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來源: 發(fā)布時間:2021-11-17

高純金屬的概念: 任何金屬都不能達到純?!案呒儭焙汀俺儭本哂邢鄬Φ暮x,是指技術(shù)上達到的標準。由于技術(shù)的發(fā)展,也常使“超純”的標準升級。例如過去高純金屬的雜質(zhì)為 ppm級(即百萬分之幾),而超純半導體材料的雜質(zhì)達ppb級(十億分之幾),并將逐步發(fā)展到以ppt級(一萬億分之幾)表示。實際上純度以幾個“9”(N)來表示(如雜質(zhì)總含量為百萬分之一,即稱為6個“9”或6N),是不完整概念,如電子器件用的超純硅以金屬雜質(zhì)計算,其純度相當于9 個“9”。 但如計入碳,則可能不到6個“9”?!俺儭钡南鄬γ~是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”,后者是指位錯及空位等,而化學雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當金屬純度達到很高的標準時(如純度 9N 以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的, 因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學雜質(zhì)的含量作為標準,即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表示。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標之一。成都鈷鐵靶哪家好

什么是靶材綁定

主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。

一.靶材綁定的定義

靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導電膠。

1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;

2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;

3.導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。

二.綁定的適用范圍

建議綁定的靶材:

ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。 鎮(zhèn)江硒靶價錢通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。

非晶硅薄膜的制備方法   非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學氣相沉積(LPCVD),等離子體增強化學氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長多晶硅薄膜的方法有:化學氣相沉積包括低壓化學氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強化學氣相沉積(APCVD)、等離子體化學氣相沉積(PCVD)以及液相生長、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態(tài)非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉(zhuǎn)化為多晶硅薄膜。它的特點是非晶固體發(fā)生晶化的溫度低于其熔融后結(jié)晶的溫度。常規(guī)高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導晶化、微波誘導晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對制備的非晶硅薄膜晶化過程進行了系統(tǒng)地研究。

  磁控靶材面積與承載功率范圍 1、靶材面積與承載功率范圍   (1) 圓形平面磁控靶功率密度范圍一般為1~25瓦/cm2。   (2)矩形平面磁控靶功率密度范圍一般為1~36瓦/cm2。   (3)柱狀磁控靶、錐形平面磁控靶功率密度范圍一般為40~50瓦/cm2。 2、磁控靶實際承載功率   磁控靶的實際的承載功率除了與濺射工藝、薄膜的質(zhì)量要求等因數(shù)有關(guān)外,主要與靶的冷卻狀況和散熱條件密切相關(guān)。磁控靶按其冷卻散熱方式的不同,分為“靶材直接水冷卻”和“靶材間接水冷卻”兩種。   考慮到濺射靶長期使用老化后,其散熱條件變差;兼顧各種不同靶材材質(zhì)的散熱系數(shù)的不同,磁控靶的使用時的承載功率,直接水冷卻靶實際的承載大功率可按略小于功率密度范圍的上限選取;間接水冷卻靶的實際承載大功率可按功率密度范圍上限值的二分之一左右選取。   磁控靶材(主要是Cu,Ag,黃銅(Brass)和Al青銅(Al bronze) “自濺射”時,一般是選用經(jīng)過專門設(shè)計“靶材直接水冷卻”的磁控濺射靶。其使用時的承載功率,均需大于靶功率密度范圍的上限值(即>100W/cm2以上)。靶材安裝及注意事項有哪些?

PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質(zhì)的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質(zhì)。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進行,行業(yè)內(nèi)叫IP玫瑰金,其工藝已經(jīng)非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構(gòu)成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。合肥陶瓷靶調(diào)試

所以在安裝靶材時需要確保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導體,否則會產(chǎn)生短路。成都鈷鐵靶哪家好

PECVD制備氫化非晶硅薄膜本實驗采用單晶硅片為襯底,按石英玻璃基片的清洗步驟清洗后烘干,然后置于PECVD系統(tǒng)中。樣品制備條件為襯底溫度250℃,工作氣壓120Pa,射頻功率100W,氣體流量SiH4/H2=15/5sccm,沉積時間30min,制備得到a-Si:H薄膜樣品。(1)非晶硅薄膜的表面粗糙度會隨著濺射功率的增大而增大,膜的均勻性將會變差;(2)非晶硅薄膜的表面粗糙度隨著襯底加熱溫度的增大而減小,非晶硅薄膜均勻性變好;(3)在0.5Pa至2.0Pa范圍內(nèi),隨著氬氣氣壓的增加非晶硅薄膜的表面粗糙度稍微變大;(4)隨著濺射時間的增加,膜的厚度成非線性增加,沉積速率開始較快,之后逐漸減慢,膜的表面粗糙度逐漸變大;(5)隨著濺射氣壓的增大,沉積速率有所降低。成都鈷鐵靶哪家好

江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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