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光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長(zhǎng)建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度 、非接觸式的光學(xué)測(cè)量技術(shù)?;诠庾V共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級(jí)、快速精確測(cè)量的傳感器,已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測(cè)量、位移測(cè)量、在線監(jiān)控及過(guò)程控制等工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域。展望其未來(lái),隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,必將在微電子、線寬測(cè)量、納米測(cè)試、超精密幾何量計(jì)量測(cè)試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái),其無(wú)需軸向掃描,直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息,從而大幅提高測(cè)量速度。光譜共焦技術(shù)有著較大的應(yīng)用前景。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)
物體的表面形貌可以基于距離的確定來(lái)進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測(cè)量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射度并變得可見(jiàn)。在檢測(cè)到信號(hào)強(qiáng)度的變化后,系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像。 除了距離測(cè)量之外,另一種選擇是使用信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量,這可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化 。通過(guò)恒定的曝光時(shí)間,可以獲得關(guān)于表面評(píng)估的附加信息,而這靠距離測(cè)量是不可能的。品牌光譜共焦性價(jià)比高企業(yè)光譜共焦技術(shù)主要來(lái)自共焦顯微術(shù),早期由美國(guó)學(xué)者M(jìn)insky提出。
光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測(cè)量精度可達(dá)到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,它在偏移測(cè)量方面具有更加明顯的優(yōu)勢(shì)。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測(cè)量方面得到了廣泛應(yīng)用,如漫反射光和平面反射面的偏移測(cè)量、平整度測(cè)量、塑料薄膜和透明材料薄厚測(cè)量,外表粗糙度測(cè)量等。在偏移測(cè)量方面,光譜共焦傳感器的主要功能就是測(cè)量偏移。研究人員對(duì)光譜共焦傳感器的散射目鏡進(jìn)行了分析,并制定了相應(yīng)的構(gòu)造來(lái)提高其各項(xiàng)特性;也有研究人員利用光譜共焦傳感器對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片空隙進(jìn)行了高精度和高效率的測(cè)量。在平整度測(cè)量方面,研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測(cè)誤差,并對(duì)平面圖檢測(cè)誤差展開(kāi)了科學(xué)研究。通過(guò)利用光譜共焦傳感器對(duì)圓平晶的平整度展開(kāi)測(cè)量,他們獲得了平面圖檢測(cè)誤差的數(shù)值。
在容器玻璃的生產(chǎn)過(guò)程中,瓶子的圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征。因此,必須檢查這些參數(shù)。任何有缺陷的容器都會(huì)立即被拒絕并返回到玻璃熔體中。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結(jié)合,需要快速的非接觸式測(cè)量程序。而光譜共焦傳感器適合這項(xiàng)測(cè)量任務(wù)。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量。數(shù)據(jù)通過(guò) EtherCAT 接口實(shí)時(shí)輸出,厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測(cè)量。無(wú)論玻璃顏色如何 ,自動(dòng)曝光控制都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量。光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高分辨率的成像和分析。
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個(gè)完整的相對(duì)高度范疇能夠通過(guò)使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的精確測(cè)量原理如下圖1所顯示,燈源發(fā)出光經(jīng)過(guò)光纖,再通過(guò)超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產(chǎn)生一系列可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。這種可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)是連續(xù)的,不重合的。當(dāng)待測(cè)物放置檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí),只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,產(chǎn)生波峰焊。全部別的波長(zhǎng)也將失去焦點(diǎn)。運(yùn)用單頻干涉儀的校準(zhǔn)信息計(jì)算待測(cè)物體的部位,創(chuàng)建光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編號(hào)。該超色差鏡片通過(guò)提升,具備比較大的縱向色差,用以在徑向分離出來(lái)電子光學(xué)信號(hào)的光譜成份。因而,超色差鏡片是傳感器關(guān)鍵部件,其設(shè)計(jì)方案十分重要 。光譜共焦位移傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性受到光源、光譜儀和探測(cè)器等因素的影響。新型光譜共焦
光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級(jí)別。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量以外,這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測(cè)量表面特征的變化時(shí)帶來(lái)更好的性能 。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)