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靶材拋光裝置還包括:防護層,所述防護層位于所述固定板與所述拋光片之間。防護層為彈性材料。靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設置于所述固定板的外表面上。把手的數(shù)量為兩個,其中一個所述把手設置于所述固定板的頂部,另一個所述把手設置于所述固定板的側壁上。與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明的技術方案具有以下優(yōu)點:提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經(jīng)圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠?qū)Π胁膫缺诒砻婕敖?jīng)圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業(yè)效率。關掉機器,把設備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細清洗一下。無錫錫鋅靶材價格
靶材的雜質(zhì)含量。在經(jīng)過一系列的靶材工藝處理后靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。比如現(xiàn)在的半導體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。密度也是靶材的關鍵性能指標之一.在靶材的技術工藝中為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,一般是要求靶材必須具有較高的密度。因為靶材主要特性密度對濺射速率有著很大的影響,并且影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。鈷靶材貼合不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。
與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明的技術方案具有以下優(yōu)點:本發(fā)明提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經(jīng)圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠?qū)Π胁膫缺诒砻婕敖?jīng)圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業(yè)效率??蛇x方案中,所述防護層為彈性材料,所述防護層的質(zhì)地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導致靶材受損。
影響磁控靶濺射電壓的主要因素有:靶面磁場、靶材材質(zhì)、氣體壓強、陰-陽極間距等。本文詳細分析這些因素距對靶濺射電壓的影響。
一、 靶面磁場對靶濺射電壓的影響 1. 磁控靶的陰極工作電壓,隨著靶面磁場的增加而降低,也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而降低。濺射電流也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而加大。這是因為靶的濺射刻蝕槽面會越來越接近靶材后面的磁鋼的強磁場。因此,靶材的厚度是有限制的。較厚的非磁性靶材能夠在較強的磁場中使用。 2. 鐵磁性靶材會對磁控靶的濺射造成影響,由于大部分磁力線從鐵磁性材料內(nèi)部通過,使靶材表面磁場減少,需要很高電壓才能讓靶面點火起輝。除非磁場非常的強,否則磁性材靶材必須比非磁性材料要薄,才能起輝和正常運行(永磁結構的Ni靶的典型值<0.16cm,磁控靶非特殊設計最大值一般不宜超過3mm,F(xiàn)e,co靶的最大值不超過2mm;電磁結構的靶可以濺射厚一些的靶材,甚至可達6mm厚)才能起輝和正常運行。正常工作時,磁控靶靶材表面的磁場強度為0.025T~0.05T左右;靶材濺射刻蝕即將穿孔時,其靶材表面的磁場強度大為提高,接近或大于0.1T左右。 在靶材的技術工藝中為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能。
PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質(zhì)的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質(zhì)。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進行,行業(yè)內(nèi)叫IP玫瑰金,其工藝已經(jīng)非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物。鈷靶材貼合
主要由三種方式:壓接、釬焊和導電膠。無錫錫鋅靶材價格
作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。作為本發(fā)明 的技術方案,所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm;所述靶材表面的硬度為20-30hv;其中,所述靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。與現(xiàn)有技術方案相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中,通過調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。無錫錫鋅靶材價格
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。