模塊化設(shè)計(jì)使系統(tǒng)適用于各種形貌樣品的測(cè)試需求及各種SEM/FIB配置,緊湊的外形設(shè)計(jì)適用于各種全尺寸的SEM/FIB樣品室。用戶可設(shè)計(jì)自定義的測(cè)試程序和測(cè)試模式:①FT-SH傳感器連接頭,其配置的4個(gè)不同型號(hào)的連接頭,可滿足各種不同的測(cè)試條件(平面外或者平面內(nèi)測(cè)試)和不同的測(cè)試距離。②FFT-SB樣品基座適配頭,其配置的4個(gè)不同型號(hào)的適配頭用來(lái)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的高度和角度。③FT-ETB電學(xué)測(cè)試樣品臺(tái),包含2個(gè)不同的電學(xué)測(cè)試樣品臺(tái),實(shí)現(xiàn)樣品和納米力學(xué)測(cè)試平臺(tái)的電導(dǎo)通。④FT-S微力傳感探針和FT-G微鑷子,實(shí)現(xiàn)微納力學(xué)測(cè)試和微納操作組裝(按需額外購(gòu)買)。納米力學(xué)測(cè)試在納米器件的設(shè)計(jì)和制造中具有重要作用。四川高精度納米力學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室
納米劃痕法,納米劃痕硬度計(jì)主要是通過(guò)測(cè)量壓頭在法向和切向上的載荷和位移的連續(xù)變化過(guò)程,進(jìn)而研究材料的摩擦性能、塑性性能和斷裂性能的。納米劃痕儀器的設(shè)計(jì)主要有兩種方案 納米劃痕計(jì)和壓痕計(jì),合二為一即劃痕計(jì)的法向力和壓痕深度由高分辨率的壓痕計(jì)提供,同時(shí)記錄勻速移動(dòng)的試樣臺(tái)的位移,使壓頭沿試樣表面進(jìn)行刻劃,切向力由壓桿上的兩個(gè)相互垂直的力傳感器測(cè)量納米劃痕硬度計(jì)和壓痕計(jì)相互單獨(dú)。納米劃痕硬度計(jì),不只可以研究材料的摩擦磨損行為,還普遍應(yīng)用于薄膜的粘著失效和黏彈行為。對(duì)刻劃材料來(lái)說(shuō),不只載荷和壓入深度是重要的參數(shù),而且殘余劃痕的深度、寬度、凸起的高度在研究接觸壓力和實(shí)際摩擦也是十分重要的。目前,該類儀器已普遍應(yīng)用于各種電子薄膜、汽車噴漆、膠卷、光學(xué)鏡 頭、磁盤、化妝品(指甲油和口紅)等的質(zhì)量檢測(cè)。湖北電線電纜納米力學(xué)測(cè)試廠家納米力學(xué)測(cè)試可以用于評(píng)估納米材料的熱力學(xué)性能,為納米材料的應(yīng)用提供參考依據(jù)。
中國(guó)計(jì)量學(xué)院朱若谷、浙江大學(xué)陳本永等提出了一種通過(guò)測(cè)量雙法布里一boluo干涉儀透射光強(qiáng)基波幅值差或基波等幅值過(guò)零時(shí)間間隔的方法進(jìn)行納米測(cè)量的理論基礎(chǔ),給出了檢測(cè)掃描探針振幅變化的新方法。中國(guó)科學(xué)院北京電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室成功研制了一臺(tái)使用光學(xué)偏轉(zhuǎn)法檢測(cè)的原子力顯微鏡,通過(guò)對(duì)云母、光柵、光盤等樣品的觀測(cè)證明該儀器達(dá)到原子分辨率,較大掃描范圍可達(dá)7μm×7μm。浙江大學(xué)卓永模等研制成功雙焦干涉球面微觀輪廓儀,解決了對(duì)球形表面微觀輪廓進(jìn)行亞納米級(jí)的非接觸精密測(cè)量問(wèn)題,該系統(tǒng)具有0.1nm的縱向分辨率及小于2μm的橫向分辨率。
目前微納米力學(xué)性能測(cè)試方法的發(fā)展趨勢(shì)主要向快速定量化以及動(dòng)態(tài)模式發(fā)展,測(cè)試對(duì)象也越來(lái)越多地涉及軟物質(zhì)、生物材料等之前較難測(cè)試的樣品。另外,納米力學(xué)測(cè)試方法的標(biāo)準(zhǔn)化也在逐步推進(jìn)。建立標(biāo)準(zhǔn)化的納米力學(xué)測(cè)試方法標(biāo)志著相關(guān)測(cè)試方法的逐漸成熟,對(duì)納米科學(xué)和技術(shù)的發(fā)展也具有重要的推動(dòng)作用。絕大多數(shù)的納米力學(xué)測(cè)試都需要復(fù)雜的樣品制備過(guò)程。為了使樣品制備簡(jiǎn)單化和人性化,FT-NMT03采用能夠感知力的微鑷子和不同形狀的微力傳感探針針尖來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)微納結(jié)構(gòu)的精確提取、轉(zhuǎn)移直至將其固定在測(cè)試平臺(tái)上??偠灾?集中納米操作以及力學(xué)-電學(xué)性能同步測(cè)試功能于一體的FT-NMT03能夠滿足幾乎所有的納米力學(xué)測(cè)試需求。納米壓痕技術(shù)作為一種常見(jiàn)測(cè)試方法,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料在微觀層面的力學(xué)性能。
納米云紋法,云紋法是在20世紀(jì)60年代興起的物體表面全場(chǎng)變形的測(cè)量技術(shù)。從上世紀(jì)80年代以來(lái),高頻率光柵制作技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。目前高精度云紋干涉法通常使用的高密度光柵頻率已達(dá)到600~2400線mm,其測(cè)量位移靈敏度比傳統(tǒng)的云紋法高出幾十倍甚至上百倍。近年來(lái)云紋法的研究熱點(diǎn)已進(jìn)入微納尺度的變形測(cè)量,并出現(xiàn)與各種高分辨率電鏡技術(shù)、掃描探針顯微技術(shù)相結(jié)合的趨勢(shì)。顯微幾何云紋法,在光學(xué)顯微鏡下通過(guò)調(diào)整放大倍數(shù)將柵線放大到頻率小于40線/mm,然后利用分辨率高的感光膠片分別記錄變形前后的柵線,兩種柵線干涉后即可獲得材料表面納米級(jí)變形的云紋。在納米力學(xué)測(cè)試中,常用的測(cè)試方法包括納米壓痕測(cè)試、納米拉伸測(cè)試和納米彎曲測(cè)試等。江西工業(yè)納米力學(xué)測(cè)試
納米力學(xué)測(cè)試設(shè)備的精度和靈敏度對(duì)于獲得準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果至關(guān)重要。四川高精度納米力學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室
原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的儀器,于2011年10月27日啟用。壓痕測(cè)試單元:(1)可實(shí)現(xiàn)70nN~30mN不同加載載荷,載荷分辨率為3nN;(2)位移分辨率:0.006nm,較小位移:0.2nm,較大位移:5um;(3)室溫?zé)崞疲?.05nm/s;(4)更換壓頭時(shí)間:60s。能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜或其他金屬或非金屬材料的壓痕、劃痕、摩擦磨損、微彎曲、高溫測(cè)試及微彎曲、NanoDMA、模量成像等功能。力學(xué)測(cè)試芯片大小只為幾平方毫米,亦可放置在電子顯微鏡真空腔中進(jìn)行原位實(shí)時(shí)檢測(cè)。四川高精度納米力學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室