針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求,使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復雜。如何精確地測定靶丸的光學參數(shù),一直是激光聚變研究者非常關注的課題。由于光學測量方法具有無損、非接觸、測量效率高、操作簡便等優(yōu)越性,靶丸參數(shù)測量通常采用光學測量方式。常用的光學參數(shù)測量手段很多,目前,常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學參數(shù)的測量方法有白光干涉法、光學顯微干涉法、激光差動共焦法等。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調控實驗研究中的重要參數(shù),因此,精密測量靶丸殼層折射率十分有意義。而常用的折射率測量方法,如橢圓偏振法、折射率匹配法、白光光譜法、布儒斯特角法等。標準樣品的選擇和使用對于保持儀器準確度至關重要。白光干涉膜厚儀行情
確定靶丸折射率及厚度的算法 ,由于干涉光譜信號與膜的光參量直接相關,這里主要考慮光譜分析的方法根據(jù)測量膜的反射或透射光譜進行分析計算,可獲得膜的厚度、折射率等參數(shù)。根據(jù)光譜信號分析計算膜折射率及厚度的方法主要有極值法和包絡法、全光譜擬合法。極值法測量膜厚度主要是根據(jù)薄膜反射或透射光譜曲線上的波峰的位置來計算,對于弱色散介質,折射率為恒定值,根據(jù)兩個或兩個以上的極大值點的位置,求得膜的光學厚度,若已知膜折射率即可求解膜的厚度;對于強色散介質,首先利用極值點求出膜厚度的初始值。薄膜厚度是一恒定不變值,可根據(jù)極大值點位置的光學厚度關系式獲得入射波長和折射率的對應關系,再依據(jù)薄膜材質的色散特性,引入合適的色散模型,常用的色散模型有cauchy模型、Selimeier模型、Lorenz模型等,利用折射率與入射波長的關系式,通過二乘法擬合得到色散模型的系數(shù),即可解得任意入射波長下的折射率。防水膜厚儀找哪家工作原理是基于膜層與底材反射率及相位差,通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度。
在初始相位為零的情況下,當被測光與參考光之間的光程差為零時,光強度將達到最大值。為了探測兩個光束之間的零光程差位置,需要使用精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動,或移動載物臺。在垂直掃描過程中,可以用探測器記錄下干涉光強,得到白光干涉信號強度與Z向掃描位置(兩光束光程差)之間的變化曲線。通過干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化的示意圖,可以找到光強極大值位置,即為零光程差位置。通過精確確定零光程差位置,可以實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量。同時,通過確定最大值對應的Z向位置,也可以獲得被測樣品表面的三維高度。
白光干涉的相干原理早在1975年就被提出,并在1976年實現(xiàn)了在光纖通信領域中的應用。1983年,Brian Culshaw的研究小組報道了白光干涉技術在光纖傳感領域中的應用。隨后在1984年,報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。這項研究成果證明了白光干涉技術可以用于測量能夠轉換成位移的物理參量。此后的幾年中,白光干涉技術應用于溫度、壓力等的研究也相繼被報道。自上世紀90年代以來,白光干涉技術得到了快速發(fā)展,提供了更多實現(xiàn)測量的解決方案。近年來,由于傳感器設計和研制的進步,信號處理的新方案提出,以及傳感器的多路復用等技術的發(fā)展,使白光干涉測量技術的發(fā)展更加迅速。操作需要一定的專業(yè)素養(yǎng)和經驗,需要進行充分的培訓和實踐。
白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術測量的局限性 。白光掃描干涉法采用白光作為光源,白光作為一種寬光譜的光源,相干長度較短,因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內。而且在白光干涉時,有一個確切的零點位置。測量光和參考光的光程相等時,所有波段的光都會發(fā)生相長干涉,這時就能觀測到有一個很明亮的零級條紋,同時干涉信號也出現(xiàn)最大值,通過分析這個干涉信號,就能得到表面上對應數(shù)據(jù)點的相對高度,從而得到被測物體的幾何形貌。白光掃描干涉術是通過測量干涉條紋來完成的,而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度。因此,為了提高精度,就需要更為復雜的光學系統(tǒng),這使得條紋的測量變成一項費力又費時的工作。白光干涉膜厚測量技術的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進行改進。膜厚儀成本價
通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,利用膜層與底材的反射率和相位差來實現(xiàn)測量。白光干涉膜厚儀行情
針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量,開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法,并研制了適用于工業(yè)應用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng),考慮了成本、穩(wěn)定性、體積等因素要求。該系統(tǒng)結合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理,采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,利用經典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換的思想,提出了一種基于相位功率譜分析的膜厚解算算法。該算法能夠有效利用全光譜數(shù)據(jù)準確提取相位變化,抗干擾能力強,能夠排除環(huán)境噪聲等假頻干擾。經過對PVC標準厚度片、PCB板芯片膜層及鍺基SiO2膜層的測量實驗驗證,結果表明該測厚系統(tǒng)具有1~75微米厚度的測量量程和微米級的測量不確定度,而且無需對焦,可以在10ms內完成單次測量,滿足工業(yè)級測量需要的高效便捷的應用要求。白光干涉膜厚儀行情