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福建微電子納米力學(xué)測(cè)試儀

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-23

納米力學(xué)從研究的手段上可分為納觀計(jì)算力學(xué)和納米實(shí)驗(yàn)力學(xué)。納米計(jì)算力學(xué)包括量子力學(xué)計(jì)算方法、分子動(dòng)力學(xué)計(jì)算和跨層次計(jì)算等不同類型的數(shù)值模擬方法。納米實(shí)驗(yàn)力學(xué)則有兩層含義:一是以納米層次的分辨率來(lái)測(cè)量力學(xué)場(chǎng),即所謂的材料納觀實(shí)驗(yàn)力學(xué);二是對(duì)特征尺度為1-100nm之間的微細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)力學(xué)研究,即所謂的納米材料實(shí)驗(yàn)力學(xué)。納米實(shí)驗(yàn)力學(xué)研究有兩種途徑:一是對(duì)常規(guī)的硬度測(cè)試技術(shù)、云紋法等宏觀力學(xué)測(cè)試技術(shù)進(jìn)行改造,使它們能適應(yīng)納米力學(xué)測(cè)量的需要;另一類是創(chuàng)造如原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡等新的納米力學(xué)測(cè)量技術(shù)建立新原理、新方法。納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)的發(fā)展離不開(kāi)多學(xué)科交叉融合和創(chuàng)新研究團(tuán)隊(duì)的共同努力。福建微電子納米力學(xué)測(cè)試儀

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電子/離子束云紋法和電鏡掃描云紋法,利用電子/離子?xùn)|抗蝕劑制作出10000線/mm的電子/離子?xùn)|云紋光柵,這種光柵的應(yīng)用頻率范圍為40~20000線/mm,柵線的較小寬度可達(dá)到幾十納米。電鏡掃描條紋的倍增技術(shù)用于單晶材料納米級(jí)變形測(cè)量。其原理是:在測(cè)量中,單晶材料的晶格結(jié)構(gòu)由透射電鏡(TEM)采集并記錄在感光膠片上作為試件柵,以幾何光柵為參考柵,較終通過(guò)透射電鏡放大倍數(shù)與試件柵的頻率關(guān)系對(duì)上述兩柵的干涉云紋進(jìn)行分析,即可獲得單晶材料表面微小的應(yīng)變場(chǎng)。STM/晶格光柵云紋法,隧道顯微鏡(STM)納米云紋法是測(cè)量表面位移的新技術(shù)。測(cè)量中,把掃描隧道顯微鏡的探針掃描線作為參考柵,把物質(zhì)原子晶格柵結(jié)構(gòu)作為試件柵,然后對(duì)這兩組柵線干涉形成的云紋進(jìn)行納米級(jí)變形測(cè)量。運(yùn)用該方法對(duì)高定向裂解石墨的納米級(jí)變形應(yīng)變進(jìn)行測(cè)試,得到隨掃描范圍變化的應(yīng)變場(chǎng)。廣東表面微納米力學(xué)測(cè)試廠家納米力學(xué)測(cè)試可以幫助研究人員了解納米材料的力學(xué)行為,從而指導(dǎo)納米材料的設(shè)計(jì)和應(yīng)用。

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目前微納米力學(xué)性能測(cè)試方法的發(fā)展趨勢(shì)主要向快速定量化以及動(dòng)態(tài)模式發(fā)展,測(cè)試對(duì)象也越來(lái)越多地涉及軟物質(zhì)、生物材料等之前較難測(cè)試的樣品。另外,納米力學(xué)測(cè)試方法的標(biāo)準(zhǔn)化也在逐步推進(jìn)。建立標(biāo)準(zhǔn)化的納米力學(xué)測(cè)試方法標(biāo)志著相關(guān)測(cè)試方法的逐漸成熟,對(duì)納米科學(xué)和技術(shù)的發(fā)展也具有重要的推動(dòng)作用。絕大多數(shù)的納米力學(xué)測(cè)試都需要復(fù)雜的樣品制備過(guò)程。為了使樣品制備簡(jiǎn)單化和人性化,FT-NMT03采用能夠感知力的微鑷子和不同形狀的微力傳感探針針尖來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)微納結(jié)構(gòu)的精確提取、轉(zhuǎn)移直至將其固定在測(cè)試平臺(tái)上??偠灾?集中納米操作以及力學(xué)-電學(xué)性能同步測(cè)試功能于一體的FT-NMT03能夠滿足幾乎所有的納米力學(xué)測(cè)試需求。

原子力顯微鏡(AFM),原子力顯微鏡(AtomicForce Microscopy,簡(jiǎn)稱AFM)是一種常用的納米級(jí)力學(xué)性質(zhì)測(cè)試方法。它通過(guò)在納米尺度下測(cè)量材料表面的力與距離之間的關(guān)系,來(lái)獲得材料的力學(xué)性質(zhì)信息。AFM的基本工作原理是利用一個(gè)具有納米的探針對(duì)樣品表面進(jìn)行掃描,并測(cè)量在探針與樣品之間的力的變化。使用AFM可以獲得材料的力學(xué)性質(zhì)參數(shù),如納米硬度、彈性模量和塑性變形等信息。此外,AFM還可以進(jìn)行納米級(jí)別的形貌表征,使得研究人員可以直觀地觀察到材料的表面形貌和結(jié)構(gòu)。通過(guò)納米力學(xué)測(cè)試,我們可以深入了解納米材料在受到外力作用時(shí)的變形和破壞機(jī)制。

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金屬玻璃納米線的熱機(jī)械蠕變測(cè)試,金屬玻璃由于其獨(dú)特的力學(xué)性能,如高彈性極限和高斷裂韌性,而受到越來(lái)越多的關(guān)注。而且,其寬的過(guò)冷液態(tài)區(qū)間開(kāi)啟了超塑成形的材料加工工藝。因此定量研究金屬玻璃的熱機(jī)械行為是至關(guān)重要的。右圖顯示了針對(duì)金屬玻璃超塑性性能的研究。金屬玻璃納米線通過(guò)Pt基電子束沉積方法固定在FT-S微力傳感探針和樣品臺(tái)之間。在進(jìn)行蠕變測(cè)試時(shí)(施加固定拉伸力來(lái)測(cè)量樣品的形變量),納米力學(xué)測(cè)試采用對(duì)納米線通電加熱來(lái)控制納米線溫度。這樣可測(cè)試納米線在不同溫度下的熱機(jī)械蠕變性能。納米力學(xué)測(cè)試可以用于評(píng)估納米材料的性能和質(zhì)量,以確保其在實(shí)際應(yīng)用中的可靠性。湖南高精度納米力學(xué)測(cè)試定制

通過(guò)納米力學(xué)測(cè)試,可以測(cè)量納米材料的彈性模量、硬度和斷裂韌性等力學(xué)性能。福建微電子納米力學(xué)測(cè)試儀

納米云紋法,云紋法是在20世紀(jì)60年代興起的物體表面全場(chǎng)變形的測(cè)量技術(shù)。從上世紀(jì)80年代以來(lái),高頻率光柵制作技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。目前高精度云紋干涉法通常使用的高密度光柵頻率已達(dá)到600~2400線mm,其測(cè)量位移靈敏度比傳統(tǒng)的云紋法高出幾十倍甚至上百倍。近年來(lái)云紋法的研究熱點(diǎn)已進(jìn)入微納尺度的變形測(cè)量,并出現(xiàn)與各種高分辨率電鏡技術(shù)、掃描探針顯微技術(shù)相結(jié)合的趨勢(shì)。顯微幾何云紋法,在光學(xué)顯微鏡下通過(guò)調(diào)整放大倍數(shù)將柵線放大到頻率小于40線/mm,然后利用分辨率高的感光膠片分別記錄變形前后的柵線,兩種柵線干涉后即可獲得材料表面納米級(jí)變形的云紋。福建微電子納米力學(xué)測(cè)試儀

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