簡(jiǎn)單地說(shuō),靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料,通過(guò)更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。目前,(高純度)濺射靶材按照化學(xué)成分不同可分為:①金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)②合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)③陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按開關(guān)不同可分為:長(zhǎng)靶、方靶、圓靶。按應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為:半導(dǎo)體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材、工具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。濺射:即集成電路制造過(guò)程中要反復(fù)用到的工藝;靶材:就是濺射工藝中必不可少的重要原材料。那么,不同應(yīng)用領(lǐng)域,對(duì)材料的選擇及性能要求也有一定差異。 影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例,反應(yīng)氣體過(guò)量就會(huì)導(dǎo)致靶中毒。上海氟化鋁靶價(jià)錢
鈀,是銀白色過(guò)渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。 原 子 量:106.4 密 度(20℃)/g?cm-3:12.02 熔 點(diǎn)/℃:1552 蒸發(fā)溫度/℃:1460 沸 點(diǎn)/℃:3140 汽化溫度/℃:1317 比 熱 容(25℃)J?(g?K)-1:0.2443 電 阻 率(0℃)/uΩ?cm:10.6 熔 化 熱/kJ?mol-1:16.7 汽 化 熱/ kJ?mol-1:361.7 熱 導(dǎo) 率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753 電阻溫度系數(shù)(0~100℃)/℃-1:0.0038 外 觀:銀白色 蒸 發(fā) 源(絲、片):W(鍍Al2O3) 坩 堝:Al2O3 性 質(zhì):與難溶金屬形成合金,閃爍蒸發(fā),在EB***內(nèi)激烈飛濺,鈀是銀白色過(guò)渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。化學(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至 800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。 二、主要產(chǎn)品: 1、鈀 顆粒 99.99%(點(diǎn)擊查看詳情) 常規(guī)尺寸:φ3*6mm;量大可定做。
無(wú)錫釓靶廠家比如鋁靶材等活性金屬靶材,長(zhǎng)期暴露在大氣中,表面容易形成一層氧化皮。
PVD技術(shù)常用的方法PVD基本方法:真空蒸發(fā)、濺射、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以下介紹幾種常用的方法。電子束蒸發(fā)電子束蒸發(fā)是利用聚焦成束的電子束來(lái)加熱蒸發(fā)源,使其蒸發(fā)并沉積在基片表面而形成薄膜。濺射沉積濺射是與氣體輝光放電相聯(lián)系的一種薄膜沉積技術(shù)。濺射的方法很多,有直流濺射、RF濺射和反應(yīng)濺射等,而用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。RF(射頻)濺射RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進(jìn)行濺射。RF濺射不可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質(zhì)膜,因而使用范圍較廣。電弧離子鍍陰極弧技術(shù)是在真空條件下,通過(guò)低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積,該技術(shù)材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。
電致變色的工作原理: 電致變色材料在外加電場(chǎng)作用下發(fā)生電化學(xué)氧化還原反應(yīng),得失電子,使材料的顏色發(fā)生變化電致變色器件的典型結(jié)構(gòu)器件結(jié)構(gòu)從上到下分別為:玻璃或透明基底材料、透明導(dǎo)電層(如:ITO)、電致變色層、電解質(zhì)層、離子存儲(chǔ)層、透明導(dǎo)電層(如:ITO)、玻璃或透明基底材料。器件工作時(shí),在兩個(gè)透明導(dǎo)電層之間加上一定的電壓,電致變色層材料在電壓作用下發(fā)生氧化還原反應(yīng),顏色發(fā)生變化;而電解質(zhì)層則由特殊的導(dǎo)電材料組成,如包含有高氯酸鋰、高氯酸納等的溶液或固體電解質(zhì)材料;離子存儲(chǔ)層在電致變色材料發(fā)生氧化還原反應(yīng)時(shí)起到儲(chǔ)存相應(yīng)的反離子,保持整個(gè)體系電荷平衡的作用,離子存儲(chǔ)層也可以為一種與前面一層電致變色材料變色性能相反的電致變色材料,這樣可以起到顏色疊加或互補(bǔ)的作用。如:電致變色層材料采用的是陽(yáng)極氧化變色材料,則離子存儲(chǔ)層可采用陰極還原變色材料。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。
NCVM不導(dǎo)電膜是什么,它有哪些特點(diǎn)? NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術(shù)或不導(dǎo)電電鍍技術(shù),是一種起緣普通真空電鍍的高新技術(shù)。真空電鍍,簡(jiǎn)稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運(yùn)用化學(xué)、物理等特定手段進(jìn)行有機(jī)轉(zhuǎn)換,使金屬轉(zhuǎn)換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導(dǎo)電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復(fù)雜得多。 NCVM特點(diǎn)是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續(xù)之特性,得到外觀有金屬質(zhì)感且不影響到無(wú)線通訊傳輸之效果。首先要實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電,滿足無(wú)線通訊產(chǎn)品的正常使用;其次要保證“金屬質(zhì)感”這一重要的外觀要求;通過(guò)UV涂料與鍍膜層結(jié)合,保證產(chǎn)品的物性和耐候性,滿足客戶需求。靶中毒時(shí),靶面形成一層絕緣膜,正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,不能直接進(jìn)入陰極靶面。蘇州氧化鋯靶費(fèi)用
半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。上海氟化鋁靶價(jià)錢
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點(diǎn)狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質(zhì)附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點(diǎn)、口水點(diǎn), 膜層局部附著不良等。 改善:加強(qiáng)清洗,加強(qiáng)烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對(duì)于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時(shí)間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過(guò)程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過(guò)快,膜層應(yīng)力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預(yù)熱加熱;增加離子輔助,減小應(yīng)力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布?xì)猓淮艌?chǎng);遮擋。上海氟化鋁靶價(jià)錢
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商祝壎ㄆ脚_(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。