什么是DLC薄膜? 類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱,它是一類性質近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率。良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式,從而使其終產生不同的物質:金剛石(diamond)—碳碳以 sp3鍵的形式結合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結合。 而類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。Gd靶材
陽光控制鍍膜玻璃的優(yōu)點 陽光控制鍍膜玻璃主要就是為了遮光隔熱,根據(jù)它的物理特性也叫做熱反射鍍膜玻璃,在普通的透明玻璃上通過磁控濺射真空鍍膜機鍍上一層或多層薄膜,在這里我們簡稱反射玻璃。 反射玻璃相對于普通透明玻璃而言,在太陽能的反射性能上,反射玻璃一次的反射比普通玻璃高出4.3倍,第二次的反射高出3.1倍,總的反射就高出3.6倍了;在遮蔽系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃減少0.18,系數(shù)越少,遮光效果就會越好的,減少太陽輻射和熱能的透射;在可見光的反射和透射上,反射玻璃比普通玻璃反射增加了20%~38%,透射減少了55%~70%,具有良好的遮光性能;在傳熱系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃降低了0.4W(m2.K),具有良好的隔熱性能。 利用其良好的遮光和隔熱性能,可以大降低在室內制冷和保暖的花費,是一種非常好的節(jié)能產品,而且可以通過不同的金屬或金屬化合物為靶材,鍍制出不同顏色的反射膜,常見的顏色有茶色、灰色、金黃色、古銅色、褐色、珊瑚黃色,通過不同的配搭,達到裝飾的效果,即美觀又節(jié)能。合肥鍍膜靶材調試濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類。
本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.78mm;所述靶材表面的硬度為26hv;其中,所述靶材的比較大厚度為22mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為4°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鈦;所述背板的材質包括鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。對比例1與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.5mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。對比例2與實施例1的區(qū)別 在于所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為8mm;所得靶材組件濺射強度差,使得濺射過程中薄膜厚度不均勻,使用壽命減少。
所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例3提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.8mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為28mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鉭;所述背板的材質包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例4提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.9mm;所述靶材表面的硬度為25hv;采用中頻電源或射頻電源。
氧化物鍍膜技術在真空鍍鋁膜中的應用 近年來,迅速發(fā)展微波加熱技術給微波食品包裝及需經微波殺 菌消毒的一類商品的包裝提出了新的要求,即包裝材料不要具有優(yōu)良的阻隔性能,而且還要耐高溫、微波透過性好等特性,傳統(tǒng)的包裝材料很難具備這些特點。因此,近年來日本、德國、美國等國家大力研究開發(fā)新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復合材料。這類材料除了阻隔性能可以與鋁塑復合材料相媲美外,同時還具有微波透過性好、耐高溫、透明、受環(huán)境溫度濕度影響小等優(yōu)點。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍原料可采用SiOX、SiO2,也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等,其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發(fā)源有電阻式和電子束兩種,電阻式蒸發(fā)源以電阻通過發(fā)熱的原理來加熱蒸鍍原料,高加熱溫度可達1700℃。電子束蒸發(fā)源利用加速電子碰撞蒸鍍原料而使其蒸發(fā),蒸發(fā)源配有電子,在材料局部位置上而形成加熱束斑,束斑溫度可達3000~6000℃,能量密度高可達20KW/cm2。 實驗表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。揚州氧化亞銅靶材廠家
對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標之一,靶材的純度對后期產品薄膜的性能影響很大。Gd靶材
靶材磁控濺射的原理是什么?磁控濺射原理:在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,濺射靶材在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更大,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。濺射靶材射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。Gd靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。