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濺射靶材的分類有哪些?
金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物
陶瓷濺射靶材 ,硅化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),砷化銦靶材(InAs)。
1. 金屬靶材:
鎳靶、Ni、鈦靶、T濺射靶材i、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、濺射靶材不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。 濺射出靶材的原子、原子團(tuán)、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團(tuán)沉積到基材上形成薄膜。南京鋁摻鈷酸鋰靶作用
磁控濺射離子鍍 (1)在基體和工件上是否施加(直流或脈沖)負(fù)偏壓,利用負(fù)偏壓對(duì)離子的吸引和加速作用,是離子鍍與其它鍍膜類型的一個(gè)主要區(qū)別。蒸發(fā)鍍時(shí)基體和工件上加有負(fù)偏壓就是蒸發(fā)離子鍍 ;多弧鍍時(shí)基體和工件上加有負(fù)偏壓就是多弧離子鍍;磁控濺射時(shí)基體和工件上加有負(fù)偏壓就是磁控濺射離子鍍,這是磁控濺射離子鍍技術(shù)的一個(gè)重要特點(diǎn)。 (2)磁控濺射離子鍍是把磁控濺射和離子鍍結(jié)合起來(lái)的技術(shù)。在同一個(gè)真空腔體內(nèi)既可實(shí)現(xiàn)氬離子對(duì)磁控靶材的穩(wěn)定濺射,又實(shí)現(xiàn)了高能靶材離子在基片負(fù)偏壓作用下到達(dá)基片進(jìn)行轟擊、濺射、注入及沉積作用過(guò)程。整個(gè)鍍膜過(guò)程都存在離子對(duì)基片和工件表面的轟擊,可有效基片和工件表面的氣體和污物;使成膜過(guò)程中,膜層表面始終保持清潔狀態(tài)。 (3) 磁控濺射離子鍍可以在膜-基界面上形成明顯的混合過(guò)渡層(偽擴(kuò)散層),提高膜層附著強(qiáng)度;可以使膜層與工件形成金屬間化合物和固熔體,實(shí)現(xiàn)材料表面合金化,甚至出現(xiàn)新的晶相結(jié)構(gòu)。 (4)磁控濺射離子鍍形成膜層的膜基結(jié)合力好、膜層的繞鍍性好、膜層組織可控參數(shù)多、膜層粒子總體能量高,容易進(jìn)行反應(yīng)沉積,可以在較低溫度下獲得化合物膜層。成都鈦靶廠家此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
真空離子鍍?cè)诤娇蘸教旆矫娴膽?yīng)用: 在現(xiàn)代飛機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)或航空儀表中,特別是在航宇器,如宇宙飛船、人造衛(wèi)星中,有不少旋轉(zhuǎn)零件都要求有良好的潤(rùn)滑,但往往由于封存過(guò)久、環(huán)境溫度過(guò)高或太空揮發(fā)等原因,普通油脂潤(rùn)滑劑已不再適用,從而提出以固體潤(rùn)滑劑代替。試驗(yàn)表明,用離子鍍來(lái)制作固體潤(rùn)滑膜,比現(xiàn)有其他方法為優(yōu)。不但附著力強(qiáng),鍍層又薄又勻,不影響零件的尺寸精度和公差配合。經(jīng)濟(jì)性也好,少許潤(rùn)滑材料即可鍍很大面積。潤(rùn)滑膜的質(zhì)量也較好,摩擦系數(shù)小,使用壽命也長(zhǎng)。例如有一個(gè)人造衛(wèi)星上的精密軸承,未鍍前工作壽命為幾分鐘,根本無(wú)法使用;但是經(jīng)離子鍍固體潤(rùn)滑膜后,則可在飛行中可靠地工作數(shù)千小時(shí)之久。離子鍍不能夠鍍?cè)S多種常溫固體潤(rùn)滑材料,而且還能鍍復(fù)各種高溫固體潤(rùn)滑材料,有的甚至可以在攝氏八百度以上的高溫下發(fā)揮良好的潤(rùn)滑作用??慑兊墓腆w潤(rùn)滑材料有銀、金、銅、鉛、鉛錫合金、氟化物等。
真空離子鍍耐高溫性能: 航空零件,特別是許多發(fā)動(dòng)機(jī)零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導(dǎo)向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右,有的甚至達(dá)攝氏一千四百度。神話小說(shuō)《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內(nèi)燒煉時(shí),恐怕也達(dá)不到這么高的溫度吧?,F(xiàn)代航空發(fā)動(dòng)機(jī)零件在這樣高的溫度下工作,依賴零件基體材料本身的性能是很難滿足要求的。那么,發(fā)動(dòng)機(jī)零件怎樣才能不怕高溫?zé)g呢?目前除在零件結(jié)構(gòu)上采取措施(如采用空心冷卻葉片、發(fā)散冷卻葉片等)以外,大都需用耐熱鍍層進(jìn)行保護(hù)。離子鍍對(duì)于沉積耐熱膜有相當(dāng)多的優(yōu)點(diǎn),能鍍各種高熔點(diǎn)材料,如氧化鋁、氧化硅、氧化鈹、鉿合金等。合金鍍層的成份也比較容易控制,適合于鍍成分較復(fù)雜的耐熱合金,如鐵鉻鋁釔,鈷鉻鋁釔或鎳鉻鋁釔合金等。 目前渦輪葉片是試圖采用離子鍍耐熱鍍層的主要對(duì)象。據(jù)悉,有一種葉片用此法鍍復(fù)一種鎳鉻鋁釔合金后,其高溫工作壽命比鍍鋁提高了三倍。適于采用離子鍍耐熱鍍層的發(fā)動(dòng)機(jī)零件還有渦輪盤、氣缸活塞零件等。有些零件經(jīng)過(guò)這種先進(jìn)工藝處理后,可在高溫下工作上千小時(shí)。如果不能及時(shí)調(diào)整反應(yīng)氣體流量,化合物覆蓋面積增加的速率得不到***,濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋。
塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。化學(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至 800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。 二、主要產(chǎn)品: 1、鈀 顆粒 99.99% 常規(guī)尺寸:φ3*6mm;量大可定做 2、鈀 靶材 99.99%? 常規(guī)尺寸:φ50*1mm;φ60*3mm;φ76.2*4mm等,尺寸可定做 3、電鏡鈀片常規(guī)尺寸:φ57*0.1mm *0.2mm 4、鈀 箔片 99.9 2mm等,尺寸可定做 二、其他 : 打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工 。 回收流程如下: 稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品 高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材 產(chǎn)品編碼 產(chǎn)品名稱 規(guī)格 應(yīng)用 Sc-I4006 鈧 x 真空熔煉 Li-G30610 鋰 顆粒 99.9% φ6*10mm 真空熔煉 Sr-I2011 鍶 塊狀 99% 氮?dú)獍b 真空熔煉 Mg-G3514 鎂 顆粒 99.93% 4mm類球形 真空熔煉 Mg-I3503 鎂 塊狀 99.95% 200g/塊 真空熔煉 Fe-G3533 鐵 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Cr-G3501 mm 真空熔煉 Al-G4066 鋁 顆粒 99.99% φ6*6mm 真空熔煉 Cu-G5033 銅 顆粒 99.999% φ3*3mm 真空熔煉 Cu-G3533 銅 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Ti-G3033 鈦 顆粒 99.9% φ3*3mm 真空熔煉 Ni-G3025 鎳 顆粒 99.9% φ2*5mm 真空熔煉 V-G3015 釩 顆粒 99.9% 樹枝狀所以在安裝靶材時(shí)需要確保陰極與陽(yáng)極之間沒(méi)有接觸也不能存在導(dǎo)體,否則會(huì)產(chǎn)生短路。武漢富鋰錳酸鋰靶作用
靶材安裝及注意事項(xiàng)有哪些?南京鋁摻鈷酸鋰靶作用
等離子預(yù)處理工藝在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用。 等離子體是電離了的氣體。它由電子、離子和中性粒子3種成分組成,其中電子和離子的電荷總數(shù)基本相等,故整體是電中性的。在基材薄膜鍍鋁前,通過(guò)等離子處理裝置將電離的等離子體中的電子或離子打到基材薄膜表面,一方面,可以打開(kāi)材料的長(zhǎng)分子鏈,出現(xiàn)高能基團(tuán);另一方面,經(jīng)打擊使薄膜表面出現(xiàn)細(xì)小的凹陷,同時(shí)還可使表面雜質(zhì)離解、重解。電離時(shí)放出的臭氧有強(qiáng)氧化性,附著的雜質(zhì)被氧化而除去,使鍍鋁基材薄膜的表面自由能提高,達(dá)到提高鍍鋁層附著牢度的目的。 等離子預(yù)處理技術(shù)在不同公司其稱呼不同,如英國(guó)Bobst公司、德國(guó)Leybold Optic萊寶光電等稱之為等離子預(yù)處理,美國(guó)Applied Material公司稱之為輝光放電,英國(guó)Rexam公司為其注冊(cè)商標(biāo)為Camplus技術(shù)。另外,不同公司其使用的工藝氣體的組分也有所不同,多數(shù)公司使用氧氣和氬氣的組合,也有少數(shù)公司使用氮?dú)饣蜓鯕馀c氮?dú)獾慕M合。實(shí)踐證明經(jīng)過(guò)等離子處理后的薄膜其鍍鋁層附著牢度可以提高30-50%,且表現(xiàn)為非極性材料提高幅度高于極性材料。南京鋁摻鈷酸鋰靶作用
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。