壓縮機(jī)在承受載荷時(shí)會(huì)發(fā)生微小變形，變形的大小將直接影響零部件之間的裝配以及余隙容積等，因此準(zhǔn)確測(cè)試結(jié)構(gòu)的變形對(duì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)驗(yàn)證至關(guān)重要。測(cè)試與分析結(jié)構(gòu)微變形的方法有很多種[1-8]，傳統(tǒng)常用的是千分表（如圖1所示）測(cè)試，通過(guò)機(jī)械探針接觸被測(cè)物體表面，讀取表盤(pán)的指針獲得結(jié)構(gòu)的變形量，該方法的精度可以達(dá)到1um，但是千分表在使用過(guò)程中存在一些缺陷：首先，探針必須與被測(cè)物體接觸，而對(duì)某些復(fù)雜結(jié)構(gòu)的待測(cè)表面，不太容易將探針伸進(jìn)去；其次，千分表是靠人工讀數(shù)，當(dāng)結(jié)構(gòu)變形比較快時(shí)（如振動(dòng)），人工讀數(shù)是很難實(shí)現(xiàn)的。因此，在這樣的背景下，需要開(kāi)發(fā)新的測(cè)試方法來(lái)解決這些問(wèn)題。本文應(yīng)用激光三角位移傳感器（如圖2所示）一套位移測(cè)試系統(tǒng)，該系統(tǒng)很好地解決了千分表存在的缺陷，實(shí)現(xiàn)了非接觸式快速測(cè)試，同時(shí)通過(guò)數(shù)據(jù)采集卡和軟件系統(tǒng)可以快速記錄測(cè)試數(shù)據(jù)，并且在軟件里面快速進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，提取有價(jià)值的信息。激光位移傳感器的測(cè)量范圍通常較小，但可以通過(guò)搭配不同的反光板、透鏡等配件實(shí)現(xiàn)不同范圍的測(cè)量。高頻位移傳感器常見(jiàn)問(wèn)題

隨后安裝在貼裝臺(tái)單元上的激光位移傳感器403檢測(cè)鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調(diào)平機(jī)構(gòu)340對(duì)芯片做出與貼裝臺(tái)401上貼裝位間的平行調(diào)整；其調(diào)平的具體實(shí)現(xiàn)過(guò)程如下：音圈電機(jī)343動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)生平行于電機(jī)軸向的位移，繼而導(dǎo)致下方動(dòng)平臺(tái)342產(chǎn)生繞u軸或者v軸（與u軸垂直）方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)平臺(tái)342傾角的調(diào)整，使得連接在動(dòng)平臺(tái)上的鍵合頭370與貼裝臺(tái)401上基板貼裝位平行，保證鍵合壓力均勻；有哪些位移傳感器行情激光位移傳感器的透鏡參數(shù)、反射板材質(zhì)、激光束參數(shù)等因素都會(huì)對(duì)其測(cè)量精度產(chǎn)生影響。

回復(fù) 吳佳如: “隨后安裝在貼裝臺(tái)單元上的激光位移傳感器403檢測(cè)鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調(diào)平機(jī)構(gòu)340對(duì)芯片做出與貼裝臺(tái)401上貼裝位間的平行調(diào)整；其調(diào)平的具體實(shí)現(xiàn)過(guò)程如下：音圈電機(jī)343動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)生平行于電機(jī)軸向的位移，繼而導(dǎo)致下方動(dòng)平臺(tái)342產(chǎn)生繞u軸或者v軸（與u軸垂直）方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)平臺(tái)342傾角的調(diào)整，使得連接在動(dòng)平臺(tái)上的鍵合頭370與貼裝臺(tái)401上基板貼裝位平行，保證鍵合壓力均勻；”擴(kuò)展在貼裝過(guò)程中，如果芯片的傾角不正確，將會(huì)影響鍵合頭和芯片之間的鍵合精度和貼裝質(zhì)量。因此，需要使用激光位移傳感器對(duì)芯片的傾角進(jìn)行檢測(cè)，并使用調(diào)平機(jī)構(gòu)對(duì)其進(jìn)行調(diào)整。具體實(shí)現(xiàn)過(guò)程是，將激光位移傳感器403安裝在鍵合頭370上拾取的芯片上，通過(guò)結(jié)合兩個(gè)位移傳感器360和403的初始角度差值，可以確定芯片的傾角。然后，利用調(diào)平機(jī)構(gòu)340對(duì)芯片進(jìn)行平行調(diào)整，使芯片傾角與貼裝臺(tái)401上的貼裝位平行。

激光三角法測(cè)量不僅具有大的偏置距離和大的測(cè)量范圍，而且測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測(cè)量中；但同時(shí)由于其測(cè)量精度與被測(cè)物體表面結(jié)構(gòu)、特性及環(huán)境條件等因素有關(guān)，當(dāng)激光三角法應(yīng)用于易拉罐罐蓋開(kāi)啟口壓痕殘余厚度測(cè)量時(shí)，要求測(cè)量精度達(dá)到1μm，從上面的分析可以看到，由于激光光點(diǎn)尺寸、激光散斑和精細(xì)結(jié)構(gòu)對(duì)測(cè)量精度的影響，導(dǎo)致激光三角法測(cè)量結(jié)果失去實(shí)際的參考價(jià)值。所以為了提高測(cè)量精度，必須針對(duì)罐蓋微小刻痕的具體結(jié)構(gòu)選用適當(dāng)?shù)募す獬叽纭⒈M可能抑制激光散斑及環(huán)境因素對(duì)測(cè)量精度的影響。激光位移傳感器可以通過(guò)多種反射板、透鏡、精密磁盤(pán)、刀具等配套組件實(shí)現(xiàn)不同的測(cè)量要求。

現(xiàn)在的電子設(shè)備需要更高效、更小、更快的PCB板，而這些板必須通過(guò)使用高度集成的組件變得更加強(qiáng)大。為了確保這些組件在正確的位置上連接，需要使用高精度的測(cè)量系統(tǒng)來(lái)檢測(cè)它們的位置。這對(duì)傳感器提出了一系列挑戰(zhàn)，包括需要小的光斑焦點(diǎn)直徑、高測(cè)量速度和高測(cè)量精度。使用非接觸高精度的激光位移傳感器可以滿(mǎn)足這些要求，它們可以檢測(cè)PCB板和高度集成的組件的位置，以確保它們?cè)谡_的高度位置和水平位置上連接。這些傳感器可以應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備、智能手機(jī)和機(jī)床等各種電子設(shè)備的制造中。激光位移傳感器的測(cè)量范圍較窄，通常適用于小范圍、高精度的測(cè)量。工廠位移傳感器原理

激光位移傳感器具有響應(yīng)速度快、精度高、不受磁場(chǎng)、溫度影響等優(yōu)點(diǎn)。高頻位移傳感器常見(jiàn)問(wèn)題

激光位移傳感器在汽車(chē)領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。它可以用于汽車(chē)零部件的精密加工和測(cè)量，以確保這些零部件符合設(shè)計(jì)要求。在汽車(chē)制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量車(chē)身和引擎蓋等大型零部件的位置和形狀，以及測(cè)量汽車(chē)輪胎的直徑和圓度，保證汽車(chē)能夠平穩(wěn)行駛。在汽車(chē)維護(hù)和修理領(lǐng)域中，激光位移傳感器也發(fā)揮著重要的作用。它可以測(cè)量汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的振動(dòng)和位移，以確保發(fā)動(dòng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常，測(cè)量汽車(chē)剎車(chē)系統(tǒng)的行程和踏板位置，確保剎車(chē)系統(tǒng)能夠正常工作，測(cè)量汽車(chē)車(chē)輪的位置和輪胎的磨損程度，以便修理師能夠正確地調(diào)整車(chē)輪的位置和輪胎的氣壓，保證汽車(chē)能夠平穩(wěn)行駛?？傊す馕灰苽鞲衅髟谄?chē)制造和維護(hù)領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用，可以幫助汽車(chē)制造商和汽車(chē)修理師快速、準(zhǔn)確地測(cè)量汽車(chē)零部件的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，以確保汽車(chē)的性能和安全。高頻位移傳感器常見(jiàn)問(wèn)題