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上海CuAl靶材費(fèi)用

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-05-05

靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個(gè)側(cè)壁表面630。靶材600具有十二條側(cè)棱601,各條側(cè)棱601均經(jīng)過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側(cè)棱601位置較為銳利。如果使用側(cè)棱未經(jīng)圓角處理的靶材600進(jìn)行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側(cè)棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導(dǎo)致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質(zhì)量。圓角處理使得靶材側(cè)棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。濺射的時(shí)候會先濺射凸起,濺射時(shí)間長了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。上海CuAl靶材費(fèi)用

本實(shí)施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.78mm;所述靶材表面的硬度為26hv;其中,所述靶材的比較大厚度為22mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為4°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括鋁。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。對比例1與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.5mm;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例2與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。蘇州鉿靶材廠家靶面金屬化合物的形成。

熔融鑄造法:熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質(zhì)元素含量盡可能低,通常其冶煉和澆注在真空或保護(hù)性氣氛下進(jìn)行。但鑄造過程中,材料組織內(nèi)部難免存在一定的孔隙率,這些孔隙會導(dǎo)致濺射過程中的微粒飛濺,從而影響濺射薄膜的質(zhì)量。為此,需要后續(xù)熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。八.購買靶材的注意事項(xiàng)有哪些許多用戶在采購靶材時(shí)沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時(shí)需要注意的事項(xiàng)。對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,靶材的純度對后期產(chǎn)品薄膜的性能影響很大。但是每一個(gè)產(chǎn)品對靶材的純度要求也有不相同的地方。

本實(shí)施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.95mm;所述靶材表面的硬度為23hv;其中,所述靶材的比較大厚度為27mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鉭;所述背板的材質(zhì)包括鋁。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實(shí)施例7本實(shí)施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.75mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為20mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為9°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括銅。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。關(guān)掉機(jī)器,把設(shè)備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細(xì)清洗一下。

靶材拋光裝置100還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板200的外表面上。為便于操作人員雙手抓握,所述把手的數(shù)量為兩個(gè),其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板200的頂部,另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板200的側(cè)壁上,該設(shè)置方式有利于提高操作人員手持所述靶材拋光裝置100進(jìn)行拋光作業(yè)的便捷性。本實(shí)施例中,兩個(gè)所述把手分別為把手510和第二把手520,所述把手510設(shè)置于所述頂板210上,所述第二把手520設(shè)置于所述側(cè)板220上。本實(shí)施例中,所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512,所述桿狀部511的一端連接所述頂板210,另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直,所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結(jié)構(gòu)有利于操作人員牢固的抓握所述把手510,防止從所述把手510上滑脫。


濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì)。廣東CrAl靶材

而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。上海CuAl靶材費(fèi)用

靶材拋光裝置還包括:防護(hù)層,所述防護(hù)層位于所述固定板與所述拋光片之間。防護(hù)層為彈性材料。靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板的外表面上。把手的數(shù)量為兩個(gè),其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的頂部,另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的側(cè)壁上。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):提供的靶材拋光裝置的技術(shù)方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,位于側(cè)板上的所述拋光片表面適于對靶材側(cè)壁表面進(jìn)行拋光。所述靶材拋光裝置能夠?qū)Π胁膫?cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱同時(shí)進(jìn)行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進(jìn)行拋光的作業(yè)效率。上海CuAl靶材費(fèi)用

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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