上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)

通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。因此,可以容易地將各測(cè)量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱(chēng)的位置處。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處。通過(guò)將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。長(zhǎng)沙光譜共焦位移傳感器推薦廠家光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

本實(shí)用新型提供一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器，入射光纖，光譜共焦位移傳感探頭，接收光纖，光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過(guò)光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器，其特征在于，包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光；入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；光譜共焦位移傳感探頭，所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端，所述光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別聚焦，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)；

本實(shí)施例中通過(guò)采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個(gè)或多個(gè)，當(dāng)設(shè)置為一個(gè)時(shí)，導(dǎo)光光纖均傳遞一個(gè)發(fā)光件的光，這樣會(huì)導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導(dǎo)致光線的辨識(shí)度不高，因此本實(shí)施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個(gè)，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導(dǎo)光光纖設(shè)置有多個(gè)，發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的關(guān)系為一一對(duì)應(yīng)連接關(guān)系，多個(gè)導(dǎo)光光纖呈對(duì)稱(chēng)分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側(cè)壁上，這樣由導(dǎo)光光纖一一對(duì)應(yīng)傳遞發(fā)光件產(chǎn)生的光，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識(shí)度高。光譜共焦位移傳感器需要專(zhuān)門(mén)的光譜共焦顯微鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量。

光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端，光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別聚焦，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光； 光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。哈爾濱光譜共焦位移傳感器性?xún)r(jià)比高企業(yè)

光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測(cè)量精度。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)

在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測(cè)量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個(gè)光學(xué)頭、分光器和位置計(jì)算部。光源部射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。多個(gè)光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)