氧化物鍍膜技術(shù)在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用 近年來(lái)，迅速發(fā)展微波加熱技術(shù)給微波食品包裝及需經(jīng)微波殺 菌消毒的一類商品的包裝提出了新的要求，即包裝材料不要具有優(yōu)良的阻隔性能，而且還要耐高溫、微波透過(guò)性好等特性，傳統(tǒng)的包裝材料很難具備這些特點(diǎn)。因此，近年來(lái)日本、德國(guó)、美國(guó)等國(guó)家大力研究開(kāi)發(fā)新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復(fù)合材料。這類材料除了阻隔性能可以與鋁塑復(fù)合材料相媲美外，同時(shí)還具有微波透過(guò)性好、耐高溫、透明、受環(huán)境溫度濕度影響小等優(yōu)點(diǎn)。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍?cè)峡刹捎肧iOX、SiO2，也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等，其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發(fā)源有電阻式和電子束兩種，電阻式蒸發(fā)源以電阻通過(guò)發(fā)熱的原理來(lái)加熱蒸鍍?cè)希呒訜釡囟瓤蛇_(dá)1700℃。電子束蒸發(fā)源利用加速電子碰撞蒸鍍?cè)隙蛊湔舭l(fā)，蒸發(fā)源配有電子，在材料局部位置上而形成加熱束斑，束斑溫度可達(dá)3000～6000℃，能量密度高可達(dá)20KW/cm2。 實(shí)驗(yàn)表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。靶材太薄、靶材太貴的情況等。 但下列情況綁定有弊端。南通鎳酸鑭靶材

任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。本發(fā)明涉及靶材領(lǐng)域，具體涉及一種長(zhǎng)壽命靶材組件。

背景技術(shù)：

目前，現(xiàn)有的半導(dǎo)體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經(jīng)到了一個(gè)極限，為提高靶材的使用壽命，節(jié)省多次更換靶材的重復(fù)性?，F(xiàn)有的技術(shù)都是通過(guò)磁場(chǎng)強(qiáng)度，把靶材表面設(shè)計(jì)成曲面來(lái)延長(zhǎng)壽命，公開(kāi)了一種靶材，包括靶材本體及基體，所述基體的至少一面設(shè)有所述靶材本體，所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過(guò)等離子弧噴涂機(jī)噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結(jié)合面為呈內(nèi)凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造方法步驟如下：(1)準(zhǔn)備合金粉體；(2)準(zhǔn)備基體；(3)等離子轉(zhuǎn)移弧噴涂成型；(4)、清理被噴涂層表面，按照步驟(3)的要求再次噴涂處理，直至獲得要求厚度的靶材。本發(fā)明有益效果在于：一是生產(chǎn)的靶材無(wú)氣孔殘留；二是生產(chǎn)設(shè)備簡(jiǎn)單、投資小；三是靶材可以修復(fù)再利用。 In2O3靶材型號(hào)金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高，靶中毒后，靶材表面都是金屬化合物。

高純金屬的概念： 任何金屬都不能達(dá)到純?！案呒儭焙汀俺儭本哂邢鄬?duì)的含義，是指技術(shù)上達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。由于技術(shù)的發(fā)展，也常使“超純”的標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)。例如過(guò)去高純金屬的雜質(zhì)為 ppm級(jí)（即百萬(wàn)分之幾）,而超純半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)達(dá)ppb級(jí)（十億分之幾）,并將逐步發(fā)展到以ppt級(jí)（一萬(wàn)億分之幾）表示。實(shí)際上純度以幾個(gè)“9”(N)來(lái)表示（如雜質(zhì)總含量為百萬(wàn)分之一，即稱為6個(gè)“9”或6N），是不完整概念，如電子器件用的超純硅以金屬雜質(zhì)計(jì)算，其純度相當(dāng)于9 個(gè)“9”。 但如計(jì)入碳，則可能不到6個(gè)“9”?！俺儭钡南鄬?duì)名詞是指“雜質(zhì)”，廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)（元素）及“物理雜質(zhì)”，后者是指位錯(cuò)及空位等，而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當(dāng)金屬純度達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)(如純度 9N 以上的金屬)，物理雜質(zhì)的概念才是有意義的， 因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn)，即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬(wàn)分之幾表示。

鋅錫合金，鋅鋁合金，錫鎘合金，銅銦合金，銅銦鎵合金，銅鎵合金，以及錫，鉬，鈦等旋轉(zhuǎn)靶材 高純鋁靶材Al 高純銅靶材Cu 高純鐵靶材Fe 高純鈦靶材Ti 高純鎳靶材Ni 高純鎂靶材Mg高純鉻靶材Cr 高純鋅靶材Zn 高純銀靶材Ag 高純鈷靶材Co 高純鈮靶材Nb 高純錫靶材Sn 高純銦靶材In 高純鋯靶材Zr 高純鉭靶材Ta 高純鍺靶材Ge 高純硅靶材Si 高純鎢靶材W 高純鉿靶材Hf 高純釔靶材Y 高純釓靶材Gd 高純釤靶材Sm 高純鏑靶材Dy 高純鈰靶材Ce 高純鑭靶材La 高純金靶材Au 高純不銹鋼靶材高純石墨靶材C 高純硒靶材Se高純鉬靶材Mo 高純合金濺射靶材 二元合金靶 鎳鉻靶Ni-Cr 鎳鐵靶Ni-Fe 鎳鈷靶Ni-Co 鎳鋯靶Ni-Zr 鎳鋁靶Ni-Al鎳銅靶Ni-Cu 鎳釩靶Ni-V銅銦靶Cu-In 銅鎵靶Cu-Ga 銅硒靶Cu-Se 鈦鋁靶Ti-Al 鋁硅靶Al-Si 鋁銅靶Al-Cu 鋁鈦靶Al-Ti 鋁鎂靶Al-Mg 銀銅靶Ag-Cu 鐵錳靶Fe-Mn 銦錫靶In-Sn 鈷鐵靶Co-Fe鎢鈦靶W-Ti 鋅鋁靶Zn-Al 鋁鈧靶Al-Sc 銅錫靶Cu-Sn 鋯鋁靶Zr-Al 鋯鐵靶Zr-Fe 鋯硅靶Zr-Si 釩鋁靶V-Al硼鐵靶B-Fe 鋁硅靶Al-Si 硼鐵靶 B-Fe 多元合金靶 鈷鐵硼靶Co-Fe-B 銅銦鎵靶Cu-In-Ga銅銦鎵硒靶Cu-In-Ga-Se等。 旋轉(zhuǎn)靶材用途 編輯 太陽(yáng)能電池，建筑玻璃，汽車玻璃，半導(dǎo)體，平板電視等。通常是放熱反應(yīng)，反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑，否則，該化學(xué)反應(yīng)無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行。

一種靶材拋光裝置100，包括：固定板200，所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側(cè)的側(cè)板220；拋光片300，位于所述固定板200內(nèi)側(cè)面上，其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。

所述固定板200能夠起到支架的作用，以固定支撐所述拋光片300，便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。

頂板210呈矩形狀，所述側(cè)板220也呈矩形狀。

述固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角。具體的，所述側(cè)板220表面垂直于所述頂板210表面，即所述夾角為90°。在其他實(shí)施例中，所述夾角還可以大于90°且小于180°。

頂板210與所述側(cè)板220為一體成型。在其他實(shí)施例中，所述頂板與所述側(cè)板還可以采用焊接、螺接或緊密配合方式固定連接。

固定板200的材料為合金，具體的，所述固定板200的材料為不銹鋼。在其他實(shí)施例中，所述固定板的材料還可以為金屬。 靶材密度越高，薄膜的性能越好。In2O3靶材型號(hào)

靶材綁定的定義。濺射靶材的分類有哪些？南通鎳酸鑭靶材

防護(hù)層為彈性材料，所述防護(hù)層的質(zhì)地軟，能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖，避免所述固定板觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。

具體實(shí)施方式：

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說(shuō)明。

一種靶材拋光裝置100，包括：固定板200，所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側(cè)的側(cè)板220；拋光片300，位于所述固定板200內(nèi)側(cè)面上，其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。固定板200能夠起到支架的作用，以固定支撐所述拋光片300，便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。頂板210呈矩形狀，所述側(cè)板220也呈矩形狀。固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角。具體的，所述側(cè)板220表面垂直于所述頂板210表面，即所述夾角為90°。在其他實(shí)施例中，所述夾角還可以大于90°且小于180°。 南通鎳酸鑭靶材

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司，濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)，并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作，整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì)，生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬，合金，陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累，已經(jīng)擁有：真空熱壓，冷壓燒結(jié)，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái)，冷壓燒結(jié)爐一臺(tái)，真空熔煉設(shè)備兩臺(tái)，等靜壓設(shè)備一臺(tái)，等離子噴涂?jī)商?，綁定平臺(tái)兩套，各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái)，檢驗(yàn)設(shè)備若干，確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承：“一切以客戶的需求為導(dǎo)向，客戶的所有需求一次做好?！钡陌l(fā)展理念。