隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機(jī)相結(jié)合等特點的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機(jī)器人視覺、計算機(jī)輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定，例如可以對微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測。它抗干擾能力強，能夠在復(fù)雜環(huán)境下正常工作。珠海激光位移傳感器廠家

針對相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計難度，同時讓測量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對振動、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時，解析結(jié)果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進(jìn)一步地，在進(jìn)行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS＞MTFT×10；如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。杭州激光位移傳感器的用途和特點它可以用于測量物體的形狀和輪廓，以提供準(zhǔn)確的幾何信息。

在激光位移傳感器中，激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動的物鏡，在受測對象物上聚集為一焦點，同時反射光也會在小孔位置合集為一點，并使受光元件受光，通過測定物鏡的具體的位置，從而準(zhǔn)確地測定目標(biāo)物離參考位置的距離，并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測頭的焦點分別為對準(zhǔn)和沒有對準(zhǔn)對象物時的情況。上位機(jī)與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進(jìn)行通信，串口信號格式為：COMl口、波特率9 600、無奇偶校驗、8位數(shù)據(jù)位、1位停止位，也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數(shù)據(jù)。

一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS>MTFT×10。它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中。

本實用新型涉及一種檢驗校準(zhǔn)裝置，特別指一種激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行測量的傳感器，它由激光器、激光檢測器、測量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測量儀表，能夠非接觸測量被測物體的位移變化，并且測量精度高。在激光位移傳感器的使用過程中，由于設(shè)備的磨損老化等原因，導(dǎo)致激光位移傳感器的測量誤差增大，此時需要將激光位移傳感器進(jìn)行定期的檢驗、校準(zhǔn)。目前，對激光位移傳感器的檢驗、校準(zhǔn)，主流的做法是測量一個已知的距離(比如：1米、5米、10米等)，通過對比測量的數(shù)值與實際的數(shù)值來判斷測量的精確度。但是這種方法存在有如下問題：1、檢驗的精度不夠高；2、需要較大的場地。高精度激光位移傳感器還可以用于科學(xué)研究和實驗室應(yīng)用。鎮(zhèn)江激光位移傳感器

激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。珠海激光位移傳感器廠家

所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測量儀22以及一微調(diào)平臺23；所述微調(diào)平臺23設(shè)于所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺23的前端；所述電子測量儀22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測量儀22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時通過所述蝸輪聯(lián)動所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。珠海激光位移傳感器廠家