所述靶材600具有十二條側(cè)棱601,各條側(cè)棱601均經(jīng)過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側(cè)棱601位置較為銳利。如果使用側(cè)棱未經(jīng)圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側(cè)棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導(dǎo)致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質(zhì)量。圓角處理使得靶材側(cè)棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。利用所述靶材拋光裝置100對所述靶材600進行拋光時,將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側(cè)棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的側(cè)壁表面630相貼合。操作人員利用所述把手推動所述靶材拋光裝置100,所述靶材拋光裝置100相對所述靶材600移動,移動方向平行與被拋光的所述側(cè)棱601延伸方向。所述拋光片300表面的磨砂顆粒與靶材600表面相摩擦,以獲得光亮、平整的靶材600表面。
濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì)。上海Mg靶材廠家
鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質(zhì)量優(yōu)異,雜質(zhì)含量低,歡迎新老客戶來電咨詢洽談。江陰典譽新材料科技有限公司生產(chǎn)的金屬鈧,品質(zhì)優(yōu)異,**全球。鋁鈧合金生產(chǎn)歷史悠久,擁有豐富的經(jīng)驗,目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業(yè)大型廠商采用。相關(guān)靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;釔鋁YAl;釔銅YCu;釔鐵YFe;釔鎂YMg;釔鎳YNi;釔鋯ZrYSb靶材價格為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。
靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm,例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,所述靶材表面的硬度為20-30hv,例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26hv、27hv、28hv、29hv或30hv等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,通過調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。
ITO薄膜制作過程中的影響因素 ITO薄膜在濺鍍過程中會產(chǎn)生不同的特性,有時候表面光潔度比較低,出現(xiàn)“麻點”的現(xiàn)象,有時候會出現(xiàn)高蝕間隔帶,在蝕刻時還會出現(xiàn)直線放射型缺劃或電阻偏高帶,有時候會出現(xiàn)微晶溝縫。 常用的ITO靶材是通過燒結(jié)法生產(chǎn)的,就是由氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)粉末按照一定的比例進行混合,通常質(zhì)量比是90%In2O3和10% SnO2,形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體(氧化銦錫,ITO)。一般通過外觀就可以了解ITO靶材的質(zhì)量,深灰色是好的,相反越黑質(zhì)量越差,我國生產(chǎn)的ITO靶材質(zhì)量還可以的是黑灰色的。 研究顯示,在真空鍍膜機ITO薄膜濺鍍過程中,使用磁控濺射的方式,基底溫度控制在200℃左右可以保證薄膜85%以上高可見光透過率下,電阻率達(dá)到低,而薄膜的結(jié)晶度也隨著基底溫度的提高而提高,晶粒尺寸也逐漸增大,超過200℃后透射率趨于減弱;使用電子束蒸鍍的方式,隨著退火溫度升高,晶粒尺寸變大,表面形貌均一穩(wěn)定,超過600℃后顆粒變得大小不一,形狀各異,小顆粒團聚現(xiàn)象嚴(yán)重,薄膜表面形貌破壞。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
真空鍍膜設(shè)備替代電鍍設(shè)備是發(fā)展的必然 2012年全國化學(xué)電鍍產(chǎn)生的污水和重金屬排放量達(dá)到3.5億噸,固體廢物達(dá)到4.1萬噸,酸性氣體達(dá)到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設(shè)備逐漸應(yīng)用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個不可忽視的數(shù)據(jù),為處理這大量的污染,大部分企業(yè)已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業(yè)沒有完善治理措施,造成大量污染。 使用真空鍍膜設(shè)備進行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學(xué)電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進行鍍膜,而是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)或濺射方式進行鍍膜,完全沒有污染產(chǎn)生,是一種綠色低碳、符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的產(chǎn)業(yè),已經(jīng)越來越多企業(yè)淘汰了舊方式化學(xué)電鍍而轉(zhuǎn)用真空電鍍,但還有很多企業(yè)沒意識到環(huán)保的重要性,不懂得綠色生產(chǎn)其實是為自己和后代創(chuàng)建美好生存環(huán)境的道理。 綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)是必然的發(fā)展趨勢,造成嚴(yán)重污染的化學(xué)電鍍終會退出歷史舞臺,取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機鍍膜成為主流是不可質(zhì)疑的。采用閉環(huán)控制反應(yīng)氣體的通入量。常州V2O5靶材貼合
對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。上海Mg靶材廠家
3D玻璃漸變色的應(yīng)用 3D玻璃漸變色主要應(yīng)用于3C產(chǎn)品,特別是手機領(lǐng)域。隨著雙玻璃加金屬邊框的盛行,3D后蓋裝飾工藝需要不斷革新?,F(xiàn)有的裝飾工藝主要是在裝飾防爆膜上進行鍍膜絲印,再與3D玻璃貼合實現(xiàn)裝飾效果,外觀裝飾主要還是防爆膜紋理和鍍膜顏色搭配實現(xiàn)。漸變色效果可以通過多種途徑實現(xiàn),包括:印刷、轉(zhuǎn)印、真空鍍膜、噴涂等。由于技術(shù)的瓶頸問題,現(xiàn)在量產(chǎn)的3D玻璃漸變主要有印刷和真空鍍膜兩種途徑。 漸變效果可大致分為同色漸變、鄰近色漸變、對比色漸變。漸變顏色的選擇對于印刷工藝的限制會小一些,選擇范圍更加寬。印刷工藝可以選擇對應(yīng)顏色及對應(yīng)顏色帶范圍進行印刷,能夠?qū)崿F(xiàn)較為多元化的色彩沖撞效果,滿足設(shè)計者的不同變色需求;作為手機多會選擇的真空鍍膜裝飾工藝,對于漸變色的裝飾效果也可以達(dá)到夢幻流暢的效果,但色彩變化會有一定限制。 真空鍍膜漸變只能遵循顏色光譜變化規(guī)律:紅橙黃綠藍(lán)靛紫順序漸變,難以實現(xiàn)顏色的跨越,當(dāng)然,有的設(shè)計者也會通過其他工藝的疊加實現(xiàn)更多元化的漸變效果。
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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。