靶材材質(zhì)對靶濺射電壓的影響 1. 在真空條件不變的條件下,不同材質(zhì)與種類靶材對磁控靶的正常濺射電壓會產(chǎn)生一定的影響。 2. 常用的靶材(如銅Cu、鋁Al、鈦Ti?)的正常濺射電壓一般在400~600V的范圍內(nèi)。 3. 有的難濺射的靶材(如錳Mn、鉻Cr等) 的濺射電壓比較高, 一般需>700V以上才能完成正常磁控濺射過程;而有的靶材(如氧化銦錫ITO) 的濺射電壓比較低,可以在200多伏電壓時實現(xiàn)正常的磁控濺射沉積鍍膜。 4. 實際鍍膜過程中,由于工作氣體壓力變化,或陰極與陽極間距偏小(使真空腔體內(nèi)阻抗特性發(fā)生變化),或真空腔體與磁控靶的機械尺寸不匹配,同時選用了輸出特性較軟的靶電源等原因,導(dǎo)致磁控靶的濺射電壓(即靶電源輸出電壓)遠(yuǎn)低于正常濺射示值,則可能會出現(xiàn)靶前存雖然呈現(xiàn)出很亮的光圈,就是不能見到靶材離子相應(yīng)顏色的泛光,以至不能濺射成膜的狀況。如果不能及時調(diào)整反應(yīng)氣體流量,化合物覆蓋面積增加的速率得不到***,濺射溝道將進一步被化合物覆蓋。武漢氟化鉀靶價錢
什么是靶材綁定主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。一.靶材綁定的定義靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;3.導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。二.綁定的適用范圍建議綁定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。
武漢氟化鉀靶價錢靶中毒時,靶面形成一層絕緣膜,正離子到達(dá)陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,不能直接進入陰極靶面。
塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。化學(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至 800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。 二、主要產(chǎn)品: 1、鈀 顆粒 99.99% 常規(guī)尺寸:φ3*6mm;量大可定做 2、鈀 靶材 99.99%? 常規(guī)尺寸:φ50*1mm;φ60*3mm;φ76.2*4mm等,尺寸可定做 3、電鏡鈀片常規(guī)尺寸:φ57*0.1mm *0.2mm 4、鈀 箔片 99.9 2mm等,尺寸可定做 二、其他 : 打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工 。 回收流程如下: 稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品 高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材 產(chǎn)品編碼 產(chǎn)品名稱 規(guī)格 應(yīng)用 Sc-I4006 鈧 x 真空熔煉 Li-G30610 鋰 顆粒 99.9% φ6*10mm 真空熔煉 Sr-I2011 鍶 塊狀 99% 氮氣包裝 真空熔煉 Mg-G3514 鎂 顆粒 99.93% 4mm類球形 真空熔煉 Mg-I3503 鎂 塊狀 99.95% 200g/塊 真空熔煉 Fe-G3533 鐵 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Cr-G3501 mm 真空熔煉 Al-G4066 鋁 顆粒 99.99% φ6*6mm 真空熔煉 Cu-G5033 銅 顆粒 99.999% φ3*3mm 真空熔煉 Cu-G3533 銅 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Ti-G3033 鈦 顆粒 99.9% φ3*3mm 真空熔煉 Ni-G3025 鎳 顆粒 99.9% φ2*5mm 真空熔煉 V-G3015 釩 顆粒 99.9% 樹枝狀
為高技術(shù)制高點的芯片產(chǎn)業(yè)中,濺射靶材是超大規(guī)模集成電路制造的必需原材料。它利用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。靶材是濺射過程的重點材料。集成電路中單元器件內(nèi)部由襯底、絕緣層、介質(zhì)層、導(dǎo)體層及保護層等組成,其中,介質(zhì)層、導(dǎo)體層甚至保護層都要用到濺射鍍膜工藝,因此濺射靶材是制備集成電路的重點材料之一。集成電路領(lǐng)域的鍍膜用靶材主要包括鋁靶、鈦靶、銅靶、鉭靶、鎢鈦靶等,要求靶材純度很高,一般在5N()以上。靶材分類濺射靶材種類繁多,依據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn),可以有不同的類別。濺射靶材可按形狀分類、按化學(xué)成份分類以及按應(yīng)用領(lǐng)域分類。 磁控濺射金屬靶時,無法起輝的原因有很多,常見主要原因。
基于非晶IGZO真空材料的阻變存儲器與憶阻器 從真空材料結(jié)構(gòu)及電子結(jié)構(gòu)角度入手,將In、Ga 元素引入到ZnO 材料中形成InGaZnO(IGZO)非晶合金材料,由于球?qū)ΨQ的In 5s 軌道交疊較大,使得該材料具有形變對電學(xué)輸運影響較小且遷移率較高的特點。 利用上述材料優(yōu)勢,采用室溫工藝,在塑料襯底上制作了高性能IGZO 柔性阻變存儲器。器件在連續(xù)十萬次大角度彎折測試中,性能穩(wěn)定,存儲信息未丟失。變溫電學(xué)輸運特性的研究表明:阻變行為與氧離子移動密切相關(guān),該存儲器的低阻導(dǎo)電通道由缺氧局域結(jié)構(gòu)組成,而缺氧態(tài)的局部氧化導(dǎo)致了存儲器由低阻態(tài)向高阻態(tài)的轉(zhuǎn)變。 在此基礎(chǔ)上,利用IGZO 非晶薄膜的電學(xué)性質(zhì)可調(diào)節(jié)性及其對激勵信號可作出動態(tài)反應(yīng)等特點,設(shè)計并制備了由兩層不同含氧量IGZO 薄層構(gòu)成的憶阻器件;實現(xiàn)了對人腦神經(jīng)突觸多種基本功能的仿生模擬,涉及興奮性突觸后電流、非線性傳輸特性、長時程/短時程可塑性、刺激頻率響應(yīng)特性、STDP 機制、經(jīng)驗式學(xué)習(xí)等多個方面。
使進氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的前沿,確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。武漢氟化鉀靶價錢
同時還進行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。武漢氟化鉀靶價錢
真空熔煉 Mn-F2701 電解錳 片狀 99.7% 1-10mm 真空熔煉 Co-F3501 電解鈷 片狀 99.95% 1-10mm 真空熔煉 Co-I3504 電積鈷 塊狀 99.95% 40*40*5mm 真空熔煉 Co-G3533 鈷 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 W-G3536 m 真空熔煉 Ta-G3533 鉭 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Nb-G3533 鈮 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Mo-G3533 m 真空熔煉 Si-I5011 多晶硅 塊狀 99.999% 不規(guī)則塊狀 真空熔煉 In-G4501 銦 顆粒 99.995% 1-3mm 真空熔煉 Zr-I2402 海綿鋯 塊狀 99.4% 3-25mm 真空熔煉 Hf-I2402 海 m 真空熔煉 Ge-G5006 鍺 顆粒 99.999% 3-5mm 真空熔煉 La-I3011 鑭 塊狀 99.9% 不規(guī)則塊狀 真空熔煉 Er-I3011 鉺 塊狀 99.9% 不規(guī)則塊狀 真空熔煉 Dy-I3011 鏑 塊狀 99.9% 不規(guī)則塊狀 真空熔煉 W-P3504 鎢 粉末 99.95% 325目 粉末冶金 Al-P3504 &nbs 5目 粉末冶金 TiC-P2514 碳化鈦 粉末 99.5% 3-5μm 粉末冶金 HfC-P2514 碳化鉿 粉末 99.5% 3-5μm 粉末冶金 ZrB2-P2519 二硼化鋯 粉末 99.5% 10μm 粉末冶金 Ti-F2612 .2*L 耗材配件 Ta-F3513 鉭 0*0.2mm 耗材配件 Nb-F3513 *100*0.2mm 耗材配件 合金定制 流程:1.客戶提供需要的配比、塊材大小和用量要求;
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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。