PVD技術(shù)常用的方法 PVD基本方法:真空蒸發(fā)、濺射 、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以下介紹幾種常用的方法。 電子束蒸發(fā) 電子束蒸發(fā)是利用聚焦成束的電子束來加熱蒸發(fā)源,使其蒸發(fā)并沉積在基片表面而形成薄膜。 濺射沉積 濺射是與氣體輝光放電相聯(lián)系的一種薄膜沉積技術(shù)。濺射的方法很多,有直流濺射、RF濺射和反應(yīng)濺射等,而用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。 RF(射頻)濺射 RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進(jìn)行濺射。RF濺射不可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質(zhì)膜,因而使用范圍較廣。 電弧離子鍍 陰極弧技術(shù)是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積,該技術(shù)材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。山東NaF靶材
真空離子鍍的耐腐蝕性: 金屬零件是要銹蝕的,但如果零件上鍍有一層防蝕鍍層,就能防止零件生銹。由于離子鍍所獲得的鍍層致密度高,少,耐腐蝕性能好,并能沉積許多其他工藝至今不能沉積的優(yōu)良防腐蝕鍍層。因此,離子鍍目前在鍍防腐蝕材料方面應(yīng)用廣。如水上飛機(jī)的壁板及其他外表零件,可用此法鍍復(fù)防止鹽霧和海水腐蝕的防蝕鍍層;與鋁合金零件相配合的其他材料零件也可用此法鍍鋁,以防止電位差腐蝕。此外,隨著飛機(jī)飛行速度和高度的提高以及宇宙探索的進(jìn)展,鈦合金的應(yīng)用越來越多,如果仍象鋁合金零件那樣采用鍍鎘防腐蝕,使用中就有鎘脆的危險(xiǎn);但如若鍍以三氧化二鋁,則能完全滿足要求。不過電鍍等工藝是無法鍍這種材料的。離子鍍卻能大顯神通。到目前為止,適合于用離子鍍的防蝕材料除氧化鋁以外,還有鉻、鈦、鉭、不銹鋼等。所鍍的航空零件有螺釘、螺帽、鉚釘、銷釘、導(dǎo)管、接頭、陀螺轉(zhuǎn)子、精密齒輪、金屬密封環(huán)等。Tb靶材綁定一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當(dāng)發(fā)生靶中毒時(shí),濺射電壓會(huì)降低。
濺射鍍膜不良膜層分析,改善方法: 1.白霧主要表現(xiàn):膜層外觀一層白霧。 原因分析及改善:(白霧可擦拭):外層膜松散粗糙;出爐溫差大;潮氣吸附;膜層結(jié)構(gòu)不均勻;反應(yīng)氣體不足/不均勻;外層膜應(yīng)力大等。 (白霧不可擦拭):殘留臟污;材腐蝕污染;膜層之間不匹配;反應(yīng)氣體不足/不均勻;基材受潮污染;真空室臟有水汽;環(huán)境溫差大。 2.發(fā)蒙主要表現(xiàn):膜層表面粗糙無光。 原因分析及改善:設(shè)備漏氣;反應(yīng)氣體故障;膜層過厚;偏壓故障; 3.色斑主要表現(xiàn):局部膜色變異。 原因分析及改善:腐蝕,局部折射率改變;前道工程夾具加工方法痕跡(形狀規(guī)則、部位一致、界限分明); 周轉(zhuǎn)運(yùn)輸庫存過程留下痕跡;研磨拋光殘留;多層膜系中,部分膜層過?。粰C(jī)組微量返油。 4.打火 5.碰擦傷主要表現(xiàn):劃痕碰傷。 原因分析及改善:劃痕有膜層:鍍前碰擦傷;劃痕無膜層(漏基材):鍍后碰擦傷。
真空鍍膜設(shè)備替代電鍍?cè)O(shè)備是發(fā)展的必然 2012年全國化學(xué)電鍍產(chǎn)生的污水和重金屬排放量達(dá)到3.5億噸,固體廢物達(dá)到4.1萬噸,酸性氣體達(dá)到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設(shè)備逐漸應(yīng)用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個(gè)不可忽視的數(shù)據(jù),為處理這大量的污染,大部分企業(yè)已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業(yè)沒有完善治理措施,造成大量污染。 使用真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學(xué)電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進(jìn)行鍍膜,而是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)或?yàn)R射方式進(jìn)行鍍膜,完全沒有污染產(chǎn)生,是一種綠色低碳、符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的產(chǎn)業(yè),已經(jīng)越來越多企業(yè)淘汰了舊方式化學(xué)電鍍而轉(zhuǎn)用真空電鍍,但還有很多企業(yè)沒意識(shí)到環(huán)保的重要性,不懂得綠色生產(chǎn)其實(shí)是為自己和后代創(chuàng)建美好生存環(huán)境的道理。 綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)是必然的發(fā)展趨勢(shì),造成嚴(yán)重污染的化學(xué)電鍍終會(huì)退出歷史舞臺(tái),取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機(jī)鍍膜成為主流是不可質(zhì)疑的。如果反應(yīng)氣體量增加過度,化合物覆蓋面積增加。
常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系: 1.IP玫瑰金(rose gold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時(shí)尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設(shè)計(jì)和加工。又稱粉色金(pink gold)、紅色金(red gold)。 2. IP金,用離子鍍膜的方式,讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上,一般由仿金層和表面金層兩層,表面金層的顏色與24K黃金一樣,厚度可以根據(jù)客戶的要求鍍不同的厚度。 3. 仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黃金,一般成份是由TiN TiCN ZrN ZrCN等陶瓷化合物組成,但很難達(dá)到真金的亮度。 4. 銀色系列,一般是鉻的化合物,顏色深淺可調(diào)整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列帶藍(lán)調(diào),金屬光感好,暖色系列帶黃調(diào),接近不銹鋼本色。 5. 黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調(diào)整,色調(diào)根據(jù)客戶的要求也可以調(diào)整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調(diào),可以根據(jù)客戶的需要選擇不同的膜系。 6. 藍(lán)色系列,有天空藍(lán),冰藍(lán)色,海洋藍(lán),深藍(lán)等等,不同色系成份也有所不一樣。
導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。上海Yb靶材型號(hào)
制備過程嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入。山東NaF靶材
電致變色智能玻璃的特點(diǎn): 電致變色智能玻璃在電場作用下具有光吸收透過的可調(diào)節(jié)性,可選擇性地吸收或反射外界的熱輻射和內(nèi)部的熱的擴(kuò)散,減少辦公大樓和民用住宅在夏季保持涼爽和冬季保持溫暖而必須消耗的大量能源。同時(shí)起到改善自然光照程度、防窺的目的。解決現(xiàn)代不斷惡化的城市光污染問題。是節(jié)能建筑材料的一個(gè)發(fā)展方向。 調(diào)光玻璃的調(diào)光原理是:在自然狀態(tài)下(斷電不加電場),它內(nèi)部液晶的排列是無規(guī)則的,液晶的折射率比外面聚合物的折射率低,入射光在聚合物上發(fā)生散射,呈乳白色,即不透明。當(dāng)加上電場(通電)以后,有彌散分布液晶的聚合物內(nèi)液滴重新排列,液晶從無序排列變?yōu)槎ㄏ蛴行蚺帕?,使液晶的折射率與聚合物的折射率相等,入射光完全可以通過,形成透明狀態(tài)。山東NaF靶材
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂兩套,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。