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具體實(shí)施方式以下,參照附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中。濱湖區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。新吳區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)
能夠使在作業(yè)者的進(jìn)入被禁止的作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)的懸掛式起重機(jī)、經(jīng)由被設(shè)置于允許作業(yè)者的通行的作業(yè)者通路上的高架搬運(yùn)車軌道適當(dāng)?shù)匾苿?dòng)。另外,在規(guī)定區(qū)域是配置有與上述存儲(chǔ)庫不同的存儲(chǔ)庫的其它存儲(chǔ)庫區(qū)域的情況下,能夠使懸掛式起重機(jī)容易在存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)與其它存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)之間移動(dòng)。另外,在高架搬運(yùn)車軌道基于上述機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道、第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道、機(jī)架間軌道以及第二機(jī)架間軌道,存儲(chǔ)庫的起重機(jī)軌道利用連結(jié)軌道與機(jī)架間軌道連結(jié),其它存儲(chǔ)庫的起重機(jī)軌道利用第二連結(jié)軌道與第二機(jī)架間軌道連結(jié)的情況下,能夠使懸掛式起重機(jī)經(jīng)由以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道以及以及第二機(jī)架間軌道,可靠地在存儲(chǔ)庫與其它存儲(chǔ)庫之間移動(dòng)。另外,在規(guī)定區(qū)域是維護(hù)區(qū)域的情況下,能夠使懸掛式起重機(jī)容易在存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)與維護(hù)區(qū)域之間移動(dòng)。另外,在規(guī)定區(qū)域包含懸掛式起重機(jī)的初始投入部的情況下,使懸掛式起重機(jī)從初始投入部向各存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)移動(dòng),由此不需要在各存儲(chǔ)庫中將懸掛式起重機(jī)安裝于起重機(jī)軌道的作業(yè),能夠提高作業(yè)性。附圖說明圖1是表示本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)的一個(gè)例子的俯視圖。圖2是放大表示圖1中的存儲(chǔ)庫區(qū)域的俯視圖。圖3是放大表示圖1中的規(guī)定區(qū)域的俯視圖?;萆絽^(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)收費(fèi)惠山區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
起重機(jī)軌道20被設(shè)置于在懸掛式起重機(jī)30的運(yùn)轉(zhuǎn)中禁止作業(yè)者的進(jìn)入的作業(yè)者禁止進(jìn)入?yún)^(qū)域10f的上方。并且,在懸掛式起重機(jī)30的運(yùn)轉(zhuǎn)中也可以禁止作業(yè)者向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a、10b整體的進(jìn)入。圖3是表示規(guī)定區(qū)域的一個(gè)例子的圖。圖3所示的規(guī)定區(qū)域是與存儲(chǔ)庫區(qū)域10a不同地分開配置的其它存儲(chǔ)庫區(qū)域10b。如圖3所示,在本實(shí)施方式中,存儲(chǔ)庫區(qū)域10b是與上述存儲(chǔ)庫區(qū)域10a相同的結(jié)構(gòu),但也可是其它結(jié)構(gòu)。存儲(chǔ)庫10被配置于存儲(chǔ)庫區(qū)域10b。存儲(chǔ)庫10與存儲(chǔ)庫區(qū)域10a相同,具備多個(gè)保管部11、多個(gè)交接口12、起重機(jī)軌道20以及懸掛式起重機(jī)30。懸掛式起重機(jī)30在保管部11與交接口12之間搬運(yùn)物品2。另外,懸掛式起重機(jī)30也在保管部11內(nèi)進(jìn)行將物品2從當(dāng)前的貨架部向其它的貨架部的移載。圖4是表示懸掛式起重機(jī)30的一個(gè)例子的圖。如圖4所示,懸掛式起重機(jī)30具備起重機(jī)用行駛部31、桅桿32以及物品移載部34。物品移載部34具備升降臺(tái)33、以及升降驅(qū)動(dòng)部35。起重機(jī)用行駛部31具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部以及多個(gè)車輪71a(參照圖6),沿著起重機(jī)軌道20行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如也可是被設(shè)置于起重機(jī)用行駛部31并驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá),也可是使用起重機(jī)軌道20設(shè)置的線性馬達(dá)。
風(fēng)力搬運(yùn)的分選現(xiàn)象好。海浪、潮流、洋流和濁流的搬運(yùn)海浪搬運(yùn)作用只在近岸淺水帶內(nèi)發(fā)生,具有4種搬運(yùn)方式。海面與海底水流速度上的差異,使得波浪擾動(dòng)海底所挾帶的碎屑物質(zhì)發(fā)生移動(dòng),其中粗粒物質(zhì)多以推移和躍移方式向岸搬運(yùn),細(xì)粒物質(zhì)多以懸移方式向海搬運(yùn),后在水深小于臨界水深的地方,波浪發(fā)生破碎,所挾帶來的物質(zhì)堆積下來。由于波浪的瞬時(shí)速度快,能量一般較高,搬運(yùn)物多為較粗的砂礫。潮流和其他各種海流與波浪不一樣,在較長時(shí)間內(nèi)作定向運(yùn)動(dòng),流速也較慢,故搬運(yùn)的物質(zhì)多為較細(xì)的粉砂和淤泥,呈懸浮狀態(tài)運(yùn)移。潮流作用使海水中攜帶的細(xì)粒物質(zhì)向海岸方向運(yùn)動(dòng),而粗粒物質(zhì)向遠(yuǎn)離海岸方向運(yùn)動(dòng)。搬運(yùn)冰川的搬運(yùn)編輯冰川的搬運(yùn)作用具有特殊的蠕移方式,特點(diǎn)是能力大。隨冰川的緩慢運(yùn)動(dòng),大至萬噸巨石,小至土塊砂粒,均可被凍結(jié)在一起進(jìn)行懸移,或在冰底受到推移。冰川泥石流可使一些風(fēng)化物產(chǎn)生躍移。冰川搬運(yùn)的分選現(xiàn)象差。[2]冰川搬運(yùn)的特點(diǎn)主要有:(1)冰川是固體流。其搬運(yùn)力和搬運(yùn)量不受流速控制,而主要與冰川規(guī)模有關(guān)。冰川大,搬運(yùn)量大,搬運(yùn)物粒徑大;反之,則搬運(yùn)量小,搬運(yùn)物粒徑小。(2)冰川呈固體搬運(yùn),搬運(yùn)力強(qiáng),能將巨大巖塊搬運(yùn)很遠(yuǎn)。錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對應(yīng),因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司?;萆絽^(qū)貨車商鋪搬運(yùn)公司
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因此無需在與、第二起重機(jī)40a、40b對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道,從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示,、第二起重機(jī)40a、40b分別具備、第二行駛部41a、41b、、第二桅桿42a、42b、以及、第二移送部44a、44b。、第二移送部44a、44b分別具備、第二升降臺(tái)43a、43b、、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b。行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照圖6),并沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照圖6),并沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于、第二行駛部41a、41b且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá),也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。行駛部41a也可以能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu),、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng)。、第二桅桿42a、42b從、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸,引導(dǎo)、第二升降臺(tái)43a、43b。新吳區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)
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