8.根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。小型光譜共焦位移傳感器零售價格
本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y型光纖的另一端,單色光到達共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進入光譜儀,采集光譜信息;并通過調整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進行光強的歸一化處理,并對原始的光譜數(shù)據(jù)進行去噪平滑等預處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進行峰譜定位,高斯函數(shù)的峰值位置為其一階導數(shù)的零點,可以認為找到了高斯函數(shù)的一階導數(shù)零點就找到了高斯函數(shù)的峰譜位置。4)利用超精密的運動控制臺,來標定不同位置對應的光譜譜峰值,找出一一對應關系;標定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實用新型的具體實施例,但本實用新型的技術特征并不局限于此。任何以本實用新型為基礎,為實現(xiàn)基本相同的技術效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。紹興光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組件包括在光源耦合器內，通過卡扣可拆卸設置，用于產生提示光的發(fā)光件；發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內。發(fā)光件為雙色LED燈，也可為其他可見光光源，當探頭操作正常且被測物體在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出綠色光，提醒使用者操作正常，可以繼續(xù)操作。當探頭操作不正?；虮粶y物體不在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出紅光，提示使用者操作出現(xiàn)問題，需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況，增加便利性。
本實施例中通過采用可拆卸連接便于導光光纖的維護和更換。所述的發(fā)光件可設置為一個或多個，當設置為一個時，導光光纖均傳遞一個發(fā)光件的光，這樣會導致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導致光線的辨識度不高，因此本實施例中的所述發(fā)光件設置有多個，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導光光纖設置有多個，發(fā)光件和導光光纖的關系為一一對應連接關系，多個導光光纖呈對稱分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側壁上，這樣由導光光纖一一對應傳遞發(fā)光件產生的光，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識度高。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學、半導體制造等領域中的精密測量。
本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。小型光譜共焦位移傳感器零售價格
光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫(yī)學、納米技術等多個領域。小型光譜共焦位移傳感器零售價格
光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。一條連接結構，實現(xiàn)便于裝配的同時，對入射光纖，接收光纖，多個導光光纖進行保護。創(chuàng)視智能嗯小型光譜共焦位移傳感器零售價格