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與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對(duì)比例3與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的硬度為10hv;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對(duì)比例4與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的硬度為35hv;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。通過(guò)上述實(shí)施例和對(duì)比例的結(jié)果可知,本發(fā)明中,通過(guò)調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強(qiáng)度,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。申請(qǐng)人聲明,本發(fā)明通過(guò)上述實(shí)施例來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的詳細(xì)結(jié)構(gòu)特征,但本發(fā)明并不局限于上述詳細(xì)結(jié)構(gòu)特征,即不意味著本發(fā)明必須依賴上述詳細(xì)結(jié)構(gòu)特征才能實(shí)施。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明了,對(duì)本發(fā)明的任何改進(jìn),對(duì)本發(fā)明所選用部件的等效替換以及輔助部件的增加、具體方式的選擇等,均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍和公開(kāi)范圍之內(nèi)。選擇高純、超細(xì)粉末作為原料。鎮(zhèn)江TiSi靶材
所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實(shí)施例4本實(shí)施例提供一種長(zhǎng)壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.9mm;所述靶材表面的硬度為25hv;其中,所述靶材的比較大厚度為24mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括銅。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實(shí)施例5本實(shí)施例提供一種長(zhǎng)壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.82mm;所述靶材表面的硬度為21hv;成都錫鋅靶材費(fèi)用正離子堆積:靶中毒時(shí),靶面形成一層絕緣膜。
為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請(qǐng)注意一定要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射頭冷卻壁的平整度,同時(shí)確保O型密封圈始終在位置上。由于所使用冷卻水的潔凈程度和設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可能會(huì)產(chǎn)生的污垢會(huì)沉積在陰極冷卻水槽內(nèi),所以在安裝靶材時(shí)需要對(duì)陰極冷卻水槽進(jìn)行檢查和清理,確保冷卻水循環(huán)的順暢和進(jìn)出水口不會(huì)被堵塞。有些陰極設(shè)計(jì)是與陽(yáng)極的空隙較小,所以在安裝靶材時(shí)需要確保陰極與陽(yáng)極之間沒(méi)有接觸也不能存在導(dǎo)體,否則會(huì)產(chǎn)生短路。請(qǐng)參考設(shè)備商操作手冊(cè)中關(guān)于如何正確安裝靶材的相關(guān)信息。在收緊靶材夾具時(shí),請(qǐng)先用手轉(zhuǎn)緊一顆鏍栓,再用手轉(zhuǎn)緊對(duì)角線上的另外一顆鏍栓,如此重復(fù)直到安裝上所有鏍栓后,再用工具收緊。
本實(shí)施例提供一種長(zhǎng)壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.78mm;所述靶材表面的硬度為26hv;其中,所述靶材的比較大厚度為22mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為4°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括鋁。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。對(duì)比例1與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.5mm;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對(duì)比例2與實(shí)施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強(qiáng)度差,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。濺射出靶材的原子、原子團(tuán)、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團(tuán)沉積到基材上形成薄膜。
釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。二.綁定的適用范圍:建議綁定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。但下列情況綁定有弊端:1.熔點(diǎn)低的靶材,像銦、硒等,金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形;2.貴金屬靶材,一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料,建議墊一片銅片。三.背靶的選擇對(duì)材質(zhì)的要求:一般選用無(wú)氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右;導(dǎo)電性好:常用無(wú)氧銅,無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;強(qiáng)度足夠:太薄,易變形,不易真空密封;結(jié)構(gòu)要求:空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu);厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。上海鋰靶材費(fèi)用
制備過(guò)程嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入。鎮(zhèn)江TiSi靶材
真空鍍膜機(jī)在塑膠行業(yè)的應(yīng)用 真空鍍膜機(jī)應(yīng)該普遍,在塑料行業(yè)的應(yīng)該也很普遍。而塑膠在生活,工業(yè),電器,航空等領(lǐng)域都有涉及。塑膠具有易成型,價(jià)格便宜,質(zhì)量輕,防腐蝕等優(yōu)點(diǎn),但塑膠的缺點(diǎn)也比較突出,其缺點(diǎn)也制約了塑膠的應(yīng)用范圍,如不美觀、易老化、機(jī)械性能差、易碎易變型、耐熱差等。通過(guò)真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用,使塑膠表面鍍上特定膜層,東莞匯成真空自主研發(fā)生產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備將鍍膜機(jī)材料和塑膠產(chǎn)呂完美結(jié)合,提高了塑膠制品的物理、化學(xué)性能。 一、改善表面硬度,原塑膠表面比金屬軟而易受損害,通過(guò)真空鍍膜,硬度及耐磨性增加; 二、使塑料表面有導(dǎo)電性; 三、容易清洗,不吸塵; 四、改善塑膠外觀,表面光滑,金屬感強(qiáng),色澤光鮮,裝飾性提高。鎮(zhèn)江TiSi靶材
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。