靶材材質對靶濺射電壓的影響 :
1. 在真空條件不變的條件下,不同材質與種類靶材對磁控靶的正常濺射電壓會產生一定的影響。
2. 常用的靶材(如銅Cu、鋁Al、鈦Ti?)的正常濺射電壓一般在400~600V的范圍內。
3. 有的難濺射的靶材(如錳Mn、鉻Cr等) 的濺射電壓比較高, 一般需>700V以上才能完成正常磁控濺射過程;而有的靶材(如氧化銦錫ITO) 的濺射電壓比較低,可以在200多伏電壓時實現(xiàn)正常的磁控濺射沉積鍍膜。
4. 實際鍍膜過程中,由于工作氣體壓力變化,或陰極與陽極間距偏小(使真空腔體內阻抗特性發(fā)生變化),或真空腔體與磁控靶的機械尺寸不匹配,同時選用了輸出特性較軟的靶電源等原因,導致磁控靶的濺射電壓(即靶電源輸出電壓)遠低于正常濺射示值,則可能會出現(xiàn)靶前存雖然呈現(xiàn)出很亮的光圈,就是不能見到靶材離子相應顏色的泛光,以至不能濺射成膜的狀況。 不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。蘇州氧化鋁靶材費用
NCVM不導電膜是什么,它有哪些特點? NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術或不導電電鍍技術,是一種起緣普通真空電鍍的高新技術。真空電鍍,簡稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運用化學、物理等特定手段進行有機轉換,使金屬轉換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復雜得多。 NCVM特點是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續(xù)之特性,得到外觀有金屬質感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實現(xiàn)不導電,滿足無線通訊產品的正常使用;其次要保證“金屬質感”這一重要的外觀要求;通過UV涂料與鍍膜層結合,保證產品的物性和耐候性,滿足客戶需求。武漢In靶材費用不拋光去除表面變質部分,沉積到基材上的膜層性質就是表面變質的雜質。
通過所述靶材拋光裝置100同時對所述靶材600相交接的兩個側壁表面630進行拋光。具體的,所述拋光片部分310與所述靶材600的一個側壁表面630相貼合,所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的另一個側壁表面630相貼合,所述拋光片第二部分320表面與位于兩個側壁表面630間的側棱601表面相貼合。操作人員相對所述靶材600移動所述靶材拋光裝置100,移動方向平行與被拋光的所述側棱601延伸方向,從而可同時對所述靶材600的兩個側壁表面630進行拋光,且還同時對位于兩個側壁表面630間的側棱601表面進行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。雖然本發(fā)明披露如上,但本發(fā)明并非限定于此。任何本領域技術人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內,均可作各種更動與修改,因此本發(fā)明的保護范圍應當以權利要求所限定的范圍為準。
靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質包括銅和/或鋁。與現(xiàn)有技術方案相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中,通過調整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。下面對本發(fā)明進一步詳細說明。但下述的實例 是本發(fā)明的簡易例子,并不**或限制本發(fā)明的權利保護范圍,本發(fā)明的保護范圍以權利要求書為準。具體實施方式為更好地說明本發(fā)明,便于理解本發(fā)明的技術方案,本發(fā)明的典型但非限制性的實施例如下:實施例1本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為23hv此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。
靶材拋光裝置100還包括:防護層400,所述防護層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。防護層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導致靶材受損。防護層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護層400的厚度過小,所述防護層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護靶材。若所述防護層400的厚度過大,使得所述防護層400的體積過大,進而造成所述靶材拋光裝置100的體積過大,對操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來不必要的困難。防護層400的材料。在其他實施例中,所述防護層的材料還可以為橡膠或棉花。防護層400與所述固定板200間通過粘結劑相粘接。所述防護層400與所述拋光片300間也通過粘結劑相粘接。在其他實施例中,所述拋光片朝向所述防護層的表面上具有勾刺結構,所述防護層與所述拋光片間通過所述勾刺結構相固定。由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產生化學反應生成化合物原子。合肥NiFe靶材調試
正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產生冷場致弧光放電,使陰極濺射無法進行下去。蘇州氧化鋁靶材費用
儀器儀表行業(yè)本身是一個加入,產出周期較長的行業(yè),所以作為業(yè)內廠家,一方面要尋找中、短期市場熱點,另一方面也要在產品、技術研發(fā)方面有長遠的規(guī)劃;目前,磁控濺射靶材,蒸發(fā)材料,背板,靶材綁定等產品的產量居世界前列,實驗分析儀器等中產品的市場占比不斷上升,行業(yè)技術上總體已達到的中等國際水平,少數產品接近或達到當前較高國際水平。在國民經濟運行中,金屬靶材,合金靶材,陶瓷靶材,鍍膜材料的研發(fā)銷售(以上項目均不含危險品);鍍膜技術的研究,開發(fā);鍍膜生產**設備,其他機械設備,電子產品,五金產品的銷售;自營和代理各類商品以及技術的進出口業(yè)務,但國家限定企業(yè)經營或禁止進出口的商品和技術除外。等設備是提高勞動生產率的倍增器,對國民經濟有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產值只占工業(yè)總產值的4%,但它對國民經濟(GNP)的影響面卻達到66%。從銷售廣義角度來說,儀器儀表也可具有自動操控、報警、信號傳遞和數據處理等功能,例如用于工業(yè)生產過程自動操控中的氣動調節(jié)儀表,和電動調節(jié)儀表,以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表。蘇州氧化鋁靶材費用
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。