非球面中心偏差的測量手段主要包括接觸式(百分表)和非接觸式(光學(xué)傳感器)。文章基于自準(zhǔn)直定心原理和光譜共焦位移傳感技術(shù),對高階非球面的中心偏差進行了非接觸精密測量。光學(xué)加工人員根據(jù)測量出的校正量和位置方向?qū)η蛎孢M行拋光,使非球面透鏡的中心偏差滿足光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計的要求。由于非球面已加工到一定精度要求 ,因此對球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對稱高階非球面曲線的數(shù)學(xué)模型計算被測環(huán)D帶的旋轉(zhuǎn)角度θ,即光譜共焦位移傳感器的工作角。光譜共焦技術(shù)可以解決以往傳感器和測量系統(tǒng)精度與視場不能兼容的問題。品牌光譜共焦找哪家
在實踐中,光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,如:利用獨特的光譜共焦測量原理,憑借一只探頭就可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光,通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量??梢允箓鞲衅魍瓿蓪Ρ粶y表面的精確掃描,實現(xiàn)納米級的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M行測量,而且對瓶壁沒有壓力。可通過設(shè)計轉(zhuǎn)向反射鏡實現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測及凹槽深度的測盤。(創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭,可以直接進行深孔和凹槽的測量)光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且,以確定單層玻璃之間的間隙厚度 。原裝光譜共焦市場光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能。
光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描,直接由波長對應(yīng)軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,精度理論上可達 nm 量級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低,允許被測表面有更大的傾斜角 ,測量速度快,實時性高,迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,大量應(yīng)用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域。本文在論述光譜共焦技術(shù)原理的基礎(chǔ)上,列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應(yīng)用,探討共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應(yīng)用,展望其發(fā)展前景。
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?,F(xiàn)階段在商業(yè)上運用的玻璃基板,其厚度為0.7 mm及0.5m m,且將要邁進特薄厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄,而厚度規(guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格,一般在0.01mm的公差,關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題,一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數(shù)的收集,再加上與此同時選用多個感應(yīng)器測量,不僅提高了效率,并且防止觸碰測量所造成的二次損害 。光譜共焦技術(shù)在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
背景技術(shù):光學(xué)測量與成像技術(shù),通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術(shù):光學(xué)測量與成像技術(shù),通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領(lǐng)域之中?,F(xiàn)有的光學(xué)測量術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領(lǐng)域之中?,F(xiàn)有的光學(xué)測量與成像技術(shù)主要激光成像,其功耗大、成本高,而且精度較差,難以勝任復(fù)雜異形表面(如曲面、弧面、凸凹溝槽等)的高精度、穩(wěn)定檢測或者成像的光譜共焦成像技術(shù)比激光成像具有更高的精度,而且能夠降低功耗和成本但現(xiàn)有的光譜共焦檢測設(shè)備大都是靜態(tài)檢測,檢測效率低,而且難以勝任復(fù)雜異形表面 。線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)是一種新型的測量方法。新品光譜共焦原理
光譜共焦位移傳感器具有高靈敏度和迅速響應(yīng)的特點,可以實現(xiàn)實時測量和監(jiān)測。品牌光譜共焦找哪家
為了提高加工檢測效率 ,實現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量,提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場坐標(biāo)測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊,并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環(huán)境,建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標(biāo)準(zhǔn)臺階、表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣塊和曲面輪廓樣品進行了測量,實驗結(jié)果表明:該測量系統(tǒng)具有較高的測量精度和重復(fù)性,粗糙度參數(shù)Ra的測量重復(fù)性為0.0026μm,在優(yōu)化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應(yīng)用前景。品牌光譜共焦找哪家