本文通過(guò)對(duì)比測(cè)試方法，考核了基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量曲線，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測(cè)量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對(duì)較低，只適合測(cè)量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線，發(fā)現(xiàn)兩種方法在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)測(cè)量結(jié)果一致性較好，但當(dāng)模數(shù)大于100時(shí)，白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù)，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)受多種因素影響，高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。光譜共焦技術(shù)可以測(cè)量位移，利用返回光譜的峰值波長(zhǎng)位置；高頻光譜共焦市場(chǎng)

共焦位移傳感器是利用共焦原理和軸向色像差現(xiàn)象對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移進(jìn)行測(cè)量的光學(xué)測(cè)量裝置，共焦原理是指將從形成光源的像的成像面上接收到的光以縮小光圈的方式形成為反射光，軸向色像差現(xiàn)象是在光源的像中發(fā)生光軸方向上的顏色漂移的現(xiàn)象。共焦位移傳感器由作為點(diǎn)光源的使從光源出射的光出射的銷孔、在經(jīng)由銷孔出射的檢測(cè)光中引起軸向色像差并朝向測(cè)量對(duì)象會(huì)聚該檢測(cè)光的光學(xué)構(gòu)件、以及使來(lái)自測(cè)量對(duì)象的反射光光譜分散并產(chǎn)生受光信號(hào)的分光器構(gòu)成。作為檢測(cè)光，使用具有多個(gè)波長(zhǎng)的光。在經(jīng)由光學(xué)構(gòu)件照射到測(cè)量對(duì)象的檢測(cè)光中，銷孔允許具有在聚焦于測(cè)量對(duì)象的同時(shí)被反射的波長(zhǎng)的檢測(cè)光穿過(guò)。根據(jù)軸向色像差,各波長(zhǎng)的成像面的位置不同。因此，通過(guò)使穿過(guò)銷孔的檢測(cè)光的波長(zhǎng)特定來(lái)計(jì)算測(cè)量對(duì)象的位移。高精度光譜共焦答疑解惑國(guó)內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術(shù)的研究成果發(fā)表；

在共焦位移傳感器中，能夠使在頭單元與控制裝置之間傳送投光用的光的光纖的端面具有共焦光學(xué)系統(tǒng)的銷孔的功能。由于使用受光波形和位移的測(cè)量值來(lái)控制顯示部的顯示，所以在設(shè)置頭單元時(shí)，能夠根據(jù)顯示部的顯示來(lái)容易地辨識(shí)頭單元是否被適當(dāng)?shù)卦O(shè)置。由于在控制裝置側(cè)控制顯示部的顯示，所以能夠防止頭單元的構(gòu)造復(fù)雜化。此外，由于使用控制裝置的操作狀態(tài)來(lái)控制顯示部的顯示，所以能夠在頭單元的設(shè)置位置附近容易地辨識(shí)控制裝置是否正常操作。

硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度，以及±60°的測(cè)量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。我們主要測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片刪線的厚度，所以這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線測(cè)量方法：首先我們將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)掃描測(cè)量（由于柵線不是一個(gè)平整面，自身有一定的曲率，對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）。該傳感器具有高精度、高靈敏度、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，適用于微納尺度的位移變化測(cè)量。

在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中，光譜共焦技術(shù)是非常重要的應(yīng)用，可以提高測(cè)量效率和精度。在使用光譜共焦技術(shù)進(jìn)行測(cè)量之前，需要對(duì)其原理進(jìn)行分析，并對(duì)應(yīng)用的傳感器進(jìn)行綜合應(yīng)用，以獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測(cè)物體表面，然后通過(guò)光譜儀檢測(cè)反射回來(lái)的光譜。未來(lái)，光譜共焦技術(shù)將繼續(xù)發(fā)展，為更多領(lǐng)域帶來(lái)創(chuàng)新和改進(jìn)。通過(guò)不斷的研究和應(yīng)用，我們可以期待看到更多令人振奮的成果，使光譜共焦技術(shù)成為科學(xué)和工程領(lǐng)域不可或缺的一部分，為測(cè)量和測(cè)試提供更多可能性。光譜共焦技術(shù)在電子制造領(lǐng)域可以用于電子元件的精度檢測(cè)和測(cè)量；國(guó)產(chǎn)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求

光譜共焦位移傳感器可以用于結(jié)構(gòu)的振動(dòng)、變形和位移等參數(shù)的測(cè)量。高頻光譜共焦市場(chǎng)

光譜共焦是一種綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù)的高精度位移傳感器，在3C電子行業(yè)中應(yīng)用極為大量。光譜共焦傳感器可以用于智能手機(jī)內(nèi)線性馬達(dá)的位移測(cè)量，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移，可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度。也能測(cè)量手機(jī)屏的曲面角度、厚度等。平板電腦內(nèi)各種移動(dòng)結(jié)構(gòu)部件的位移和振動(dòng)檢測(cè)是平板電腦生產(chǎn)過(guò)程中非常重要的環(huán)節(jié)。光譜共焦傳感器可以通過(guò)對(duì)平板電腦內(nèi)的各種移動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制元件進(jìn)行精密位移、振動(dòng)、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。高頻光譜共焦市場(chǎng)