集成于2D掃描系統(tǒng)上，光譜共焦位移傳感器可以提供針對負載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測量厚度，整個過程需要使用一個傳感器從工件的一個側(cè)面測量。相對于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測量弧工件的厚度。高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中，實現(xiàn)線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對震動物件進行測量,傳感器采用的非接觸設(shè)計，避免測量過程中對震動物件造成干擾，同時可以對復雜區(qū)域進行詳細的測量和分析。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量，對于研究材料的振動特性具有重要意義。蕪湖新品光譜共焦

光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差（特定距離）。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀，該光譜儀檢測并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦彩色原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且?guī)缀?span>與目標材料分開運行。在傳感器的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面，以及測量窄孔、小間隙和空腔。莆田光譜共焦主要功能與優(yōu)勢光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學系統(tǒng)的設(shè)計和優(yōu)化，以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究。

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核，圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線。為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進行了偏移。從圖中可以看出，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線，從圖中可以看出，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)，兩種方法的測量結(jié)果一致性較好，當模數(shù)大于100時，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù)，這也反應了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級，同時，受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響，共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機噪聲可達100nm左右。

光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則，是一種高精度、非接觸的光學測量技術(shù)?；诠庾V共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器，已經(jīng)被大量應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領(lǐng)域。展望其未來，隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展，必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領(lǐng)域得到更多的應用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來，其無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，從而大幅提高測量速度。光譜共焦技術(shù)可以實現(xiàn)對樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察和分析。

主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量，用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針，以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度，隨后拆換平面圖歪頭，對光譜共焦傳感器開展校準。用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行解決，獲得測量數(shù)據(jù)庫的離散系統(tǒng)誤差。結(jié)果顯示：高精密測長機校準后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%，激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038%。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計算，減少校準時產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差，提高對光譜共焦傳感器的校準精密度。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。果洛光譜共焦誠信企業(yè)推薦

光譜共焦技術(shù)有著較大的應用前景。蕪湖新品光譜共焦

客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查，這太長了?！耙虼?，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間?，F(xiàn)在，我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經(jīng)過測試和驗證。蕪湖新品光譜共焦