在一個實施例中,上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片,或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中,包括線形排列的多個感光單元,通常為直線排列,該直線的延伸方向為感光單元的主要排列方向,這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列,因此,長條形光斑可增加與像元之間的接觸面積,可降低機械器件形變對所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實施例中,上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個感光單元,矩形的長邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸,短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸,其長邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣,長條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。高精度激光位移傳感器具有較高的精確度,能夠滿足精密測量的需求。安徽激光位移傳感器供應(yīng)
在一個實施例中,激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離,在空間頻率為62.5lp/mm處,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS為量程內(nèi)被測點在S方向的MTF值,MTFT為量程內(nèi)被測點在T方向的MTF值,曲線1為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值,曲線2為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值;曲線3為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線4為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值;曲線5為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線6為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中,在弧矢方向內(nèi),向光軸以里偏離為正,向光軸以外偏離為負)。在一具體實施例中,在空間頻率為62.5lp/mm處,量程內(nèi)被測點的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。類似地,在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下,同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。直銷激光位移傳感器常見問題激光位移傳感的工作原理是什么?
為克服由于前述各種因素導(dǎo)致激光位移傳感器像面上的像點光斑不對稱現(xiàn)象對位移檢測產(chǎn)生的影響,目前本技術(shù)領(lǐng)域采用的做法大致有以下幾種情況:采用抗飽和芯片,用以消除芯片飽和產(chǎn)生的拖尾現(xiàn)象,但該方法還無法減小被測物體表面因反射不均勻或因粗糙度不均勻而引起的檢測誤差;在工業(yè)檢測中根據(jù)不同的被測物體表面反射情況,按照其產(chǎn)生的有規(guī)律的不同形狀的光斑,采用不同的數(shù)據(jù)處理方法提高檢測精度,這對工作場合穩(wěn)定、被測物體表面有規(guī)律的情況是完全可以的,但對被測表面反射情況事先無法知道的道路檢測方面,同樣還存在由于光斑不對稱產(chǎn)生的測量誤差;
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機相結(jié)合等特點的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù),成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標物體的距離,按與對象物的接觸類型它分為兩類:主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點,系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器,該激光位移傳感器可以對任何對象物進行高精密度的位移測定,例如可以對微細工件、粗面工件的高度進行測定,還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠鏡終端的拼接CCD相機為了得到更清晰的天體圖像,將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng),對拼接CCD相機平面平整度進行檢測。激光位移傳感器在金屬行業(yè)的應(yīng)用案例。
如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上,所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器;所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上,所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進行測量的傳感器。德州激光位移傳感器技術(shù)指導(dǎo)
高精度激光位移傳感器的可靠性和穩(wěn)定性也是其優(yōu)點之一。安徽激光位移傳感器供應(yīng)
要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量,可采用柱面鏡或非球面實現(xiàn),另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3,4],但這樣的光學(xué)系統(tǒng)相對較復(fù)雜,元件較多,不宜裝調(diào),成本也會增長。因此,在精度允許的情況下,可考慮全部采用球面鏡,不考慮焦深延拓,用變倍的方法實現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布,設(shè)定中心波長權(quán)重為3,邊緣波長權(quán)重為1。要消掉少量的色差,系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個初始結(jié)構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場的光斑大小分布。安徽激光位移傳感器供應(yīng)