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點(diǎn)光譜共焦的原理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-11

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測(cè)量設(shè)備來檢查對(duì)齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對(duì)齊檢查,耗時(shí)太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測(cè)試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間?,F(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測(cè)量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上,盡管仍然靠近要測(cè)量的部件。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)通過測(cè)試和驗(yàn)證。光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究。點(diǎn)光譜共焦的原理

在實(shí)踐中,光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,如:利用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理,憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測(cè)量。透明材料上表面及下表面都會(huì)形成不同波長(zhǎng)反射光,通過計(jì)算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量??梢允箓鞲衅魍瓿蓪?duì)被測(cè)表面的精確掃描,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M(jìn)行測(cè)量,而且對(duì)瓶壁沒有壓力??赏ㄟ^設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向反射鏡實(shí)現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測(cè)及凹槽深度的測(cè)盤。(創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭,可以直接進(jìn)行深孔和凹槽的測(cè)量)光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測(cè)且,以確定單層玻璃之間的間隙厚度。智能光譜共焦招商加盟光譜共焦位移傳感器廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械制造等。

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備,其具有通用性強(qiáng),精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測(cè)量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪廓掃描,并記錄測(cè)量掃描位置實(shí)時(shí)空間橫坐標(biāo),根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將測(cè)量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點(diǎn)組織映射為微觀輪廓,經(jīng)高斯濾波處理得到測(cè)量對(duì)象的表面粗糙度信息。

光譜共焦傳感器在數(shù)碼相機(jī)中的應(yīng)用包括相位測(cè)距,可大幅提高相機(jī)的對(duì)焦精度和成像質(zhì)量,并通過檢測(cè)相機(jī)的微小振動(dòng),實(shí)現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能。同時(shí),光譜共焦傳感器還可用于計(jì)算機(jī)硬盤的位移和振動(dòng)測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硬盤存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實(shí)時(shí)監(jiān)控。在硬盤的生產(chǎn)過程中,光譜共焦傳感器也可用于進(jìn)行各種機(jī)械結(jié)構(gòu)件的位移、振動(dòng)和形變測(cè)試。在3C電子行業(yè)中,光譜共焦傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣,可用于各種管控和檢測(cè)環(huán)節(jié),在實(shí)現(xiàn)高精度和高可靠性的測(cè)量和檢測(cè)方面發(fā)揮著重要作用。光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用;

靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸關(guān)鍵參數(shù)之一,需要進(jìn)行精密檢測(cè)。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系,分析了靶丸內(nèi)表面輪廓測(cè)量的基本原理,并建立了相應(yīng)的白光共焦光譜測(cè)量方法。同時(shí),作者還搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置,并利用靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實(shí)現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測(cè)量,獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線。作者在實(shí)驗(yàn)中驗(yàn)證了測(cè)量結(jié)果的可靠性,并進(jìn)行了不確定度分析,結(jié)果表明,白光共焦光譜能夠?qū)崿F(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性受到光源、光譜儀和探測(cè)器等因素的影響。國(guó)產(chǎn)光譜共焦應(yīng)用

光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。點(diǎn)光譜共焦的原理

共焦位移傳感器是一種共焦位移傳感器,其包括:頭單元,其包括共焦光學(xué)系統(tǒng);約束裝置,其包括投光用光源,所述投光用光源被構(gòu)造為產(chǎn)生具有多個(gè)波長(zhǎng)的光;以及光纖線纜,其包括用于將從所述投光用光源出射的光傳送到所述頭單元的光纖。所述頭單元包括光學(xué)構(gòu)件,所述光學(xué)構(gòu)件被構(gòu)造為在經(jīng)由所述光纖的端面出射的檢測(cè)光中引起軸向色像差并且使所述檢測(cè)光朝向測(cè)量對(duì)象會(huì)聚。所述約束裝置包括:分光器,其被構(gòu)造為在經(jīng)由所述光學(xué)構(gòu)件照射于所述測(cè)量對(duì)象的所述檢測(cè)光中使通過在聚焦于所述測(cè)量對(duì)象的同時(shí)被反射而穿過所述光纖的端面的檢測(cè)光光譜分散,并且產(chǎn)生受光信號(hào);以及測(cè)量約束部,其被構(gòu)造為基于所述受光信號(hào)計(jì)算所述測(cè)量對(duì)象的位移。所述頭單元包括顯示部。所述測(cè)量約束部基于以所述約束裝置的至少一個(gè)操作狀態(tài)、表征各波長(zhǎng)的受光強(qiáng)度的受光波形和所述位移的測(cè)量值為基礎(chǔ)的演算結(jié)果約束所述顯示部的顯示。點(diǎn)光譜共焦的原理