靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm,例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,所述靶材表面的硬度為20-30hv,例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26hv、27hv、28hv、29hv或30hv等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,通過調整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內其他未列舉的數(shù)值同樣適用。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導,所以,化學反應必須在一個固體表面進行。無錫鋱靶材
真空鍍膜設備維修保養(yǎng)技巧 1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上,應清潔工作室一次。 方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。 2、當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。 方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數(shù)秒,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦干凈箱內污垢。 3、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速明顯變慢。 擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯(lián)結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。蘇州硅靶材工廠適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。
根據(jù)客戶需要的比例計算、配料。(嚴格按照需求比例進行配料,以便保證合金的成分比例,降低公差);根據(jù)元素的熔點、元素特性、用量等選擇合適的熔煉爐工藝排期、熔煉;熔煉成型,根據(jù)客戶要求大小進行破碎、切割等后期處理。高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材規(guī)格說明:產(chǎn)品規(guī)格靶材可定制產(chǎn)品數(shù)量1000包裝說明雙層真空包裝價格說明1000◆產(chǎn)品說明:高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。原子量:106.4密度(20℃)/g?cm-3:12.02熔點/℃:1552蒸發(fā)溫度/℃:1460沸點/℃:3140汽化溫度/℃:
涂布技術在真空鍍鋁膜中的應用 將涂布技術與真空鍍鋁技術結合起來,通過在基材薄膜或鍍鋁薄膜上涂布功能層,以達到提高鍍鋁層的附著牢度、耐水煮性能、阻隔性能、裝飾性能等,滿足不同應用領域的要求。 一.經(jīng)過等離子預處理的真空鍍鋁薄膜雖然鍍鋁層牢度有了明顯提高,但對于一些對鍍鋁層附著牢度要求更高,或者需要用于水煮殺 菌條件時仍然不能滿足要求。為了滿足上述要求,通過在基材薄膜表面涂布一層丙烯酸類的化學涂層,該涂層不對鍍鋁層有優(yōu)異的粘附性能,同時可以滿足后續(xù)的水煮殺 菌條件。涂布后的包裝可以滿足巴氏殺 菌的要求,其鍍鋁層不會因為水煮而發(fā)生氧化。 二.為進一步提高鍍鋁膜的阻隔性能,同時保護鍍鋁層在后續(xù)的印刷、復合等加工過程中不被破壞,可以通過在鍍鋁層上涂布一層高阻隔的納米涂層或聚合物涂層來實現(xiàn)。 三.為提高鍍鋁膜的裝飾性能,在基材薄膜鍍鋁前或鍍鋁后進行各種顏色的涂布,或模壓后再進行鍍鋁,使得鍍鋁膜具有多彩的顏色或具有鐳射效果。此類產(chǎn)品可分為三種:包裝用膜、裝飾用膜、標示用膜。主要應用于禮品、禮盒的裝飾或防偽包裝用途,如食品、藥品、玩具等的外包裝以及酒等的防偽包裝。在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高空間的導通能力,降低等離子體阻抗,導致濺射電壓降低。
非晶硅薄膜的制備方法 非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學氣相沉積(LPCVD),等離子體增強化學氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長多晶硅薄膜的方法有:化學氣相沉積包括低壓化學氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強化學氣相沉積(APCVD)、等離子體化學氣相沉積(PCVD)以及液相生長、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態(tài)非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉化為多晶硅薄膜。它的特點是非晶固體發(fā)生晶化的溫度低于其熔融后結晶的溫度。常規(guī)高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導晶化、微波誘導晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對制備的非晶硅薄膜晶化過程進行了系統(tǒng)地研究。為確保足夠的導熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。蘇州鋇靶材圖片
純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。無錫鋱靶材
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點、口水點, 膜層局部附著不良等。 改善:加強清洗,加強烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過快,膜層應力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預熱加熱;增加離子輔助,減小應力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布氣;磁場;遮擋。
無錫鋱靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。