有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地,該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室(process chamber),或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室(transfer chamber)連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間...
整個蛙腿型晶圓搬運機(jī)械手共由3個電機(jī)實現(xiàn)運動控制。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求...
四、醫(yī)學(xué)生物材料氧化鋯陶瓷材料在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域內(nèi)最常見的應(yīng)用是作為齒科修復(fù)材料和手術(shù)***;在日本和美國等國家利用氧化鋯材質(zhì)制作的烤瓷牙透明度好、生物相容性好,質(zhì)量優(yōu)良;而且目前已經(jīng)有一些研究人員已經(jīng)成功運用氧化鋯材料制成人造骨頭等用于醫(yī)療目的。以上...
耐磨防護(hù)涂層的施工工藝如下: 一、基材表面處理(對待施工部位進(jìn)行打磨粗化處理,并清洗干凈晾干) 1、將待施工部位表面用電動鋼絲刷(或噴砂)進(jìn)行打磨露出新鮮金屬基材,除銹標(biāo)準(zhǔn)達(dá) 到Sa2.5級 2、用**清洗劑清洗或干抹布將機(jī)件表面粉末、灰塵擦拭干凈,處理后的基...
電鍍: 到這一步,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會從正極走向負(fù)極。 拋光: 然后將Wafer進(jìn)行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。 切割: 對晶圓進(jìn)行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對切割的工藝要求...
精密陶瓷結(jié)構(gòu)件結(jié)構(gòu)陶瓷是以強度、剛度、韌 抄性、耐磨性、硬度、疲勞強度等力學(xué)性能為特征的材料。納米陶瓷的超塑性在電子、磁性、光學(xué)以及 生物陶瓷方面有潛在應(yīng)用。納米陶瓷可能具有的低溫超塑性、延展性和很高的斷裂韌性,將使其成為兼具陶瓷和金屬的優(yōu)良特性(如高硬度...
晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機(jī)械手是IC裝備的**之一,其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機(jī)械...
半導(dǎo)體晶圓有時在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機(jī)械手有時輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此,與配置...
工業(yè)機(jī)械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來,智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機(jī)械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎?答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應(yīng)、多傳感信息融合等,將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層...
傳感系統(tǒng)是晶圓運送機(jī)械吸臂實現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”,實時監(jiān)測吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài),為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測方面,通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
多功能一體化機(jī)械臂,包括機(jī)械臂主體,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,該種多功能一體化機(jī)械臂,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點,本實用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅(qū)動充足的特點,本機(jī)械...
主體部分通常采用強度高、輕質(zhì)的材料,如鋁合金或碳纖維復(fù)合材料,以確保在保證結(jié)構(gòu)強度的同時減輕自身重量,減少運動慣性,提高操作的靈活性和響應(yīng)速度。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過精心設(shè)計,以適應(yīng)不同尺寸晶圓的搬運需求。一般具有多個關(guān)節(jié)和自由度,能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運動,類似...
氧化鋯陶瓷是具有獨特的物理和化學(xué)性質(zhì),如高硬度,低的熱傳導(dǎo)性,熔點高,抗高溫和腐蝕,化學(xué)惰性和兩性性質(zhì),在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨特的優(yōu)勢。以下是其中的三個主要方面:1.高耐久性:精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因為陶瓷材料的硬度高,化學(xué)穩(wěn)定性好,抗腐蝕性能強。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能:精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...
擠出成型多孔蜂窩陶瓷 蜂窩陶瓷的成型方法有許多種,擠出成型是**普遍采用的制造方法之一。它的工藝流程為:原料合成-混和-擠出成型-干燥-燒成制品 固相燒結(jié)工藝 固相燒結(jié)工藝?yán)梦⒓?xì)顆粒易于燒結(jié)的特點,在骨料中加入相同組分的微細(xì)顆粒,在一定的...
與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點,在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件...
有機(jī)泡沫浸漬工藝 有機(jī)泡沫浸漬法是用有機(jī)泡沫浸漬陶瓷漿料,干燥后燒掉有機(jī)泡沫,獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。 溶膠-凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...
6 生料組合選粉機(jī)進(jìn)風(fēng)管及旋風(fēng)筒殼體 中速磨筒體及分離擋板 除塵器殼體及管道 余熱鍋爐 7 所有旋風(fēng)分離器殼體及進(jìn)出風(fēng)管,包括旋風(fēng)筒 粗、細(xì)粉旋風(fēng)分離器殼體、錐斗及進(jìn)出管道 燃煤鍋爐煙道 8 蓖冷機(jī)至電收塵器風(fēng)管 一次二次風(fēng)管 燃煤鍋爐輸送管道 9 電收...
綜上所述,由于氧化鋯陶瓷自身有著諸多***的特點,所以近些年來,利用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品也是深受大家的青睞。使用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品,由于其穩(wěn)定性非常好,大家完全可以放心使用。關(guān)鍵詞用氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質(zhì)時呈黃色或灰色,一般含有HfO2...
水熱-熱靜壓工藝 該工藝通過水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為:硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合,置于高壓釜中(壓力10—15MPa,溫度300℃),通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱-熱靜壓工藝中,反應(yīng)時間一般為10—1...
目前,直拉法是生長晶圓**常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,簡稱Fz法。1939年,在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協(xié)助下,生長出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲...
微晶耐磨氧化鋁襯磚特點:(1)微晶耐磨氧化鋁襯磚要成分為***氧化鋁,純度高,大為減小對研磨物料造成的污染。(2)耐磨性能強,耐磨性能是錳鋼的266倍,有效延長設(shè)備使用使用期限長(3)與高鋁球搭配磨出漿料細(xì)膩。(4)抗腐蝕、高密度、高機(jī)械強度等特點。 微晶耐磨...
等靜壓成型是在傳統(tǒng)干壓成型基礎(chǔ)上發(fā)展起來的特種成型方法。它利用流體傳遞壓力,從各個方向均勻地向彈性模具內(nèi)的粉體施加壓力。由于流體內(nèi)部壓力的一致性,粉體在各個方向承受的壓力都一樣,因此能避免坯體內(nèi)密度的差別。 等靜壓成型有濕袋式等靜壓和干袋式等靜壓之分...
穩(wěn)定氧化鋯陶瓷在泡沫陶瓷、生物陶瓷、特種耐火材料鑄口、冷成形工具、整形模、拉絲模、切削工具、新能源電池電解質(zhì)隔膜等領(lǐng)域具有***的應(yīng)用。2、部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷部分穩(wěn)定氧化鋯(PSZ)具有強度高,脆性低,較高的斷裂韌性,被認(rèn)為是發(fā)動機(jī)上**有前途的陶瓷...
工業(yè)機(jī)械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來,智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機(jī)械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎?答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應(yīng)、多傳感信息融合等,將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層...
高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃,透射波長為1~6μm,在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質(zhì)時呈黃色或灰色,一般含有HfO2,不易分離。在...
6)自適應(yīng)控制。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機(jī)械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機(jī)械臂進(jìn)行了**控制器的設(shè)計。控制器的設(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和...
耐磨陶瓷彎頭耐磨耗性好,不容易被腐蝕,不容易結(jié)垢(屬于化學(xué)遺留物),銷售(sales)的價格(price)也很容易讓人們接受,采用儲能焊接工藝將帶錐形孔的陶瓷片通過**耐磨螺栓焊接在鋼體上面。采用的工藝一:直接用耐熱鋼碗將具備含扣錐形孔的陶瓷片直接...
耐磨陶瓷涂料施工說明 1、攪拌準(zhǔn)備:采用強制攪拌機(jī)拌和,所有攪拌工具必須清潔,不得混有泥沙、石灰、硅酸鹽水泥等雜物。 2、促凝劑加入,根據(jù)施工環(huán)境溫度,選擇促凝劑合適加入量。溫度小于20℃時,促凝劑可全部加入;大于20℃時可根據(jù)施工時間要求,適當(dāng)調(diào)節(jié)促凝劑...