工業(yè)機(jī)械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來,智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機(jī)械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎?答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應(yīng)、多傳感信息融合等,將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層...
傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”,實(shí)時監(jiān)測吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài),為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測方面,通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
多功能一體化機(jī)械臂,包括機(jī)械臂主體,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,該種多功能一體化機(jī)械臂,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動充足的特點(diǎn),本機(jī)械...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢。以下是其中的三個主要方面:1.高耐久性:精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因?yàn)樘沾刹牧系挠捕雀?,化學(xué)穩(wěn)定性好,抗腐蝕性能強(qiáng)。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能:精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...
有機(jī)泡沫浸漬工藝 有機(jī)泡沫浸漬法是用有機(jī)泡沫浸漬陶瓷漿料,干燥后燒掉有機(jī)泡沫,獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。 溶膠-凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...
水熱-熱靜壓工藝 該工藝通過水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為:硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合,置于高壓釜中(壓力10—15MPa,溫度300℃),通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱-熱靜壓工藝中,反應(yīng)時間一般為10—1...
等靜壓成型是在傳統(tǒng)干壓成型基礎(chǔ)上發(fā)展起來的特種成型方法。它利用流體傳遞壓力,從各個方向均勻地向彈性模具內(nèi)的粉體施加壓力。由于流體內(nèi)部壓力的一致性,粉體在各個方向承受的壓力都一樣,因此能避免坯體內(nèi)密度的差別。 等靜壓成型有濕袋式等靜壓和干袋式等靜壓之分...
高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃,透射波長為1~6μm,在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質(zhì)時呈黃色或灰色,一般含有HfO2,不易分離。在...
耐磨陶瓷涂料施工說明 1、攪拌準(zhǔn)備:采用強(qiáng)制攪拌機(jī)拌和,所有攪拌工具必須清潔,不得混有泥沙、石灰、硅酸鹽水泥等雜物。 2、促凝劑加入,根據(jù)施工環(huán)境溫度,選擇促凝劑合適加入量。溫度小于20℃時,促凝劑可全部加入;大于20℃時可根據(jù)施工時間要求,適當(dāng)調(diào)節(jié)促凝劑...
區(qū)熔法分為兩種:水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長;后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏?這是由于硅的熔點(diǎn)高,化學(xué)性能活潑,容易受到異物的玷污,所以難以找到適合的器皿來盛方,自然水平區(qū)熔法不能用在硅的...
3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設(shè)計臂的結(jié)構(gòu)以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻...
生物工程材料在傳統(tǒng)生物陶瓷基礎(chǔ)上研究開發(fā)的多孔生物陶瓷,由于生物相容性好,理化性能穩(wěn)定,***副作用的特點(diǎn)而被用于制作生物材料。當(dāng)用于修補(bǔ)骨缺損部位時,新生物將逐漸進(jìn)入多孔陶瓷珊瑚狀孔隙內(nèi),慢慢將多孔陶瓷吸收,**終,這種多孔陶瓷將由新生骨制質(zhì)取代。...
2)利用多孔陶瓷制備多孔電極。以多孔氣體擴(kuò)散電極為例,它的比表面積不但比平板電極提高3~5個數(shù)量級,而且液相傳質(zhì)層的厚度也從平板電極的10cm壓縮到1O~10cm,從而**提高電極的極限電流密度,減少濃差極化。 敏感元件 陶瓷傳感器的敏感元件工...
氧化鋯陶瓷具 隨著社會不斷的發(fā)展,在結(jié)構(gòu)陶瓷方面,由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強(qiáng)度和高耐磨性,優(yōu)異的隔熱性能,熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域。那么氧化鋯陶瓷可以應(yīng)用在哪些方面呢? 一、耐火材料 氧化鋯陶瓷的化學(xué)...
離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發(fā)地進(jìn)行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機(jī)物包圍在片層當(dāng)中,經(jīng)高溫?zé)Y(jié)除去有機(jī)物,...
晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性。首先,它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過程中,晶圓需要經(jīng)過多個工序的加工,如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等,每個工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行。機(jī)械吸臂能夠快速、準(zhǔn)確地將晶圓在各個設(shè)備之間進(jìn)行搬運(yùn),減...
晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的設(shè)備組件,它專門用于精確、可靠地搬運(yùn)晶圓。晶圓作為半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料,其制造過程對環(huán)境和操作的精度要求極高,任何微小的污染或損傷都可能導(dǎo)致芯片性能下降甚至報廢。機(jī)械吸臂在這個過程中扮演著“晶圓搬運(yùn)工”的關(guān)鍵角色,確...
微孔陶瓷真空吸盤的特點(diǎn): 高吸附力:微孔陶瓷真空吸盤通過大量微孔的設(shè)計,能夠提供強(qiáng)大的吸附力,確保工件牢固地固定在吸盤表面,不易脫落。耐用性強(qiáng):陶瓷材料具有高溫耐性、耐磨性和耐腐蝕性等特點(diǎn),能夠在惡劣的工作環(huán)境下長時間穩(wěn)定工作。準(zhǔn)確度高:微孔陶瓷真空...
微孔陶瓷真空吸盤的原理:微孔陶瓷真空吸盤的工作原理基于真空吸附技術(shù)。它通過在吸盤表面制造大量微小的孔洞,當(dāng)吸盤與工件接觸時,通過外部真空源產(chǎn)生的負(fù)壓將空氣抽出吸盤內(nèi)部,形成真空狀態(tài)。由于外部大氣壓力的作用,工件被牢固地吸附在吸盤表面,從而實(shí)現(xiàn)固定和搬運(yùn)的目...
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,...
高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃,透射波長為1~6μm,在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質(zhì)時呈黃色或灰色,一般含有HfO2,不易分離。在...
背景技術(shù): 晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù),其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè)。例如,準(zhǔn)備對晶圓進(jìn)行刻蝕加工時,需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺內(nèi)。 現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂,該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡...
陶瓷耐磨膠泥的保質(zhì)期通常是指涂料產(chǎn)品在正常的貯存條件下能夠正常施工,并且在施工后能夠保證涂料正常性能的貯存期限。一般來說,大部分涂料產(chǎn)品在其說明書中規(guī)定的保質(zhì)期是12個月,易沉淀和在貯存過程中存在緩慢化學(xué)反應(yīng)的涂料保質(zhì)期一般規(guī)定為6個月。使用廠家對大多數(shù)涂料都...
晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的工作原理主要包括以下幾個步驟: 吸附:吸盤通過真空吸附原理將晶圓緊密吸附在其表面,確保晶圓在傳送過程中不會發(fā)生相對位移。 移動:傳動系統(tǒng)驅(qū)動機(jī)械臂按照預(yù)定軌跡進(jìn)行移動,將晶圓從一處工藝設(shè)備傳送至另一處。放置:到達(dá)目標(biāo)位置后,吸...
耐磨涂層膠泥是特種涂料的一種,是將添加特殊材料(耐磨顆粒)的膠粘劑涂敷于零件表面,以達(dá)到修復(fù)損傷的零件或使賦予表面特殊功能(耐磨,耐高溫,耐腐蝕)的目的的一項(xiàng)工業(yè)技術(shù).由于采用了材料聚合原理和陶瓷復(fù)合的功能,使得本涂層具有超高的致密度和***的硬度...
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù): 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...
4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用**多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后,在Ar氣條件下進(jìn)行反應(yīng),反應(yīng)溫度一般為1300~1500 ℃ ,反應(yīng)時間為2~4h,制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢。首先,它們具有高熱導(dǎo)率和低熱膨脹系數(shù),這使得它們在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定的性能,并且對熱沖擊的抵抗力更強(qiáng)。其次,精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有高硬度和良好的耐磨性能。它們比金屬更耐腐蝕,因此適用于各種嚴(yán)苛的環(huán)境。再者,精密結(jié)構(gòu)陶瓷的電絕緣性能優(yōu)越...
耐磨陶瓷膠泥的特點(diǎn):(1)具有極高的機(jī)械強(qiáng)度和剛度。耐磨膠泥主要由耐磨骨料和結(jié)合系統(tǒng)組成,密度大,無大的宏觀缺點(diǎn),強(qiáng)度可達(dá)150MPa,是一般混凝土和耐火澆注料無法企及的,主要是采用了離子化合物和部分人工合成共價化合物,其離子鍵結(jié)合牢固,所以強(qiáng)度和...