兩部分，一個部分入射到固定參考鏡，一部分入射到樣品表面，當參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后，再次匯聚發(fā)生干涉，干涉光通過透鏡后，利用電荷耦合器(CCD)可探測...

膜厚儀是一種可以用于精確測量光學薄膜厚度的儀器，是光學薄膜制備和表征中不可或缺的工具。在光學薄膜領(lǐng)域，薄膜的厚度直接影響到薄膜的光學性能和應(yīng)用效果。因此，準確測量薄膜厚度對于研究和生產(chǎn)具有重要意義。膜厚儀測量光學薄膜的具體方法通常包括以下幾個步驟：樣品準備：首...

在容器玻璃生產(chǎn)過程中，圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征，需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量，并確保不損壞瓶子，需要高處理速度。對于這種測量任務(wù)，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并...

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器，主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學研究和質(zhì)量控制等領(lǐng)域。特別是在工業(yè)制造中，比如汽車工業(yè)的發(fā)動機制造領(lǐng)域，氣缸內(nèi)壁的精度對發(fā)動機的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)非接觸式測量，提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù)，...

光譜共焦傳感器使用復(fù)色光作為光源 ，可以實現(xiàn)微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外，光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu)，避免光路遮擋，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。在測量透明物體的位...

隨后安裝在貼裝臺單元上的激光位移傳感器403檢測鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調(diào)平機構(gòu)340對芯片做出與貼裝臺401上貼裝位間的平行調(diào)整；其調(diào)平的具體實現(xiàn)過程如下：音圈電機343動作，從而實現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)...

激光位移傳感器的分辨率是指它能夠測量到的小位移量，通常用微米或納米表示。分辨率是激光位移傳感器性能指標之一，決定了其測量精度和可靠性。分辨率的測試方法一般為將被測物體移動一個已知的小位移，然后測量激光位移傳感器輸出的信號變化量，即為分辨率。在測試分辨率時，需要...

激光位移傳感器 在工業(yè)生產(chǎn)中具有重要的作用，其應(yīng)用主要是用于非標的檢測設(shè)備中。國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。因此，激光位移傳感器的研究和生產(chǎn)具有非常重要的意義 ，可以提高國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)的自主創(chuàng)新能力和技術(shù)水平。激光位移傳感器的系統(tǒng)特點及研究...

白光干涉在零光程差處 ，出現(xiàn)零級干涉條紋，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。普...

薄膜作為改善器件性能的重要途徑，被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學 、電子 、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。受薄膜制備工藝及生產(chǎn)環(huán)境影響，成品薄膜存在厚度分布不均、表面粗糙度大等問題，導(dǎo)致其光學及物理性能達不到設(shè)計要求，嚴重影響成品的性能及應(yīng)用。隨著薄膜生產(chǎn)技術(shù)的迅速發(fā)展，...

對光譜共焦位移傳感器原理進行理解與分析得出，想得到的理想鏡頭應(yīng)該具備以下性能：首先需要其產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而對于此傳感器需要利用其色差進行測量，并且還需將其擴大化，其次產(chǎn)生軸向色差后在軸上的焦點會由于單色光球差的問題導(dǎo)致光譜曲線...

壓縮機在承受載荷時會發(fā)生微小變形，變形的大小將直接影響零部件之間的裝配以及余隙容積等，因此準確測試結(jié)構(gòu)的變形對結(jié)構(gòu)設(shè)計驗證至關(guān)重要。測試與分析結(jié)構(gòu)微變形的方法有很多種[1-8]，傳統(tǒng)常用的是千分表（如圖1所示）測試，通過機械探針接觸被測物體表面，讀取表盤的指針...

激光位移傳感器在道路檢測領(lǐng)域中應(yīng)用很廣，可以迅速、準確地測量道路表面的高度和形狀，對道路表面的高度差和幾何形狀進行高精度的測量和分析。其非接觸式的測量方式不會對道路表面造成任何損傷，并且能夠?qū)崟r監(jiān)測和數(shù)據(jù)記錄，提供更加完整和準確的數(shù)據(jù)支持。通過激光位移傳感器進...

薄膜作為重要元件 ，通常使用金屬、合金、化合物、聚合物等作為其主要基材，品類涵蓋光學膜、電隔膜、阻隔膜、保護膜、裝飾膜等多種功能性薄膜，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學、電子、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等。納米和亞微米級薄膜主要是基于干...

隨著科技的進步和應(yīng)用的深入，光譜共焦在點膠行業(yè)中的未來發(fā)展將更加廣闊。以下是一些可能的趨勢和發(fā)展方向：高速化：為了滿足不斷提高的生產(chǎn)效率要求，光譜共焦技術(shù)需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進硬件設(shè)備，以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測效率。智...

隨著社會不斷的發(fā)展，我們智能設(shè)備的進化越發(fā)迅速，愈發(fā)精密的設(shè)備意味著，對點膠設(shè)備提出更高的要求，需要應(yīng)對更高的點膠精度。更靈活的點膠角度。目前手機中板和屏幕模組貼合時，需要在中板上點一圈透明的UV膠，這種膠由于白色反光的原因，只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量...

隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ，對精密測量技術(shù)的要求越來越高，位移測量技術(shù)作為幾何量精密測量的基礎(chǔ)，不僅需要超高測量精度，而且需要對環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性，并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統(tǒng)接觸式測量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢。本...

激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧 、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點，因此在微位移測量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其測量原理是利用激光單色和準直特性，將垂直入射測距面上的激光點通過光學系統(tǒng)將其縮小的實像成像在接收光敏面上。激光位移傳感器由激光發(fā)...

目前，應(yīng)用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。在Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板，一個是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡，由于參考鏡位于物鏡和被測樣...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組，每個焦點的單色光波長對應(yīng)一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內(nèi)時，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回...

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的技術(shù)，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應(yīng)軸向距離信息，因此可以大幅提高測量速度?；诠庾V共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求...

光譜擬合法易于測量具有應(yīng)用領(lǐng)域 ，由于使用了迭代算法，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量。其缺點是不夠?qū)嵱?，該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù)...