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江西半導體納米力學測試原理

來源: 發(fā)布時間:2024-05-28

量子效應決定物理系統(tǒng)內個別原子間的相互作用力。在納米力學中用一些原子間勢能的平均數(shù)學模型引入量子效應。在經典多體動力學內加入原子間勢能提供了納米結構和原子尺寸決定性的力學模型。數(shù)據(jù)方法求解這些模型稱為分子動力學(MD),有時稱為分子力學。非決定性數(shù)字近似包括蒙特卡羅,動力蒙卡羅和其它方法。現(xiàn)代的數(shù)字工具也包括交叉通用近似,允許同時和連續(xù)利用原子尺寸的模型。發(fā)展這些復雜的模型是另一應用力學的研究課題。納米力學測試可用于研究納米顆粒在膠體、液態(tài)等介質中的相互作用行為。江西半導體納米力學測試原理

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當前納米力學主要應用的測試手段是納米壓痕和基于原子力顯微鏡(AFM) 的力—距離曲線方法,實際上還有另外一種基于AFM 的納米力學測試方法——掃描探針聲學顯微術(atomic force acoustic microscopy,AFAM)。AFAM具有分辨率高、成像速度快、相對誤差低、力學性能敏感度高等優(yōu)點。然而,目前AFAM 的應用還不夠普遍,相關領域的學者對AFAM 了解和使用的還不多。為此,我們在前期研究的基礎上,經過整理和凝練,形成了這部專著,目的是推動AFAM這種新型納米力學測量方法在國內的普遍應用。廣西表面微納米力學測試應用在納米力學測試中,常用的儀器包括原子力顯微鏡、納米硬度儀等設備。

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納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術(Depth-Sensing Indentation, DSI),是較簡單的測試材料力學性質的方法之一,可以在納米尺度上測量材料的各種力學性質,如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。納米壓痕理論,納米壓痕試驗中典型的載荷-位移曲線。在加載過程中試樣表面首先發(fā)生的是彈性變形,隨著載荷進一步提高,塑性變形開始出現(xiàn)并逐步增大;卸載過程主要是彈性變形恢復的過程,而塑性變形較終使得樣品表面形成了壓痕。圖中Pmax 為較大載荷,hmax 為較大位移,hf為卸載后的位移,S為卸載曲線初期的斜率。納米硬度的計算仍采用傳統(tǒng)的硬度公式H =P/A。式中,H 為硬度 (GPa);P 為較大載荷 ( μ N),即上文中的 P max ;A 為壓痕面積的投影(nm2 )。

微納米材料力學性能測試系統(tǒng)是一種用于機械工程領域的科學儀器,于2008年11月18日啟用??v向載荷力和位移。載荷力分辨率:3nN(在施加1μN的條件下);較小載荷接觸力:<100nN;較大載荷:10mN;位移分辨率:0.0004nm;較小位移:<0.2nm;較大位移:5μm;熱漂移:<0.05nm/s(在室溫條件下)。 橫向載荷力和位移。載荷力的分辨率:0.5μN;較小橫向力:<5μN;較大橫向力:2mN;位移分辨率:3nm;較小位移:<5nm;較大位移:15μm;熱漂移:<0.05nm/s(在室溫條件下)。磨損面積范圍:4μm x 4μm 到 60μm x 60μm;磨損速率:≤180μm/s;縱向載荷范圍:100nN – 1mN。X-Y stage。納米力學測試的結果可以為新材料的設計和應用提供重要參考。

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除了采用彎曲振動模式進行測量外,Reinstadtler 等給出了探針扭轉振動模式測量側向接觸剛度的理論基礎。通過同時測量探針微懸臂的彎曲振動和扭轉振動,Hurley 和Turner提出了一種同時測量各向同性材料楊氏模量、剪切模量和泊松比的方法。Killgore 等提出了利用軟探針的高階模態(tài)進行AFAM 定量化測試的方法,可以使探針施加在樣品上的力減小到10 nN,極大地擴展了這一方法的應用范圍。Killgore 和Hurley提出了一種新的脈沖接觸共振的方法,將接觸共振與脈沖力模式相結合,不只能測量探針的接觸共振頻率和品質因子,還可以測量針尖樣品之間黏附力的大小。納米力學測試可以幫助研究人員了解納米材料的疲勞行為,從而改進納米材料的設計和制備工藝。四川汽車納米力學測試市場價格

納米力學測試在航空航天領域,為超輕、強度高材料研發(fā)提供支持。江西半導體納米力學測試原理

納米壓痕儀的應用,納米壓痕儀可適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學薄膜,微電子鍍膜,保護性薄膜,裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質或硬質材料,包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等。半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層);光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);藥理學(藥片、植入材料、生物組織);工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。江西半導體納米力學測試原理