陽光控制鍍膜玻璃的優(yōu)點 陽光控制鍍膜玻璃主要就是為了遮光隔熱,根據(jù)它的物理特性也叫做熱反射鍍膜玻璃,在普通的透明玻璃上通過磁控濺射真空鍍膜機鍍上一層或多層薄膜,在這里我們簡稱反射玻璃。 反射玻璃相對于普通透明玻璃而言,在太陽能的反射性能上,反射玻璃一次的反射比普通玻璃高出4.3倍,第二次的反射高出3.1倍,總的反射就高出3.6倍了;在遮蔽系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃減少0.18,系數(shù)越少,遮光效果就會越好的,減少太陽輻射和熱能的透射;在可見光的反射和透射上,反射玻璃比普通玻璃反射增加了20%~38%,透射減少了55%~70%,具有良好的遮光性能;在傳熱系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃降低了0.4W(m2.K),具有良好的隔熱性能。 利用其良好的遮光和隔熱性能,可以大降低在室內(nèi)制冷和保暖的花費,是一種非常好的節(jié)能產(chǎn)品,而且可以通過不同的金屬或金屬化合物為靶材,鍍制出不同顏色的反射膜,常見的顏色有茶色、灰色、金黃色、古銅色、褐色、珊瑚黃色,通過不同的配搭,達到裝飾的效果,即美觀又節(jié)能。有一部分靶材在安裝之前需要拋光。鎮(zhèn)江氮化鈦靶圖片
氣體壓強對靶濺射電壓的影響 在磁控濺射或反應磁控濺射鍍膜的工藝過程中,工作氣體或反應氣體壓強對磁控靶濺射電壓能夠造成一定的影響。 1.工作氣體壓強對靶濺射電壓的影響 一般的規(guī)律是:在真空設備環(huán)境條件確定和靶電源的控制面板設置參數(shù)不變時,隨著工作氣體(如氬氣)壓強(0.1~10Pa)的逐步增加,氣體放電等離子體的密度也會同步增加,致使等離子體等效阻抗減小,磁控靶的濺射電流會逐步上升,濺射工作電壓亦會同步下降。 2. 反應氣體壓強對靶濺射電壓的影響 在反應磁控濺射鍍膜的工藝過程中,在真空設備環(huán)境條件確定和靶電源的控制面板設置參數(shù)不變時,隨著反應氣體(如氮氣、氧氣)壓強(或流量)的逐步增加(一般應注意不要超過工藝設定值的上限值),隨著磁控靶面和基片(工件)表面逐步被絕緣膜層覆蓋,陰-陽極間放電的等效阻抗也會同步增高,磁控靶的濺射電流會逐步下降(直至“陰極中毒”和“陽極消失”為止),濺射工作電壓亦會同步上升。成都氧化鋅錫靶調(diào)試請注意一定要仔細檢查和明確所使用濺射冷卻壁的平整度,同時確保O型密封圈始終在位置上。
高純金屬的概念: 任何金屬都不能達到純?!案呒儭焙汀俺儭本哂邢鄬Φ暮x,是指技術上達到的標準。由于技術的發(fā)展,也常使“超純”的標準升級。例如過去高純金屬的雜質(zhì)為 ppm級(即百萬分之幾),而超純半導體材料的雜質(zhì)達ppb級(十億分之幾),并將逐步發(fā)展到以ppt級(一萬億分之幾)表示。實際上純度以幾個“9”(N)來表示(如雜質(zhì)總含量為百萬分之一,即稱為6個“9”或6N),是不完整概念,如電子器件用的超純硅以金屬雜質(zhì)計算,其純度相當于9 個“9”。 但如計入碳,則可能不到6個“9”?!俺儭钡南鄬γ~是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”,后者是指位錯及空位等,而化學雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當金屬純度達到很高的標準時(如純度 9N 以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的, 因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學雜質(zhì)的含量作為標準,即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表示。
常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系:1.IP玫瑰金(rosegold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設計和加工。又稱粉色金(pinkgold)、紅色金(redgold)。2.IP金,用離子鍍膜的方式,讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上,一般由仿金層和表面金層兩層,表面金層的顏色與24K黃金一樣,厚度可以根據(jù)客戶的要求鍍不同的厚度。3.仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黃金,一般成份是由TiNTiCNZrNZrCN等陶瓷化合物組成,但很難達到真金的亮度。4.銀色系列,一般是鉻的化合物,顏色深淺可調(diào)整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列帶藍調(diào),金屬光感好,暖色系列帶黃調(diào),接近不銹鋼本色。5.黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調(diào)整,色調(diào)根據(jù)客戶的要求也可以調(diào)整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調(diào),可以根據(jù)客戶的需要選擇不同的膜系。6.藍色系列,有天空藍,冰藍色,海洋藍,深藍等等,不同色系成份也有所不一樣。所以在安裝靶材時需要對陰極冷卻水槽進行檢查和清理,確保冷卻水循環(huán)的順暢和進出水口不會被堵塞。
純度
純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”、 8”發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
2.雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。 壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當?shù)木嚯x,調(diào)整距離即可。鎮(zhèn)江氮化鈦靶圖片
七.濺射靶材的制備方法有哪些?鎮(zhèn)江氮化鈦靶圖片
濺射靶材的制備
濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類,除嚴格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結晶取向之外,對熱處理條件、后續(xù)加工方法等亦需加以嚴格控制。
一、粉末冶金法
粉末冶金法制備靶材時,其關鍵在于:(1)選擇高純、超細粉末作為原料;(2)選擇能實現(xiàn)快速致密化的成形燒結技術,以保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;(3)制備過程嚴格控制雜質(zhì)元素的引入。
二、熔融鑄造法
熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質(zhì)元素含量盡可能低,通常其冶煉和澆注在真空或保護性氣氛下進行。但鑄造過程中,材料組織內(nèi)部難免存在一定的孔隙率,這些孔隙會導致濺射過程中的微粒飛濺,從而影響濺射薄膜的質(zhì)量。為此,需要后續(xù)熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。 鎮(zhèn)江氮化鈦靶圖片
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。